Untersuchung mikromechanischer Eigenschaften von dünnen Schichten und Mikrokomponenten durch Nanoindentationsmethoden:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Stuttgart
Inst. für Metallkunde
1996
Stuttgart Max-Planck-Inst. für Metallforschung |
| Schriftenreihe: | Max-Planck-Institut für Metallforschung <Stuttgart>: Bericht
17 |
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| Beschreibung: | Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1996 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
.
1
2.
GRUNDLAGEN
DER
HAERTEMESSUNG
.
3
2.1
DIE
KONVENTIONELLE
HAERTEPRUEFUNG
.
3
2.2
DIE
REGISTRIERENDE
HAERTEPRUEFUNG
.
4
2.2.1
GRUNDLAGEN
DER
REGISTRIERENDEN
HAERTEPRUEFUNG
.
4
2.2.2
BEMERKUNGEN
ZUR
REGISTRIERENDEN
HAERTEMESSUNG
.
9
3.
DER
NANO-INDENTER
H
.
11
3.1
AUFBAU
UND
FUNKTIONSWEISE
.
11
3.2
KALIBRIERUNG
.
15
3.2.1
LASTMESSUNG
.
15
3.2.2
VERSCHIEBUNGSMESSUNG
.
17
3.2.3
FEDERSTEIFIGKEIT
.
20
3.2.4
MASCHINENNACHGIEBIGKEIT
UND
INDENTERGEOMETRIEFUNKTION
.
21
3.3
THERMISCHE
DRIFT
.
28
3.3.1
RAUMTEMPERATURDRIFT
.
28
3.3.2
DRIFT
DURCH
JOULESCHE
ERWAERMUNG
.
29
3.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
KALIBRIERUNG
DES
NANO-INDENTERLL
.
32
4.
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
METHODE
DER
REGISTRIERENDEN
HAERTEPRUEFUNG
.
35
4.1
DUENNE
SCHICHTEN
.
35
4.1.1
HAERTEMESSUNG
.
36
4.1.2
ELASTIZITAETSMODUL
.
40
4.1.3
DISKUSSION
.
44
4.1.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
REGISTRIERENDEN
HAERTEPRUEFUNG
AN
DUENNEN
SCHICHTEN
.
52
4.2
LEITERBAHNEN
.
54
4.2.1
EINFLUSS
DER
LEITERBAHNBREITE
.
54
4.2.2 EINFLUSS
DER
POSITION
DES
EINDRUCKS
IN
DER
LEITERBAHN
.
56
4.2.3
DISKUSSION
UND
ZUSAMMENFASSUNG
DER
HAERTEMESSUNG
AN
LEITERBAHNEN
.
58
4.3
ZEITABHAENGIGE
VERFORMUNGSVORGAENGE
.
59
4.3.1
GRUNDLAGEN
.
60
4.3.2
VORGEHENSWEISE
UND
ERGEBNISSE
.
61
4.3.3
DISKUSSION
UND
ZUSAMMENFASSUNG
DER
UNTERSUCHUNG
DER
ZEITABHAENGIGEN
VERFORMUNGSVORGAENGE
.
66
5.
ELEKTROPLASTIZITAET
UND
ELEKTROMIGRATION
.
69
5.1
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
.
70
5.1.1
ELEKTROMIGRATION
.
70
5.1.2
ELEKTROPLASTIZITAET
.
73
5.1.3
VERSETZUNGSMECHANISMEN
BEI
DER
ELEKTROMIGRATION
.
77
5.1.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
GRUNDLAGEN
UND
ZIEL
DER
UNTERSUCHUNGEN
.
80
5.2
EXPERIMENTELLE
DURCHFUEHRUNG
.
82
5.2.1
PROBEN
.
82
5.2.2
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
.
83
5.3
ERGEBNISSE
.
87
5.3.1
HAERTEMESSUNG
AN
STROMDURCHFLOSSENEN
LEITERBAHNEN
.
87
5.3.2
VERAENDERUNG
DER
MECHANISCHEN
EIGENSCHAFTEN
BEI
DER
ELEKTROMIGRATION
.
90
5.3.3
EINFLUSS
VON
PLASTISCHER
VERFORMUNG
AUF
DEN
ELEKTROMIGRATIONSPROZESS
.
91
5.3.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
ERGEBNISSE
.
95
5.4
DISKUSSION
.
95
5.4.1
ELEKTROPLASTISCHER
EFFEKT
.
95
5.4.2
VERAENDERUNG
DER
MECHANISCHEN
EIGENSCHAFTEN
BEI
DER
ELEKTROMIGRATION
.
98
5.4.3
EINFLUSS
MECHANISCHER
VERFORMUNG
AUF
DIE
ELEKTROMIGRATIONSSCHAEDIGUNG
.
99
5.5
ZUSAMMENFASSUNG
.
103
6.
BIEGEEXPERIMENTE
AN
MIKROBALKEN
ZUR
BESTIMMUNG
MECHANISCHER
EIGENSCHAFTEN
DUENNER
SCHICHTEN
.
105
6.1
MOTIVATION
.
105
6.2
GRUNDLAGEN
.
106
6.2.1
LITERATURUEBERSICHT
.
106
6.2.2
THEORETISCHE
ANSAETZE
FUER
DIE
BALKENBIEGUNG
.
108
6.3
EXPERIMENTELLES
.
112
6.3.1
MIKROBALKEN
.
112
6.3.2
EXPERIMENTELLE
DURCHFUEHRUNG
.
114
6.3.3
BESTIMMUNG
DES
BIEGEMODULS
.
117
6.4
BETRACHTUNG
DER
RANDBEDINGUNGEN
.
118
6.4.1
SCHERKORREKTUR
.
118
6.4.2
POSITIONSUNGENAUIGKEIT
.
120
6.4.3
EINSPANNUNG
UND
SPANNUNGSZUSTAND
DES
BALKENS
.
121
6.4.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
BETRACHTUNG
DER
RANDBEDINGUNGEN
.
122
6.5
FINITE
ELEMENTE
SIMULATION
.
123
6.5.1
FINITE
ELEMENTE
MODELL
.
123
6.5.2
DURCHFUEHRUNG
UND
AUSWERTUNG
DER
FE-SIMULATION
.
125
6.5.3
BERECHNUNG
DER
BIEGEMODULN
.
126
6.5.4
ROTATIONSKORREKTUR
.
128
6.5.5
SPANNUNGSZUSTAND
DES
BALKENS
.
130
6.5.6
ZUSAMMENFASSUNG
DER
ERGEBNISSE
DER
FE-BERECHNUNGEN
.
134
6.6
AUSWERTUNG
DER
EXPERIMENTELLEN
DATEN
DER
UNBESCHICHTETEN
BALKEN
.
134
6.6.1
MODELL
ZUR
KORREKTUR
DER
ROTATION
.
135
6.6.2
MODELL
ZUR
KORREKTUR
DER
POSITIONSUNGENAUIGKEIT
.
136
6.6.3
BESTIMMUNG
DES
BIEGEMODULS
UNTER
VERWENDUNG
DER
MODELLANSAETZE
.
137
6.7
BESCHICHTETE
BALKEN
.
139
6.7.1
MODIFIZIERTES
BIEGEMODELL
.
140
6.7.2
EXPERIMENTELLES
.
142
6.7.3
BESTIMMUNG
DES
BIEGEMODULS
DER
SCHICHT
.
143
6.7.4
UNTERSUCHUNG DER
PLASTISCHEN
EIGENSCHAFTEN
DER
SCHICHT
.
145
6.7.5
ZUSAMMENFASSUNG
DER
ERGEBNISSE
DER
BESCHICHTETEN
BALKEN
.
150
6.8
DISKUSSION
UND
ZUSAMMENFASSUNG
.
151
6.8.1
UNBESCHICHTETE
BALKEN
.
151
6.8.2
BESCHICHTETE
BALKEN
.
153
7.
ZUSAMMENFASSUNG
.
157
8.
LITERATUR
.
160 |
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| title_full | Untersuchung mikromechanischer Eigenschaften von dünnen Schichten und Mikrokomponenten durch Nanoindentationsmethoden vorgelegt von Michael Peter Knauss. Institut für Metallkunde der Universität Stuttgart und Max-Planck-Institut für Metallforschung |
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