Aufbau hybrider mikro-optischer Funktionsmodule für die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren:
Saved in:
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Karlsruhe
Forschungszentrum Karlsruhe
1996
|
| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte
5786 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. A. Müller, 1996 |
| Physical Description: | 94 S. Ill., graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010927629 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19970715 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 960826s1996 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 948235691 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)75773162 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010927629 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-12 |a DE-91 | ||
| 084 | |a ELT 287f |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 393f |2 stub | ||
| 088 | |a FZKA 5786 | ||
| 100 | 1 | |a Müller, André |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Aufbau hybrider mikro-optischer Funktionsmodule für die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren |c A. Müller ; J. Göttert ; J. Mohr. Forschungszentrum Karlsruhe, Technik und Umwelt |
| 246 | 1 | 3 | |a FZKA 5786 |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Karlsruhe |b Forschungszentrum Karlsruhe |c 1996 | |
| 300 | |a 94 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |v 5786 | |
| 500 | |a Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. A. Müller, 1996 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Monomodefaser |0 (DE-588)4196888-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Hybridtechnik |0 (DE-588)4122206-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrooptik |0 (DE-588)4362762-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Optische Bank |0 (DE-588)4364691-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a LIGA-Verfahren |0 (DE-588)4274347-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Mikrooptik |0 (DE-588)4362762-6 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Hybridtechnik |0 (DE-588)4122206-4 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Optische Bank |0 (DE-588)4364691-8 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Monomodefaser |0 (DE-588)4196888-8 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a LIGA-Verfahren |0 (DE-588)4274347-3 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Göttert, Jost |e Verfasser |4 aut | |
| 700 | 1 | |a Mohr, Jürgen |e Verfasser |4 aut | |
| 830 | 0 | |a Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |v 5786 |w (DE-604)BV010181833 |9 5786 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007309818&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007309818 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1826220068677091328 |
|---|---|
| adam_text |
1
EINLEITUNG
9
2
OPTISCH-PHYSIKALISCHE
GRUNDLAGEN
NACHRICHTENTECHNISCHER
FUNKTIONSMODULE
15
2.1
F
UNKTIONSWEISE
PHOTONISCHER
B
ASISKOMPONENTEN
2.1.1
E
INMODENFASERN
2.1.2
L
ASERDIODEN
2.1.3
D
ETEKTOREN
2
2
G
RUNDLAGEN
FUER
DAS
D
ESIGN
MIKROOPTISCHER
F
UNKTIONSMODULE
2.2.1
A
BSTRAHLVERHALTEN
FASEROPTISCHER
K
OMPONENTEN
2.2.2
O
PTISCHES
D
ESIGNKONZEPT
2.2.3
A
BBILDUNGSTHEORIE
FUER
G
ASSTRAHLEN
2.2.4
T
OLERANZEN
FUER
EINE
L
ICHTROEHRE
2.3
O
PTISCHE
M
EBTECHNIK
15
15
19
22
23
23
25
25
28
30
3
DIE
HERSTELLUNG
EINER
MIKROOPTISCHEN
BANK
MIT
DEM
LIGA-VERFAHREN
35
3.1
D
AS
MODIFIZIERTE
LIGA-V
ERFAHREN
32
G
ESTUFTE
S
UBSTRATE
FUER
DIE
R
OENTGENTIEFENLITHOGRAPHIE
3.2.1
S
ILIZIUM
-M
IKROMECHANIK
3.2.2
R
OENTGENTIEFENLITHOGRAPHIE
UND
G
ALVANIK
3.3
PROZESSGENAUIGKEIT
BEI
DER
WEITEREN
STRUKTURIERUNG
3.3.1
V
ERTIKALE
P
RAEZISION
3.3.2
L
ATERALE
P
RAEZISION
35
36
36
39
40
40
43
4
BIDIREKTIONALES
SENDE-/EMPFANGSMODUL
51
4.1
K
ONZEPTION
DES
M
ODULS
4.1.1
B
ESCHREIBUNG
DES
M
ODULS
4.1.2
S
PEZIFIKATIONEN
UND
K
OMPONENTEN
4.1.3
D
ESIGN
UND
P
ROZESSIERUNG
42
Q
UALIFIZIERUNG
DER
MIKROOPTISCHEN
B
ANK
4.3
D
IE
A
UFBAU
-
UND
V
ERBINDUNGSTECHNIK
DES
M
ODULS
4.3.1
T
OLERANZUNTERSUCHUNGEN
4.3.2
T
ECHNIKEN
ZUR
AVT
DES
M
ODULS
4.4
Q
UALIFIZIERUNG
DES
M
ODULS
4.4.1
T
ECHNISCH
-O
PTISCHE
L
EISTUNGSDATEN
4.4.2
U
MWELTVERTRAEGLICHKEIT
51
51
52
54
56
59
60
62
64
64
65
5
OPTOMECHANISCHE
BYPASS-SCHALTUNG
FUER
EINMODENFASERN
67
5.1
A
UFBAUKONZEPT
5.2
E
LEKTROSTATISCHER
L
INEARANTRIEB
5.2.1
F
UNKTIONSPRINZIP
5.2.2
D
ESIGN
DER
B
YPASS
-S
CHALTUNG
5.2.3
PROZESSTECHNISCHE
UNTERSUCHUNGEN
5.3
D
IE
MIKROOPTISCHE
B
ANK
DER
B
YPASS
-S
CHALTUNG
68
68
68
71
73
74
5.4
PROZESSIERUNG
83
5.5
L
EISTUNGSDATEN
83
5.5.1
ELEKTROMECHANISCHE
CHARAKTERISIERUNG
DES
AKTORS
84
5.5.2
O
PTISCHE
C
HARAKTERISIERUNG
85
5.6
A
UFBAU
-
UND
V
ERBINDUNGSTECHNIK
FUER
DIE
B
YPASS
-S
CHALTUNG
86
6
DISKUSSION
UND
AUSBLICK
88
7
ANHANG:
BEUGUNG
IN
STRAHLDIAGNOSESYSTEMEN
93
8
FORMELZEICHEN
97
9
ANMERKUNGEN
91
8 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Müller, André Göttert, Jost Mohr, Jürgen |
| author_facet | Müller, André Göttert, Jost Mohr, Jürgen |
| author_role | aut aut aut |
| author_sort | Müller, André |
| author_variant | a m am j g jg j m jm |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010927629 |
| classification_tum | ELT 287f PHY 393f |
| ctrlnum | (OCoLC)75773162 (DE-599)BVBBV010927629 |
| discipline | Physik Elektrotechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV010927629</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19970715</controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">960826s1996 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">948235691</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75773162</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010927629</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 287f</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 393f</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="088" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FZKA 5786</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Müller, André</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Aufbau hybrider mikro-optischer Funktionsmodule für die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren</subfield><subfield code="c">A. Müller ; J. Göttert ; J. Mohr. Forschungszentrum Karlsruhe, Technik und Umwelt</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">FZKA 5786</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Karlsruhe</subfield><subfield code="b">Forschungszentrum Karlsruhe</subfield><subfield code="c">1996</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">94 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte</subfield><subfield code="v">5786</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. A. Müller, 1996</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Monomodefaser</subfield><subfield code="0">(DE-588)4196888-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Hybridtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4122206-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrooptik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4362762-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Optische Bank</subfield><subfield code="0">(DE-588)4364691-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">LIGA-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274347-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Mikrooptik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4362762-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Hybridtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4122206-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Optische Bank</subfield><subfield code="0">(DE-588)4364691-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Monomodefaser</subfield><subfield code="0">(DE-588)4196888-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">LIGA-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274347-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Göttert, Jost</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Mohr, Jürgen</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte</subfield><subfield code="v">5786</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV010181833</subfield><subfield code="9">5786</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007309818&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007309818</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010927629 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2025-03-10T15:06:15Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007309818 |
| oclc_num | 75773162 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | 94 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1996 |
| publishDateSearch | 1996 |
| publishDateSort | 1996 |
| publisher | Forschungszentrum Karlsruhe |
| record_format | marc |
| series | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |
| series2 | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |
| spelling | Müller, André Verfasser aut Aufbau hybrider mikro-optischer Funktionsmodule für die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren A. Müller ; J. Göttert ; J. Mohr. Forschungszentrum Karlsruhe, Technik und Umwelt FZKA 5786 Als Ms. gedr. Karlsruhe Forschungszentrum Karlsruhe 1996 94 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte 5786 Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. A. Müller, 1996 Monomodefaser (DE-588)4196888-8 gnd rswk-swf Hybridtechnik (DE-588)4122206-4 gnd rswk-swf Mikrooptik (DE-588)4362762-6 gnd rswk-swf Optische Bank (DE-588)4364691-8 gnd rswk-swf LIGA-Verfahren (DE-588)4274347-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Mikrooptik (DE-588)4362762-6 s Hybridtechnik (DE-588)4122206-4 s Optische Bank (DE-588)4364691-8 s Monomodefaser (DE-588)4196888-8 s LIGA-Verfahren (DE-588)4274347-3 s DE-604 Göttert, Jost Verfasser aut Mohr, Jürgen Verfasser aut Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte 5786 (DE-604)BV010181833 5786 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007309818&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Müller, André Göttert, Jost Mohr, Jürgen Aufbau hybrider mikro-optischer Funktionsmodule für die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte Monomodefaser (DE-588)4196888-8 gnd Hybridtechnik (DE-588)4122206-4 gnd Mikrooptik (DE-588)4362762-6 gnd Optische Bank (DE-588)4364691-8 gnd LIGA-Verfahren (DE-588)4274347-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4196888-8 (DE-588)4122206-4 (DE-588)4362762-6 (DE-588)4364691-8 (DE-588)4274347-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Aufbau hybrider mikro-optischer Funktionsmodule für die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren |
| title_alt | FZKA 5786 |
| title_auth | Aufbau hybrider mikro-optischer Funktionsmodule für die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren |
| title_exact_search | Aufbau hybrider mikro-optischer Funktionsmodule für die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren |
| title_full | Aufbau hybrider mikro-optischer Funktionsmodule für die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren A. Müller ; J. Göttert ; J. Mohr. Forschungszentrum Karlsruhe, Technik und Umwelt |
| title_fullStr | Aufbau hybrider mikro-optischer Funktionsmodule für die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren A. Müller ; J. Göttert ; J. Mohr. Forschungszentrum Karlsruhe, Technik und Umwelt |
| title_full_unstemmed | Aufbau hybrider mikro-optischer Funktionsmodule für die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren A. Müller ; J. Göttert ; J. Mohr. Forschungszentrum Karlsruhe, Technik und Umwelt |
| title_short | Aufbau hybrider mikro-optischer Funktionsmodule für die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren |
| title_sort | aufbau hybrider mikro optischer funktionsmodule fur die optische nachrichtentechnik mit dem liga verfahren |
| topic | Monomodefaser (DE-588)4196888-8 gnd Hybridtechnik (DE-588)4122206-4 gnd Mikrooptik (DE-588)4362762-6 gnd Optische Bank (DE-588)4364691-8 gnd LIGA-Verfahren (DE-588)4274347-3 gnd |
| topic_facet | Monomodefaser Hybridtechnik Mikrooptik Optische Bank LIGA-Verfahren Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007309818&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV010181833 |
| work_keys_str_mv | AT mullerandre aufbauhybridermikrooptischerfunktionsmodulefurdieoptischenachrichtentechnikmitdemligaverfahren AT gottertjost aufbauhybridermikrooptischerfunktionsmodulefurdieoptischenachrichtentechnikmitdemligaverfahren AT mohrjurgen aufbauhybridermikrooptischerfunktionsmodulefurdieoptischenachrichtentechnikmitdemligaverfahren AT mullerandre fzka5786 AT gottertjost fzka5786 AT mohrjurgen fzka5786 |