Beitrag zur Mikromaterialbearbeitung mit Excimerlasern: Systemkomponenten und Verfahrensoptimierungen
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Bamberg
Meisenbach
1996
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| Schriftenreihe: | Fertigungstechnik Erlangen
54 |
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I
NHALTSVERZEICHNIS
7
INHALTSVERZEICHNIS
VERZEICHNIS
DER
FORMELZEICHEN
UND
ABKUERZUNGEN
10
1
EINLEITUNG
14
2
ZIELSETZUNG
DER
ARBEIT
16
3
STAND
DER
TECHNIK
18
3.1
STRAHLQUELLE
EXCIMERLASER
18
3.2
STRAHLFUEHRUNG
UND
-FORMUNG
23
3.2.1
ABBILDUNGSSYSTEME
23
3.2.2
VERGLEICH
MASKENVERFAHREN
UND
DIFFRAKTIVE
OPTISCHE
ELEMENTE
24
3.2.3
FLEXIBLE
STRAHLFORMUNG
26
3.3
PROZESSMODELLE:
WECHSELWIRKUNG
UV-STRAHLUNG
/
MATERIE
28
3.4
ANWENDUNGEN
VON
EXCIMERLASERSTRAHLUNG
32
3.4.1
MIKROMATERIALBEARBEITUNG
MIT
EXCIMERLASERN
32
3.4.2
INDUSTRIELLE
ANWENDUNGEN
34
4
PHYSIKALISCHE
GRUNDLAGEN
ZUR
BERECHNUNG
DER
STRAHLFUEHRUNG
35
4.1
GEOMETRISCHE
OPTIK:
BERECHNUNG
DER
STRAHLFUEHRUNG
MIT
DEM
MATRIZENVERFAH
REN
35
4.2
ZYLINDEROPTIK
39
4.3
REDUZIERUNG
DER
OPTISCHEN
VERLUSTE
DURCH
DIFFRAKTIVE
OPTISCHE
ELEMENTE
42
4.3.1
EINTEILUNG
DIFFRAKTIVER
OPTISCHER
ELEMENTE
UND
BEWERTUNG
DER
EINSATZ
MOEGLICHKEITEN
42
4.3.2
DESIGN
DES
PHASENELEMENTS
ZUR
ERZEUGUNG
EINES
RINGFOKUS
44
4.3.2.1
BERECHNUNG
DES
PHASENELEMENTS
DURCH
FOURIERRUECKTRANSFORMA
TION
45
4.3.2.2
BEUGUNGSBILD
EINER
KREISFOERMIGEN
BLENDE
48
4.3.3
BERECHNUNG
DES
TATSAECHLICHEN
BEUGUNGSBILDES
48
4.3.4
HERSTELLUNG
DES
PHASENELEMENTS
51
8
I
NHALTSVERZEICHNIS
5
UNTERSUCHUNG
DER
STRAHL-STOFF-WECHSELWIRKUNG
53
5.1
STRAHLDIAGNOSTIK
54
5.2
ZEITAUFGELOESTE
SPEKTRALE
ANALYSE
BEI
DER
BEARBEITUNG
NICHTMETALLISCHER
WERK
STOFFE
57
5.2.1
VERSUCHSAUFBAU
57
5.2.2
ZEITAUFGELOESTE
PLASMAEMISSION
59
5.2.2.1
AL
2
O
3
-KERAMIK
59
5.2.2.2
GLAS
64
5.3
BESTIMMUNG
DER
ELEKTRONENTEMPERATUR
UND
-DICHTE
67
5.3.1
UEBERPRUEFUNG
DER
GUELTIGKEIT
DES
LTE
67
5.3.1.1
MAXWELL-VERTEILUNG
DER
ELEKTRONEN
UND
IONEN
67
5.3.1.2
ABSCHAETZUNG
DER
ELEKTRONENDICHTE
69
5.3.1.3
ZEITKONSTANTE
UND
OPTISCHE
DICKE
69
5.3.2
BERECHNUNG
DER
ELEKTRONENTEMPERATUR
71
5.3.3
BESTIMMUNG
DER
ELEKTRONENDICHTE
72
5.3.4
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
FUER
EXCIMERLASERINDUZIERTE
A1
2
O
3
-
PLASMEN
73
6
DIFFRAKTIVE
OPTISCHE
ELEMENTE
FUER
EINE
EFFIZIENTE
MATERIALBEARBEITUNG
78
6.1
CHARAKTERISIERUNG
DER
PHASENELEMENTE
79
6.1.1
BEUGUNGSSELEKTIVITAET
UND
-EFFIZIENZ
AM
HE-NE-ELEMENT
79
6.1.2
BEUGUNGSSELEKTIVITAET
UND
-EFFIZIENZ
DES
FUER
X
=
308
NM
SPEZIFIZIERTEN
AXICONS
82
6.2
EINSATZ
FUER
DIE
MATERIALBEARBEITUNG
86
6.3
DISKUSSION
UND
WEITERE
ANWENDUNGEN
DIFFRAKTIVER
OPTISCHER
ELEMENTE
89
7
VERFAHRENSENTWICKLUNGEN:
QUALIFIZIERUNG
DER
MATERIALBEARBEITUNG
MIT
EXCIMERLASER
STRAHLUNG
93
7.1
BEEINFLUSSUNG
DER
STRAHL-STOFF-WECHSELWIRKUNG
DURCH
GEEIGNETE
PHYSIKALISCHE
RANDBEDINGUNGEN
94
7.1.1
BEARBEITUNG
VON
A1
2
O
3
IN
WASSER
94
7.1.2
ABTRAGSMECHANISMEN
98
7.2
BEARBEITUNG
RAEUMLICHER
WERKSTUECKE:
MIKRODREHEN
101
7.2.1
VERSUCHSAUFBAU
101
7.2.2
GRUNDLAGEN
FUER
DIE
ERZEUGUNG
VON
NUTEN
102
7.2.3
ERZEUGEN
VON
KERAMISCHEN
MIKROGEWINDEN
103
8
ZUSAMMENFASSUNG
106
LITERATURVERZEICHNIS
108
I
NHALTSVERZEICHNIS
9
A
ANHANG
120
A.
1
VERWENDETER
EXCIMERLASER
120
A.2
MATHEMATISCHE
GRUNDLAGEN
ZUR
BERECHNUNG
DES
AXICONS
122
A.2.1
FOURIERTRANSFORMATION
122
A.2.2
BERECHNUNG
DER
FOURIERTRANSFORMIERTEN
EINER
LOCHBLENDE
125
A.2.3
FOURIERRUECKTRANSFORMATION
DER
6-FUNKTION
127
A.3
INTERFACE
ZWISCHEN
AEROTECH-STEUERUNG
UND
XP
2020
EXCIMERLASER
128
A.4
ERZEUGEN
DER
NC-BEFEHLE
AUS
DER
FORM
DES
GEWINDES
130
A.5
BIEGEN
UND
RICHTEN
MITTELS
EXCIMERLASERSTRAHLUNG
132
A.5.1
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN
132
A.5.2
DISKUSSION
UND
POTENTIELLE
ANWENDUNGEN
138 |
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| spelling | Rebhan, Thomas 1964- (DE-588)173043313 aut Beitrag zur Mikromaterialbearbeitung mit Excimerlasern Systemkomponenten und Verfahrensoptimierungen Thomas Rebhan Bamberg Meisenbach 1996 141 Seite Illustrationen, Diagramme txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Fertigungstechnik Erlangen 54 Dissertation Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg 1996 Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd rswk-swf Excimerlaser (DE-588)4153300-8 gnd rswk-swf Materialbearbeitung (DE-588)4139082-9 gnd rswk-swf Keramischer Werkstoff (DE-588)4030282-9 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Excimerlaser (DE-588)4153300-8 s Materialbearbeitung (DE-588)4139082-9 s Keramischer Werkstoff (DE-588)4030282-9 s Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 s DE-604 Erscheint auch als Online-Ausgabe 10.25593/3-87525-075-3 urn:nbn:de:bvb:29-opus4-144665 Fertigungstechnik Erlangen 54 (DE-604)BV035417891 54 https://open.fau.de/handle/openfau/14466 Verlag kostenfrei Volltext https://doi.org/10.25593/3-87525-075-3 Resolving-System kostenfrei Volltext https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus4-144665 Resolving-System kostenfrei Volltext http://d-nb.info/1216704570/34 Langzeitarchivierung Nationalbibliothek kostenfrei Volltext DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007301960&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
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