Mask technology for integrated circuits and micro-components: Vorträge der GMM-Fachtagung vom 23. bis 24. Oktober 1996 in München
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Berlin ; Offenbach
VDE-Verl.
1996
|
| Schriftenreihe: | GMM-Fachbericht
16 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Literaturangaben |
| Beschreibung: | 155 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3800722178 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV011001593 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20210903 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 961007s1996 gw ad|| |||| 10||| eng d | ||
| 016 | 7 | |a 948745193 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3800722178 |c kart. : DM 98.00, sfr 89.00, S 715.00 |9 3-8007-2217-8 | ||
| 035 | |a (OCoLC)221925331 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV011001593 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a eng | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-92 |a DE-634 | ||
| 050 | 0 | |a TK7872.M3 | |
| 084 | |a ZN 4170 |0 (DE-625)157366: |2 rvk | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Mask technology for integrated circuits and micro-components |b Vorträge der GMM-Fachtagung vom 23. bis 24. Oktober 1996 in München |c Veranst.: VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik in Zusammenarbeit mit Semiconductor Equipment and Materials International, Europe (SEMI-Europe). Wiss. Tagungsleitung: U. Behringer |
| 264 | 1 | |a Berlin ; Offenbach |b VDE-Verl. |c 1996 | |
| 300 | |a 155 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a GMM-Fachbericht |v 16 | |
| 500 | |a Literaturangaben | ||
| 650 | 4 | |a Integrated circuits |x Masks |x Congresses | |
| 650 | 4 | |a Microelectronics |x Congresses | |
| 650 | 0 | 7 | |a Maskentechnik |0 (DE-588)4125845-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)1071861417 |a Konferenzschrift |y 1996 |z München |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Maskentechnik |0 (DE-588)4125845-9 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Behringer, Uwe |0 (DE-588)1089298536 |4 edt | |
| 830 | 0 | |a GMM-Fachbericht |v 16 |w (DE-604)BV011091581 |9 16 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007365437 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804125492698152960 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author2 | Behringer, Uwe |
| author2_role | edt |
| author2_variant | u b ub |
| author_GND | (DE-588)1089298536 |
| author_facet | Behringer, Uwe |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV011001593 |
| callnumber-first | T - Technology |
| callnumber-label | TK7872 |
| callnumber-raw | TK7872.M3 |
| callnumber-search | TK7872.M3 |
| callnumber-sort | TK 47872 M3 |
| callnumber-subject | TK - Electrical and Nuclear Engineering |
| classification_rvk | ZN 4170 |
| ctrlnum | (OCoLC)221925331 (DE-599)BVBBV011001593 |
| discipline | Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01636nam a2200409 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV011001593</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20210903 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">961007s1996 gw ad|| |||| 10||| eng d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">948745193</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3800722178</subfield><subfield code="c">kart. : DM 98.00, sfr 89.00, S 715.00</subfield><subfield code="9">3-8007-2217-8</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)221925331</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV011001593</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">eng</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-92</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield></datafield><datafield tag="050" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">TK7872.M3</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4170</subfield><subfield code="0">(DE-625)157366:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mask technology for integrated circuits and micro-components</subfield><subfield code="b">Vorträge der GMM-Fachtagung vom 23. bis 24. Oktober 1996 in München</subfield><subfield code="c">Veranst.: VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik in Zusammenarbeit mit Semiconductor Equipment and Materials International, Europe (SEMI-Europe). Wiss. Tagungsleitung: U. Behringer</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Berlin ; Offenbach</subfield><subfield code="b">VDE-Verl.</subfield><subfield code="c">1996</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">155 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">GMM-Fachbericht</subfield><subfield code="v">16</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Literaturangaben</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Integrated circuits</subfield><subfield code="x">Masks</subfield><subfield code="x">Congresses</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Microelectronics</subfield><subfield code="x">Congresses</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Maskentechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4125845-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)1071861417</subfield><subfield code="a">Konferenzschrift</subfield><subfield code="y">1996</subfield><subfield code="z">München</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Maskentechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4125845-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Behringer, Uwe</subfield><subfield code="0">(DE-588)1089298536</subfield><subfield code="4">edt</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">GMM-Fachbericht</subfield><subfield code="v">16</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV011091581</subfield><subfield code="9">16</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007365437</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)1071861417 Konferenzschrift 1996 München gnd-content |
| genre_facet | Konferenzschrift 1996 München |
| id | DE-604.BV011001593 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T18:02:25Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3800722178 |
| language | English |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007365437 |
| oclc_num | 221925331 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-92 DE-634 |
| owner_facet | DE-92 DE-634 |
| physical | 155 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1996 |
| publishDateSearch | 1996 |
| publishDateSort | 1996 |
| publisher | VDE-Verl. |
| record_format | marc |
| series | GMM-Fachbericht |
| series2 | GMM-Fachbericht |
| spelling | Mask technology for integrated circuits and micro-components Vorträge der GMM-Fachtagung vom 23. bis 24. Oktober 1996 in München Veranst.: VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik in Zusammenarbeit mit Semiconductor Equipment and Materials International, Europe (SEMI-Europe). Wiss. Tagungsleitung: U. Behringer Berlin ; Offenbach VDE-Verl. 1996 155 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier GMM-Fachbericht 16 Literaturangaben Integrated circuits Masks Congresses Microelectronics Congresses Maskentechnik (DE-588)4125845-9 gnd rswk-swf (DE-588)1071861417 Konferenzschrift 1996 München gnd-content Maskentechnik (DE-588)4125845-9 s DE-604 Behringer, Uwe (DE-588)1089298536 edt GMM-Fachbericht 16 (DE-604)BV011091581 16 |
| spellingShingle | Mask technology for integrated circuits and micro-components Vorträge der GMM-Fachtagung vom 23. bis 24. Oktober 1996 in München GMM-Fachbericht Integrated circuits Masks Congresses Microelectronics Congresses Maskentechnik (DE-588)4125845-9 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4125845-9 (DE-588)1071861417 |
| title | Mask technology for integrated circuits and micro-components Vorträge der GMM-Fachtagung vom 23. bis 24. Oktober 1996 in München |
| title_auth | Mask technology for integrated circuits and micro-components Vorträge der GMM-Fachtagung vom 23. bis 24. Oktober 1996 in München |
| title_exact_search | Mask technology for integrated circuits and micro-components Vorträge der GMM-Fachtagung vom 23. bis 24. Oktober 1996 in München |
| title_full | Mask technology for integrated circuits and micro-components Vorträge der GMM-Fachtagung vom 23. bis 24. Oktober 1996 in München Veranst.: VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik in Zusammenarbeit mit Semiconductor Equipment and Materials International, Europe (SEMI-Europe). Wiss. Tagungsleitung: U. Behringer |
| title_fullStr | Mask technology for integrated circuits and micro-components Vorträge der GMM-Fachtagung vom 23. bis 24. Oktober 1996 in München Veranst.: VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik in Zusammenarbeit mit Semiconductor Equipment and Materials International, Europe (SEMI-Europe). Wiss. Tagungsleitung: U. Behringer |
| title_full_unstemmed | Mask technology for integrated circuits and micro-components Vorträge der GMM-Fachtagung vom 23. bis 24. Oktober 1996 in München Veranst.: VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik in Zusammenarbeit mit Semiconductor Equipment and Materials International, Europe (SEMI-Europe). Wiss. Tagungsleitung: U. Behringer |
| title_short | Mask technology for integrated circuits and micro-components |
| title_sort | mask technology for integrated circuits and micro components vortrage der gmm fachtagung vom 23 bis 24 oktober 1996 in munchen |
| title_sub | Vorträge der GMM-Fachtagung vom 23. bis 24. Oktober 1996 in München |
| topic | Integrated circuits Masks Congresses Microelectronics Congresses Maskentechnik (DE-588)4125845-9 gnd |
| topic_facet | Integrated circuits Masks Congresses Microelectronics Congresses Maskentechnik Konferenzschrift 1996 München |
| volume_link | (DE-604)BV011091581 |
| work_keys_str_mv | AT behringeruwe masktechnologyforintegratedcircuitsandmicrocomponentsvortragedergmmfachtagungvom23bis24oktober1996inmunchen |