Poröses Silicium für die Mikrooptik: Herstellung, Mikrostruktur und optische Eigenschaften von Einzelschichten und Schichtsystemen
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Jülich
Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibl.
1996
|
| Schriftenreihe: | Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich
3219 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1996 |
| Beschreibung: | 167 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010912588 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20010725 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 960827s1996 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)59621826 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010912588 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 | ||
| 084 | |a PHY 120d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 781d |2 stub | ||
| 088 | |a Jül 3219 | ||
| 100 | 1 | |a Berger, Michael Götz |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Poröses Silicium für die Mikrooptik |b Herstellung, Mikrostruktur und optische Eigenschaften von Einzelschichten und Schichtsystemen |c Michael Götz Berger |
| 246 | 1 | 3 | |a Jül 3219 |
| 264 | 1 | |a Jülich |b Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibl. |c 1996 | |
| 300 | |a 167 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich |v 3219 | |
| 500 | |a Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1996 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Optische Spektroskopie |0 (DE-588)4043680-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Poröser Stoff |0 (DE-588)4046811-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Poröser Stoff |0 (DE-588)4046811-2 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Optische Spektroskopie |0 (DE-588)4043680-9 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich |v 3219 |w (DE-604)BV004194732 |9 3219 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007300230 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804125405012033536 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Berger, Michael Götz |
| author_facet | Berger, Michael Götz |
| author_role | aut |
| author_sort | Berger, Michael Götz |
| author_variant | m g b mg mgb |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010912588 |
| classification_tum | PHY 120d PHY 781d |
| ctrlnum | (OCoLC)59621826 (DE-599)BVBBV010912588 |
| discipline | Physik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01632nam a2200421 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV010912588</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20010725 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">960827s1996 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)59621826</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010912588</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 120d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 781d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="088" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Jül 3219</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Berger, Michael Götz</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Poröses Silicium für die Mikrooptik</subfield><subfield code="b">Herstellung, Mikrostruktur und optische Eigenschaften von Einzelschichten und Schichtsystemen</subfield><subfield code="c">Michael Götz Berger</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Jül 3219</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Jülich</subfield><subfield code="b">Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibl.</subfield><subfield code="c">1996</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">167 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich</subfield><subfield code="v">3219</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1996</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Optische Spektroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4043680-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Poröser Stoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4046811-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Poröser Stoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4046811-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Optische Spektroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4043680-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich</subfield><subfield code="v">3219</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV004194732</subfield><subfield code="9">3219</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007300230</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010912588 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T18:01:02Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007300230 |
| oclc_num | 59621826 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | 167 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1996 |
| publishDateSearch | 1996 |
| publishDateSort | 1996 |
| publisher | Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibl. |
| record_format | marc |
| series | Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich |
| series2 | Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich |
| spelling | Berger, Michael Götz Verfasser aut Poröses Silicium für die Mikrooptik Herstellung, Mikrostruktur und optische Eigenschaften von Einzelschichten und Schichtsystemen Michael Götz Berger Jül 3219 Jülich Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibl. 1996 167 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich 3219 Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1996 Optische Spektroskopie (DE-588)4043680-9 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Poröser Stoff (DE-588)4046811-2 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Poröser Stoff (DE-588)4046811-2 s Optische Spektroskopie (DE-588)4043680-9 s DE-604 Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich 3219 (DE-604)BV004194732 3219 |
| spellingShingle | Berger, Michael Götz Poröses Silicium für die Mikrooptik Herstellung, Mikrostruktur und optische Eigenschaften von Einzelschichten und Schichtsystemen Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich Optische Spektroskopie (DE-588)4043680-9 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Poröser Stoff (DE-588)4046811-2 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4043680-9 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4046811-2 (DE-588)4113937-9 |
| title | Poröses Silicium für die Mikrooptik Herstellung, Mikrostruktur und optische Eigenschaften von Einzelschichten und Schichtsystemen |
| title_alt | Jül 3219 |
| title_auth | Poröses Silicium für die Mikrooptik Herstellung, Mikrostruktur und optische Eigenschaften von Einzelschichten und Schichtsystemen |
| title_exact_search | Poröses Silicium für die Mikrooptik Herstellung, Mikrostruktur und optische Eigenschaften von Einzelschichten und Schichtsystemen |
| title_full | Poröses Silicium für die Mikrooptik Herstellung, Mikrostruktur und optische Eigenschaften von Einzelschichten und Schichtsystemen Michael Götz Berger |
| title_fullStr | Poröses Silicium für die Mikrooptik Herstellung, Mikrostruktur und optische Eigenschaften von Einzelschichten und Schichtsystemen Michael Götz Berger |
| title_full_unstemmed | Poröses Silicium für die Mikrooptik Herstellung, Mikrostruktur und optische Eigenschaften von Einzelschichten und Schichtsystemen Michael Götz Berger |
| title_short | Poröses Silicium für die Mikrooptik |
| title_sort | poroses silicium fur die mikrooptik herstellung mikrostruktur und optische eigenschaften von einzelschichten und schichtsystemen |
| title_sub | Herstellung, Mikrostruktur und optische Eigenschaften von Einzelschichten und Schichtsystemen |
| topic | Optische Spektroskopie (DE-588)4043680-9 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Poröser Stoff (DE-588)4046811-2 gnd |
| topic_facet | Optische Spektroskopie Silicium Poröser Stoff Hochschulschrift |
| volume_link | (DE-604)BV004194732 |
| work_keys_str_mv | AT bergermichaelgotz porosessiliciumfurdiemikrooptikherstellungmikrostrukturundoptischeeigenschaftenvoneinzelschichtenundschichtsystemen AT bergermichaelgotz jul3219 |