Scheiter, T. (1996). Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS-BiCMOS-Prozeßumgebung.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Scheiter, Thomas. Integration Mikromechanischer Sensoren in Einer CMOS-BiCMOS-Prozeßumgebung. 1996.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Scheiter, Thomas. Integration Mikromechanischer Sensoren in Einer CMOS-BiCMOS-Prozeßumgebung. 1996.
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