Nachweis und Elimination der Oberflächenschädigung bei der Plasma-Siliziumnitridbeschichtung von Silizium-Inversionsschicht-Solarzellen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
1995
|
| Ausgabe: | [Maschinenschr.] |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1996 |
| Beschreibung: | 128 Bl. Ill., zahlr. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV011022986 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19971009 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 961025s1995 ad|| m||| 00||| undod | ||
| 035 | |a (OCoLC)633597056 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV011022986 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | |a und | ||
| 049 | |a DE-29 | ||
| 084 | |a ZM 7680 |0 (DE-625)160562: |2 rvk | ||
| 084 | |a ZN 4960 |0 (DE-625)157426: |2 rvk | ||
| 084 | |a ZP 3730 |0 (DE-625)157971: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Rammensee, Michael |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Nachweis und Elimination der Oberflächenschädigung bei der Plasma-Siliziumnitridbeschichtung von Silizium-Inversionsschicht-Solarzellen |c von Michael Rammensee |
| 250 | |a [Maschinenschr.] | ||
| 264 | 1 | |c 1995 | |
| 300 | |a 128 Bl. |b Ill., zahlr. graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1996 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a CVD-Verfahren |0 (DE-588)4009846-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Solarzelle |0 (DE-588)4181740-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Inversionsschichtsolarzelle |0 (DE-588)4162238-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Inversionsschicht |0 (DE-588)4123445-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Oberflächenschaden |0 (DE-588)4240187-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a MIS |0 (DE-588)4139664-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Siliciumnitrid |0 (DE-588)4127841-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Inversionsschichtsolarzelle |0 (DE-588)4162238-8 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a MIS |0 (DE-588)4139664-9 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a CVD-Verfahren |0 (DE-588)4009846-1 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Siliciumnitrid |0 (DE-588)4127841-0 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Oberflächenschaden |0 (DE-588)4240187-2 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Solarzelle |0 (DE-588)4181740-0 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Inversionsschicht |0 (DE-588)4123445-5 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a MIS |0 (DE-588)4139664-9 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a Siliciumnitrid |0 (DE-588)4127841-0 |D s |
| 689 | 1 | 4 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |D s |
| 689 | 1 | 5 | |a Oberflächenschaden |0 (DE-588)4240187-2 |D s |
| 689 | 1 | |8 1\p |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007379947 | ||
| 883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804125512390410240 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Rammensee, Michael |
| author_facet | Rammensee, Michael |
| author_role | aut |
| author_sort | Rammensee, Michael |
| author_variant | m r mr |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV011022986 |
| classification_rvk | ZM 7680 ZN 4960 ZP 3730 |
| ctrlnum | (OCoLC)633597056 (DE-599)BVBBV011022986 |
| discipline | Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik Energietechnik |
| edition | [Maschinenschr.] |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02297nam a2200577 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV011022986</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19971009 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">961025s1995 ad|| m||| 00||| undod</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)633597056</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV011022986</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">und</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZM 7680</subfield><subfield code="0">(DE-625)160562:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4960</subfield><subfield code="0">(DE-625)157426:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZP 3730</subfield><subfield code="0">(DE-625)157971:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Rammensee, Michael</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Nachweis und Elimination der Oberflächenschädigung bei der Plasma-Siliziumnitridbeschichtung von Silizium-Inversionsschicht-Solarzellen</subfield><subfield code="c">von Michael Rammensee</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">[Maschinenschr.]</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">128 Bl.</subfield><subfield code="b">Ill., zahlr. graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1996</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009846-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Solarzelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4181740-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Inversionsschichtsolarzelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4162238-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Inversionsschicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4123445-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Oberflächenschaden</subfield><subfield code="0">(DE-588)4240187-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">MIS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4139664-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumnitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4127841-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Inversionsschichtsolarzelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4162238-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">MIS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4139664-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009846-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Siliciumnitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4127841-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Oberflächenschaden</subfield><subfield code="0">(DE-588)4240187-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Solarzelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4181740-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Inversionsschicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4123445-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">MIS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4139664-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Siliciumnitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4127841-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="4"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="5"><subfield code="a">Oberflächenschaden</subfield><subfield code="0">(DE-588)4240187-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007379947</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV011022986 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T18:02:44Z |
| institution | BVB |
| language | Undetermined |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007379947 |
| oclc_num | 633597056 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29 |
| owner_facet | DE-29 |
| physical | 128 Bl. Ill., zahlr. graph. Darst. |
| publishDate | 1995 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| record_format | marc |
| spelling | Rammensee, Michael Verfasser aut Nachweis und Elimination der Oberflächenschädigung bei der Plasma-Siliziumnitridbeschichtung von Silizium-Inversionsschicht-Solarzellen von Michael Rammensee [Maschinenschr.] 1995 128 Bl. Ill., zahlr. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1996 CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd rswk-swf Solarzelle (DE-588)4181740-0 gnd rswk-swf Inversionsschichtsolarzelle (DE-588)4162238-8 gnd rswk-swf Inversionsschicht (DE-588)4123445-5 gnd rswk-swf Oberflächenschaden (DE-588)4240187-2 gnd rswk-swf MIS (DE-588)4139664-9 gnd rswk-swf PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd rswk-swf Siliciumnitrid (DE-588)4127841-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Inversionsschichtsolarzelle (DE-588)4162238-8 s MIS (DE-588)4139664-9 s CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 s Siliciumnitrid (DE-588)4127841-0 s Oberflächenschaden (DE-588)4240187-2 s DE-604 Solarzelle (DE-588)4181740-0 s Inversionsschicht (DE-588)4123445-5 s PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 s 1\p DE-604 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
| spellingShingle | Rammensee, Michael Nachweis und Elimination der Oberflächenschädigung bei der Plasma-Siliziumnitridbeschichtung von Silizium-Inversionsschicht-Solarzellen CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd Solarzelle (DE-588)4181740-0 gnd Inversionsschichtsolarzelle (DE-588)4162238-8 gnd Inversionsschicht (DE-588)4123445-5 gnd Oberflächenschaden (DE-588)4240187-2 gnd MIS (DE-588)4139664-9 gnd PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Siliciumnitrid (DE-588)4127841-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4009846-1 (DE-588)4181740-0 (DE-588)4162238-8 (DE-588)4123445-5 (DE-588)4240187-2 (DE-588)4139664-9 (DE-588)4267316-1 (DE-588)4127841-0 (DE-588)4113937-9 |
| title | Nachweis und Elimination der Oberflächenschädigung bei der Plasma-Siliziumnitridbeschichtung von Silizium-Inversionsschicht-Solarzellen |
| title_auth | Nachweis und Elimination der Oberflächenschädigung bei der Plasma-Siliziumnitridbeschichtung von Silizium-Inversionsschicht-Solarzellen |
| title_exact_search | Nachweis und Elimination der Oberflächenschädigung bei der Plasma-Siliziumnitridbeschichtung von Silizium-Inversionsschicht-Solarzellen |
| title_full | Nachweis und Elimination der Oberflächenschädigung bei der Plasma-Siliziumnitridbeschichtung von Silizium-Inversionsschicht-Solarzellen von Michael Rammensee |
| title_fullStr | Nachweis und Elimination der Oberflächenschädigung bei der Plasma-Siliziumnitridbeschichtung von Silizium-Inversionsschicht-Solarzellen von Michael Rammensee |
| title_full_unstemmed | Nachweis und Elimination der Oberflächenschädigung bei der Plasma-Siliziumnitridbeschichtung von Silizium-Inversionsschicht-Solarzellen von Michael Rammensee |
| title_short | Nachweis und Elimination der Oberflächenschädigung bei der Plasma-Siliziumnitridbeschichtung von Silizium-Inversionsschicht-Solarzellen |
| title_sort | nachweis und elimination der oberflachenschadigung bei der plasma siliziumnitridbeschichtung von silizium inversionsschicht solarzellen |
| topic | CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd Solarzelle (DE-588)4181740-0 gnd Inversionsschichtsolarzelle (DE-588)4162238-8 gnd Inversionsschicht (DE-588)4123445-5 gnd Oberflächenschaden (DE-588)4240187-2 gnd MIS (DE-588)4139664-9 gnd PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Siliciumnitrid (DE-588)4127841-0 gnd |
| topic_facet | CVD-Verfahren Solarzelle Inversionsschichtsolarzelle Inversionsschicht Oberflächenschaden MIS PECVD-Verfahren Siliciumnitrid Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT rammenseemichael nachweisundeliminationderoberflachenschadigungbeiderplasmasiliziumnitridbeschichtungvonsiliziuminversionsschichtsolarzellen |