Hilleringmann, U. (1996). Silizium-Halbleitertechnologie. Teubner.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. Stuttgart: Teubner, 1996.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. Teubner, 1996.
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