Formprüfung von Asphären mit flächenhaften interferometrischen Verfahren:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Stuttgart
ITO
1996
|
| Schriftenreihe: | Institut für Technische Optik <Stuttgart>: Berichte aus dem Institut für Technische Optik der Universität Stuttgart
22 |
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| Beschreibung: | Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1996 |
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3
INHALT
S
VERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS
3
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
5
VERZEICHNIS
DER
ABKUERZUNGEN
8
1
EINLEITUNG
10
2
GRUNDLAGEN
DER
INTERFEROMETRISCHEN
PRUEFUNG
VON
OBERFLAECHEN
13
2.1
INTERFEROMETER
ZUR
OBERFLAECHENMESSUNG
.
13
2.2
DIE
HELLIGKEITSVERTEILUNG
IM
INTERFEROGRAMM
.
14
2.3
AUSWERTUNG
DER
INTERFEROGRAMME
.
16
3
PRUEFUNG
ASPHAERISCHER
FLAECHEN
20
3.1
BESCHREIBUNG
ASPHAERISCHER
FLAECHEN
.
20
3.2
BESONDERHEITEN
BEI
DER
PRUEFUNG
ASPHAERISCHER
FLAECHEN
.
21
3.3
EINSATZ
COMPUTERGENERIERTER
HOLOGRAMME
.
23
3.4
KONZEPTION
DES
INTERFEROMETERS
.
25
3.5
DIE
ERZEUGUNG
COMPUTERGENERIERTER
HOLOGRAMME
.
28
3.6
DER
MESSBEREICH
.
32
4
RELATIVPRUEFUNG
ASPHAERISCHER
FLAECHEN
35
4.1
MODIFIZIERTE
PROBEGLASTECHNIK
.
36
4.2
VERSUCHE
MIT
SPHAERISCHEN
FLAECHEN
.
37
4.3
PROBEGLASAUFBAU
FUER
EINE
ASPHAERE
.
39
4.3.1
AUSLEGUNG
EINES
TEILKOMPENSIERENDEN
OBJEKTIVS
.
40
4.3.2
EXPERIMENT
.
44
5
INTERFEROMETRISCHE
ABSOLUTPRUEFUNG
ASPHAERISCHER
FLAECHEN
48
5.1
DAS
INTERFEROMETER
.
48
5.2
POSITIONIERUNG
DER
ASPHAERE
.
49
4
5.2.1
BERECHNUNG
DER
Z-POSITION
.
49
5.2.2
EINSTELLUNG
DER
Z-POSITION
.
50
5.2.3
JUSTIERUNG
VON
KIPPUNG
UND
ZENTRIERUNG
.
51
5.3
DER
EINFLUSS
VON
INTERFEROMETERKOMPONENTEN
.
54
5.4
KOMPENSATION
VON
SYSTEMFEHLERN
.
57
5.4.1
SPHAERISCHE
REFERENZFLAECHEN
.
57
5.4.2
ASPHAERISCHE
REFERENZFLAECHEN
.
60
5.4.3
WIEDERHOLGENAUIGKEIT
UND
JUSTIEREINFLUESSE
.
61
6
OBJEKTIVE
MIT
VARIABLER
SPHAERISCHER
ABERRATION
65
6.1
BEISPIELE
AUS
DER
LITERATUR
.
65
6.2
EIN
EINFACHES
HILFSSYSTEM
MIT
VARIABLER
SPHAERISCHER
ABERRATION
.
66
6.3
KOLLIMATOR
MIT
VARIABLER
SPHAERISCHER
ABERRATION
.
69
6.4
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN
.
70
6.4.1
NULLTEST
MIT
SPHAERISCHER
REFERENZ
.
71
6.4.2
MESSUNG
EINES
ELLIPSOIDS
.
74
6.4.3
MESSUNG
EINES
PARABOLOIDS
.
76
6.4.4
UNTERSUCHUNG
VON
ASYMMETRIEFEHLERN
.
76
6.4.5
DIE
ERREICHBARE
GENAUIGKEIT
.
79
7
FLAECHEN
MIT
PARABELAEHNLICHEM
QUERSCHNITT
81
7.1
PRUEFKONFIGURATIONEN
FUER
KEGELSCHNITTE
.
81
7.2
FIZEAU-ANORDNUNG
ZUR
PRUEFUNG
PARABOLISCHER
FLAECHEN
.
85
7.3
DAS
MENISKUSLINSEN-INTERFEROMETER
.
87
7.3.1
FUNKTIONSPRINZIP
.
87
7.3.2
ERWEITERUNG
DES
MESSBEREICHS
.
88
7.3.3
REALISIERTER
AUFBAU
.
90
7.3.4
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
.
91
8
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
96
LITERATURVERZEICHNIS
99 |
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