Elektrische Charakterisierung von ZnSe/GaAs-Heterostrukturen mit C(V)-, I(V)- und DLTS-Messungen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1996
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Bremen, Univ., Diss., 1996 |
| Beschreibung: | 180 S. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010981211 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 960924s1996 gw d||| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 948306556 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)258501542 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010981211 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-355 |a DE-29T |a DE-11 | ||
| 100 | 1 | |a Schimanski, Bea |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Elektrische Charakterisierung von ZnSe/GaAs-Heterostrukturen mit C(V)-, I(V)- und DLTS-Messungen |c vorgelegt von Bea Schimanski |
| 264 | 1 | |c 1996 | |
| 300 | |a 180 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Bremen, Univ., Diss., 1996 | ||
| 650 | 4 | |a Zinkselenid - Galliumarsenid - Heterostruktur - Störstelle | |
| 650 | 0 | 7 | |a Galliumarsenid |0 (DE-588)4019155-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Zinkselenid |0 (DE-588)4190874-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Heterostruktur |0 (DE-588)4123378-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Störstelle |0 (DE-588)4193400-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Zinkselenid |0 (DE-588)4190874-0 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Galliumarsenid |0 (DE-588)4019155-2 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Heterostruktur |0 (DE-588)4123378-5 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Störstelle |0 (DE-588)4193400-3 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007348580&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007348580 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807501994917625856 |
|---|---|
| adam_text |
I
NHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
.
4
2.
GRUNDLAGEN
.
6
2.1
STRUKTURELLE
UND
ELEKTRONISCHE
EIGENSCHAFTEN
DES
ZNSE/GAAS-HETEROUEBERGANGES
6
2.1.1
GRUNDLEGENDE
EIGENSCHAFTEN
DES
ZNSE
.
6
2.1.2
DER
ZNSE/GAAS-UEBERGANG
.
7
2.2
STOERSTELLEN
.
11
2.2.1
FLACHE
UND
TIEFE
STOERTELLEN
.
11
2.2.2
DEFINITION
DER
HAFTSTELLE
.
14
2.2.3
BESETZUNGSSTATISTIK
TIEFER
STOERSTELLEN
.
15
2.3
DER
SCHOTTKY-KONTAKT
.
19
2.3.1
ENTSTEHUNG
DES
SCHOTTKY-KONTAKTES
.
19
2.3.2
GLEICHGEWICHTSKAPAZITAET
DES
SCHOTTKY-KONTAKTES
.
21
2.3.3
GLEICHSTROMVERHALTEN
DES
SCHOTTKY-KONTAKTES
.
25
3.
TIEFE
STOERSTELLEN
IN
ZNSE
LITERATURIIBERBLICK
.
27
3.1
UNDOTIERTES
ZNSE
.
28
3.2
CHLORDOTIERTES
ZNSE
.
36
3.3
STICKSTOFFDOTIERTES
ZNSE
.
39
4.
MESSMETHODEN
.
47
4.1
1(V)-MESSUNGEN
.
47
4.2
C(V)-MESSUNGEN
.
49
4.2.1
ERSATZSCHALTBILD
.
49
4.2.2
FREQUENZABHAENGIGKEIT
DER
MESSGROESSEN
C
M
UND
R
M
.
50
4.2.3
SPANNUNGSABHAENGIGKEIT
DER
KAPAZITAET
.
54
4.3
DLTS-MESSUNGEN
.
55
4.3.1
MESSPRINZIP
.
56
4.3.2
TEMPERATURABHAENGIGER
EINFANGQUERSCHNITT
.
61
4.3.3
FELDUNTERSTUETZTE
EMISSION
.
62
4.3.4
DOUBLE-CORRELATION-DLTS
(DDLTS)
.
64
4.3.5
WEITERE
DLTS-VERFAHREN
.
66
4.3.5.1
CONSTANT-CAPACITANCE
DLTS
(CC-DLTS)
.
66
4.3.5.2
OPTISCHE
DLTS
(ODLTS)
.
67
5.
PROBENPRAEPARATION
UND
MESSAUFBAU
.
69
5.1
AUFBAU
DER
MESSAPPARATUREN
.
69
2
_
5.1.1
C(V)-I(V)-MESSPLATZ
UNIVERSITAET
BREMEN
.
69
5.1.1.1
C(V)-MESSUNGEN
.
69
5.1.1.2
1(V)-MESSUNGEN
.
70
5.1.2
C(V)
UND
DLTS-MESSPLATZ
UNIVERSITAET
ROSTOCK
.
71
5.1.2.1
EICHPROZEDUR
ZUR
BESTIMMUNG
DER
ZENTRENKONZENTRATION
.
73
5.2
PROBENHERSTELLUNG
.
75
5.2.1
MOVPE
.
75
5.2.2
MBE
.
77
5.3
PROBENPRAEPARATION
.
78
5.3.1
PHOTOLITHOGRAPHIE
.
79
5.3.2
OHMSCHE
KONTAKTE
.
80
5.3.2.1
OHMSCHE
KONTAKTE
AUF
DER
BASIS
VON
GOLD-GERMANIUM
AUGEL2
.81
5.3.2.2
OHMSCHE
KONTAKTE
AUF
DER
BASIS
VON
INDIUM
.
84
5.3.3
SCHOTTKY-KONTAKTE
.
85
5.3.4
BONDEN
.
86
6.
MESSERGEBNISSE
UND
AUSWERTUNG
.
87
6.1
BESTIMMUNG
DES
LEITUNGSTYPS
DER
ZNSE-SCHICHTEN
DURCH
C(V)-MESSUNGEN
.
87
6.1.1
FREQUENZABHAENGIGKEIT
DER
EFFEKTIVEN
FLAECHE
DES
HETEROUEBERGANGES
.
88
6.1.2
MESSUNGEN
ZWISCHEN
ZWEI
SCHOTTKY-KONTAKTEN
UNTERSCHIEDLICHER
GROESSE
.91
6.2
BESTIMMUNG
DER
EFFEKTIVEN
LADUNGSTRAEGERKONZENTRATION
.
94
6.2.1
MBE-PROBEN
.
94
6.2.1.1
STICKSTOFFDOTIERTE,
N-LEITENDE
ZNSE-SCHICHTEN
.
94
6.2.1.2
STICKSTOFFDOTIERTE,
P-LEITENDE
ZNSE-SCHICHTEN
.
94
6.2.1.3
CHLORDOTIERTE
ZNSE-SCHICHTEN
.
96
6.2.2
MOVPE-PROBEN
.
98
6.3
BESTIMMUNG
DER
SCHOTTKY-BARRIERENHOEHE
DURCH
I(V)-MESSUNGEN
.
103
6.3.1
MBE-PROBEN
.
104
6.3.1.1
STICKSTOFFDOTIERTE,
P-LEITENDE
ZNSE-SCHICHTEN
.
104
6.3.1.2
STICKSTOFFDOTIERTE,
N-LEITENDE
ZNSE-SCHICHTEN
.
109
6.3.1.3
CHLORDOTIERTE
ZNSE-SCHICHTEN
.
111
6.3.2
MOVPE-PROBEN
.
112
6.3.3
DISKUSSION
.
115
6.4
TEMPERATURABHAENGIGE
C(V)-MESSUNGEN
.
116
6.4.1
MOVPE-PROBEN
.
117
6.4.2
MBE-PROBEN
.
120
6.4.2.1
STICKSTOFFDOTIERTE,
P-LEITENDE
ZNSE-SCHICHTEN
.
120
OE.4.2.2
STICKSTOFFDOTIERTE,
N-LEITENDE
ZNSE-SCHICHTEN
.
122
INHALTSVERZEICHNIS
3
6.4.2.3
CHLORDOTIERTE
ZNSE-SCHICHTEN
.
123
6.5
NICHTGLEICHGEWICHTS-C(V)-MESSUNGEN
.
124
6.5.1
MOVPE-PROBEN
.
125
6.5.2
MBE-PROBEN
.
127
6.5.2.1
STICKSTOFFDOTIERTE,
P-LEITENDE
ZNSE-SCHICHTEN
.
127
OE.5.2.2
STICKSTOFFDOTIERTE,
N-LEITENDE
ZNSE-SCHICHTEN
.
128
OE.5.2.3
CHLORDOTIERTE
ZNSE-SCHICHTEN
.
129
6.6
VERHALTEN
DER
C(V)-KURVEN
UNTER
DEM
EINFLUSS
VON
WEISSEM
LICHT
.
130
6.6.1
MOVPE-PROBEN
.
130
6.6.2
MBE-PROBEN
.
132
6.6.2.1
STICKSTOFFDOTIERTE,
P-LEITENDE
ZNSE-SCHICHTEN
.
132
6.6.2.2
STICKSTOFFDOTIERTE,
N-LEITENDE
ZNSE-SCHICHTEN
.
133
6.6.2.3
CHLORDOTIERTE
ZNSE-SCHICHTEN
.
136
6.7
DLTS-MESSUNGEN
.
137
6.7.1
MOVPE-PROBEN
.
139
6.7.2
MBE-PROBEN
.
144
6.7.2.1
N-LEITENDE
ZNSE-SCHICHTEN
(ZNSE:CL,
ZNSE:N)
.
144
OE.7.2.2
STICKSTOFFDOTIERTE,
P-LEITENDE
ZNSE-SCHICHTEN
.
147
6.8
DISKUSSION
DER
C(V)
UND
DLTS-MESSUNGEN
.
151
6.8.1
ZUSAMMENFASSUNG
.
151
6.8.2
DISKUSSION
.
154
6.8.2.1
PROBEN
MIT
ZUSAETZLICHER
KAPAZITAET
IM
SPERRBEREICH
DES
.
HETEROUEBERGANGES
.
155
OE.8.2.2
PROBEN
MIT
'NORMALEM'
KAPAZITAETSVERLAUF
IM
SPERRBEREICH
DES
.
HETEROUEBERGANGES
.
160
OE.8.2.3
DLTS-MESSUNGEN
.
162
6.8.2.4
ANORMALES
TEMPERATURVERHALTEN
DER
KAPAZITAETEN
.
163
7.
ZUSAMMENFASSUNG
.
167
8.
VERWENDETE
SYMBOLE.
.
170
9.
LITERATURVERZEICHNIS.
.173
ANHANG
A:
HERSTELLUNG
DER
OHMSCHEN
KONTAKTE
MIT
AUGEL2
.178
ANHANG
B:
AUFDAMPFPARAMETER
.
179
ANHANG
C:
BONDPARAMETER
.
-----
.
-----------------
180 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Schimanski, Bea |
| author_facet | Schimanski, Bea |
| author_role | aut |
| author_sort | Schimanski, Bea |
| author_variant | b s bs |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010981211 |
| ctrlnum | (OCoLC)258501542 (DE-599)BVBBV010981211 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV010981211</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">960924s1996 gw d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">948306556</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)258501542</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010981211</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schimanski, Bea</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Elektrische Charakterisierung von ZnSe/GaAs-Heterostrukturen mit C(V)-, I(V)- und DLTS-Messungen</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Bea Schimanski</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1996</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">180 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Bremen, Univ., Diss., 1996</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Zinkselenid - Galliumarsenid - Heterostruktur - Störstelle</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Galliumarsenid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4019155-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Zinkselenid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4190874-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Heterostruktur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4123378-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Störstelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4193400-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Zinkselenid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4190874-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Galliumarsenid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4019155-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Heterostruktur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4123378-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Störstelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)4193400-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007348580&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007348580</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010981211 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-16T00:30:27Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007348580 |
| oclc_num | 258501542 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-11 |
| owner_facet | DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-11 |
| physical | 180 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1996 |
| publishDateSearch | 1996 |
| publishDateSort | 1996 |
| record_format | marc |
| spelling | Schimanski, Bea Verfasser aut Elektrische Charakterisierung von ZnSe/GaAs-Heterostrukturen mit C(V)-, I(V)- und DLTS-Messungen vorgelegt von Bea Schimanski 1996 180 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Bremen, Univ., Diss., 1996 Zinkselenid - Galliumarsenid - Heterostruktur - Störstelle Galliumarsenid (DE-588)4019155-2 gnd rswk-swf Zinkselenid (DE-588)4190874-0 gnd rswk-swf Heterostruktur (DE-588)4123378-5 gnd rswk-swf Störstelle (DE-588)4193400-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Zinkselenid (DE-588)4190874-0 s Galliumarsenid (DE-588)4019155-2 s Heterostruktur (DE-588)4123378-5 s Störstelle (DE-588)4193400-3 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007348580&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Schimanski, Bea Elektrische Charakterisierung von ZnSe/GaAs-Heterostrukturen mit C(V)-, I(V)- und DLTS-Messungen Zinkselenid - Galliumarsenid - Heterostruktur - Störstelle Galliumarsenid (DE-588)4019155-2 gnd Zinkselenid (DE-588)4190874-0 gnd Heterostruktur (DE-588)4123378-5 gnd Störstelle (DE-588)4193400-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4019155-2 (DE-588)4190874-0 (DE-588)4123378-5 (DE-588)4193400-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Elektrische Charakterisierung von ZnSe/GaAs-Heterostrukturen mit C(V)-, I(V)- und DLTS-Messungen |
| title_auth | Elektrische Charakterisierung von ZnSe/GaAs-Heterostrukturen mit C(V)-, I(V)- und DLTS-Messungen |
| title_exact_search | Elektrische Charakterisierung von ZnSe/GaAs-Heterostrukturen mit C(V)-, I(V)- und DLTS-Messungen |
| title_full | Elektrische Charakterisierung von ZnSe/GaAs-Heterostrukturen mit C(V)-, I(V)- und DLTS-Messungen vorgelegt von Bea Schimanski |
| title_fullStr | Elektrische Charakterisierung von ZnSe/GaAs-Heterostrukturen mit C(V)-, I(V)- und DLTS-Messungen vorgelegt von Bea Schimanski |
| title_full_unstemmed | Elektrische Charakterisierung von ZnSe/GaAs-Heterostrukturen mit C(V)-, I(V)- und DLTS-Messungen vorgelegt von Bea Schimanski |
| title_short | Elektrische Charakterisierung von ZnSe/GaAs-Heterostrukturen mit C(V)-, I(V)- und DLTS-Messungen |
| title_sort | elektrische charakterisierung von znse gaas heterostrukturen mit c v i v und dlts messungen |
| topic | Zinkselenid - Galliumarsenid - Heterostruktur - Störstelle Galliumarsenid (DE-588)4019155-2 gnd Zinkselenid (DE-588)4190874-0 gnd Heterostruktur (DE-588)4123378-5 gnd Störstelle (DE-588)4193400-3 gnd |
| topic_facet | Zinkselenid - Galliumarsenid - Heterostruktur - Störstelle Galliumarsenid Zinkselenid Heterostruktur Störstelle Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007348580&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT schimanskibea elektrischecharakterisierungvonznsegaasheterostrukturenmitcvivunddltsmessungen |