Untersuchungen zu Filmbildung und Filmwachstum von Prepolymeren auf anorganischen Substraten:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI Verl.
1996
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 3]
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| adam_text | Titel: Untersuchungen zu Filmbildung und Filmwachstum von Prepolymeren auf anorganischen Substraten
Autor: Gesang, Thomas
Jahr: 1996
FORTSCHRITTBERICHTE VM Dipl.-Phys. Thomas Gesang, Bremen Untersuchungen zu Filmbildung und Filmwachstum von Prepolymeren auf anorganischen Substraten Reihe 3 : Verfahrenstechni k Nr. 438 VM VERLAG
INHALTSVERZEICHNIS 1. Einleitung.............................................................................................................................1 1.1. Motivation und Zielsetzung der Arbeit..............................................................................1 1.2. Untersuchungsmethoden für dünne organische Filme.......................................................3 1.2.1. Untersuchungsmethoden, die Photonen einstrahlen und gestreute oder emittierte Photonen detektieren..............................................................................4 1.2.2. Untersuchungsmethoden, die Photonen einstrahlen und emittierte Elektronen detektieren....................................................................................................7 1.2.3. Untersuchungsmethoden, die Elektronen einstrahlen und gestreute oder emittierte Elektronen detektieren............................................................................9 1.2.4. Untersuchungsmethoden, die Ionen oder Neutralteilchen einstrahlen und gestreute oder emittierte Ionen oder Neutralteilchen detektieren..........................10 1.2.5. Rastersonden-Mikroskopien...............................................................................12 1.3. Filmbildungs- und Filmwachstumsprozesse.......................................................................15 1.3.1. Anorganische Filme............................................................................................15 1.3.2. Organische Filme................................................................................................16 1.3.3. Adsorption und Filmbildung flexibler Makromoleküle......................................19 2. Auswahl der Materialien ..................................................................................................22 2.1. Die
Substrate....................................................................................................................22 2.1.1. Die Silizium-Wafer.............................................................................................22 2.1.2. Die Aluminium-Aufdampfschichten...................................................................23 2.2. Die Beschichtungsmaterialien und Beschichtungsverfahren...........................................24 2.2.1. Das Prepolymer...................................................................................................24 2.2.2. Das Copolymer...................................................................................................26 2.2.3. Die Beschichtungsverfahren...............................................................................27 3. Verwendete Untersuchungsmethoden ............................................................................30 3.1. Die Rasterkraflmikroskopie.............................................................................................31 3.1.1. Funktionsweise des Rasterkraftmikroskops........................................................31 3.1.2. Abschirmung gegen äußere Einflüsse.................................................................32 3.1.3. Durchführung der Rasterkiaftmikroskop-Untersuchungen................................33 3.1.4. Interpretation der Rasterkraftmikroskop-Auihahmen.........................................34 3.1.5. Materialkontrast-Techniken für das Rasterkraftmikroskop................................40 3.1.6. Quantitative Auswertung von Rasterkraftmikroskop-Aufnahmen.....................41 3.2. Die Rastertunnelmikroskopie..........................................................................................48 3.2.1. Rastertunnelmikroskopie an organischen Beschichtungen.................................48 3.2.2. Durchführung
derRastertunnelmikroskop-Untersuchungen..............................48 V
3.2.3. Herstellung der Rastertunnelmikroskop-Spitzen................................................49 3.2.4. Interpretation der Rastertunnelmikroskop-Aufnahmen......................................50 3.2.5. Materialkontrast-Techniken für das Rastertunnelmikroskop..............................50 3.3. Weitere Untersuchungsmethoden....................................................................................52 3.3.1. Rasterelektronenmikroskopie..............................................................................52 3.3.2. Transmissionselektronenmikroskopie.................................................................53 3.3.3. Augerelektronen-Spektroskopie.........................................................................53 3.3.4. Ellipsometrie.......................................................................................................54 3.3.5. Röntgenphotoelektronen-Spektroskopie.............................................................54 3.3.6. Infrarot-Spektroskopie........................................................................................55 4. Untersuchungsergebnisse.................................................................................................56 4.1. Die Substrate....................................................................................................................56 4.1.1. Silizium-Wafer....................................................................................................56 4.1.2. Aluminium-Aufdampfschichten.........................................................................60 4.2. Die Prepolymerfilme........................................................................................................63 4.2.1. Die in situ Prepolymerfilme................................................................................63 4.2.2. Spin-Coating Prepolymerfilme auf
Silizium-Wafern.........................................65 4.2.3. Dip-Coating Prepolymerfilme auf Silizium-Wafem...........................................74 4.2.4. Spin-Coating Prepolymerfilme auf Aluminium-Aufdampfschichten.................85 4.2.5. Dip-Coating Prepolymerfilme auf Aluminium-Aufdampfschichten..................93 4.3. Die Copolymerfilme........................................................................................................97 4.3.1. Spin-Coating Copolymerfilme auf Silizium-Wafem..........................................97 4.3.2. Spin-Coating Copolymerfilme auf Aluminium-Aufdampfschichten................101 4.4. Vergleich von Rasterkraftmikroskopie und Ellipsometrie zur Filmdickenbestimmung..................................................................................................105 5. Diskussion........................................................................................................................112 5.1. Vergleich der Filmbildungs- und Filmwachstumsprozesse...........................................112 5.2. Bewertung der Untersuchungsergebnisse......................................................................124 5.3. Bewertung des methodischen Ansatzes und der einzelnen Untersuchungsmethoden................................................................................................125 6. Ausblick...........................................................................................................................128 7. Zusammenfassung...........................................................................................................130 8. Abkürzungen...................................................................................................................132 9. Literatur und Anhang....................................................................................................133 VI
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