Reflexionsbeugungsgitter mit Multischichten für weiche Röntgenstrahlung und nahezu senkrechten Einfall:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1996
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| Beschreibung: | Bielefeld, Univ., Diss., 1996 |
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INHALTSVERZEICHNIS
SEITE
EINLEITUNG
1
1 BEUGUNGSGITTER MIT MULTISCHICHTEN 4
1.1 BEUGUNGSBEDINGUNGEN DER PERIODISCHEN GRUNDSTRUKTUR 4
1.1.1 GITTERGLEICHUNG UND BRAGG-GLEICHUNG 4
1.1.2 DIE BANDBREITE DER MULTISCHICHTENBEDINGUNG 6
1.1.3 UEBERLAGERUNG VON BEUGUNGSORDNUNGEN 13
1.1.4 AUFLOESUNGSVERMOEGEN 14
1.1.5 DISPERSION 16
1.2 MODELL FUER EFFIZIENZBERECHNUNG 16
1.3 AMPLITUDENGITTER 18
1.4 PHASENGITTER 20
1.4.1 ANALYTISCHE BERECHNUNG VON BEUGUNGSEFFIZIENZEN 21
1.4.2 SAEGEZAHNPROFIL 22
1.4.3 LAMINARPROFIL 28
1.4.4 SINUSPROFIL 34
1.4.5 SYMMETRIEEIGENSCHAFTEN 36
1.5 PROFILFEHLER 37
1.5.1 PASSE 37
1.5.2 FURCHENLAGE 38
1.5.3 FEHLER DES TYPISCHEN FURCHENPROFILS 40
1.5.4 MIKRORAUHIGKEIT 40
1.6 AUSLEGUNG VON MULTISCHICHTGITTEM 41
1.6.1 GITTER FUER REFLEXION ODER TRANSMISSION 41
1.6.2 SAEGEZAHNGITTER 42
1.6.3 GITTER MIT SYMMETRISCHEM FURCHENPROFIL 42
1.6.4 ANPASSUNG VON MULTISCHICHT UND GITTER 43
1.6.5 ABSCHAETZUNG DER BEUGUNGSEFFIZIENZ 43
1.6.6 AUSLEGUNG DER ORDNUNGEN 44
2 MESSTECHNIK
46
2.1 HOCHAUFLOESENDE PROFILMESSUNG MIT AFM 49
2.1.1 PRINZIP UND MESSGENAUIGKEIT 49
2.1.2 TASTKORREKTUR 49
2.1.3 MESSDATENANALYSE 52
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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2.2 ROENTGENOPTISCHE MESSUNGEN 56
2.2.1 AUFLOESUNG DES REFLEKTOMETERS 56
2.2.2 METHODE DER EFFIZIENZMESSUNG 58
3 GITTER - HERSTELLUNG 60
3.1 MECHANISCHE GITTERTEILUNG 60
3.1.1 PRINZIP 60
3.1.2 MIKRORAUHIGKEIT 61
3.1.3 FURCHENLAGEFEHLER 63
3.1.4 SPEZIFISCHE ANFORDERUNGEN DER MULTILAYERBESCHICHTUNG 64
3.2 HOLOGRAPHISCHE GITTERFERTIGUNG 64
3.2.1 PRINZIP 64
3.2.2 FOTOLACKBESCHICHTUNG 64
3.2.3 BELICHTUNG 65
3.2.4 ENTWICKLUNG 68
3.2.5 MIKRORAUHIGKEIT VON FOTOLACKSCHICHTEN 70 V
3.3 PRAEPARATION VON GITTERN 71
3.3.1 THERMISCHE BEHANDLUNG VON FOTOLACKGITTEM 71
3.3.2 IONENSTRAHLAETZEN 75
3.3.3 BESCHICHTUNG MIT FLUESSIGKEITEN 77
4
EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE ZU MULTISCHICHTGITTERN
87
4.1 SAEGEZAHNGITTER 87
4.1.1 SAEGEZAHNGITTER 1221 L/MM AUF GOLD 87
4.1.2 SAEGEZAHNGITTER MIT VERBESSERTEM FURCHENPROFIL 97
4.2 LAMINARGITTER 1200 L/MM AUF SILIZIUM 109
4.3 SINUSGITTER 6600 L/MM 120
ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 134
ANHANG 130
LITERATURVERZEICHNIS
141 |
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