Aufbau hybrider mikro-optischer Funktionsmodule für die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Forschungszentrum Karlsruhe
1996
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte
5786 |
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| Beschreibung: | Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. A. Müller, 1996 |
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