Lichtemittierende Bauelemente in poröser Siliziumtechnologie:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1996
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| Beschreibung: | München, Techn. Univ., Diss., 1996 |
| Beschreibung: | II, 133 S. Ill., graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
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INHALTSVERZEICHNIS
1 ZUSAMMENFASSUNG.1
2 EINLEITUNG. 4
2. L
ANFORDERUNGEN AN OPTOELEKTRONISCHE SYSTEME UND BESTEHENDE LOESUNGEN.4
2.1.1 INTRACHIP- UND INTERCHIP-DATENUEBERTRAGUNG.4
2.1.2 DISPLAYTECHNIK.4
2.2 POROESES SILIZIUM - HISTORIE.6
2.3 MOTIVATION UND AUFGABENSTELLUNG.X.7
3 MODELLVORSTELLUNGEN ZUR LUMINESZENZ AUS POROESEM SILIZIUM.9
3.1 QUANTUM CONFINEMENT MODELL.9
3.2 DAS SMART QUANTUM CONFINEMENT MODELL.10
3.3 MOLEKULARE LUMINESZENZ.10
4 EXPERIMENTELLE AUFBAUTEN.12
4.1 ELEKTROCHEMISCHE ZELLEN.12
4.2 MESSPLATZ DER LUMINESZENZ. 13
5 HERSTELLUNG DER SCHICHTEN - AETZMECHANISMEN.15
5.1 P-DOTIERTES SILIZIUM (P-TYP) - NANOPOROESE SCHICHTEN.16
5.2 N-DO I IUERTES SILIZIUM.17
5.2.1 N-DOTIERTES SILIZIUM IM DUNKELN (MAKRO) - MAKROPOROESE SCHICHTEN.17
5.2.2 N-DOTIERTES SILIZIUM MIT BELEUCHTUNG (VIS-TYP, UV-TYP) - NANOPOROES
AUF MAKROPOROES.18
6 SPEKTROSKOPIE AN RTO-MATERIAL.21
6.1 AUSGANGSMATERIALIEN.21
6.2 RTO-EXPERJMENT.22
6.3 RBS-MESSUNGEN.24
6.3.1 UV-TYP PROBEN.26
6.3.2 VIS-TYP PROBEN
.27
6.3.3 P-TYP PROBEN.28
6.3.4 DISKUSSION. 29
6.4 IR-SPEKTROSKOPIE.34
6.5 PHOTOLUMINESZENZ.38
6.5.1 PHOTOLUMINESZENZINTENSITAET.38
6.5.2 SPEKTRALE VERTEILUNG VOR UND NACH RTO-BEHANDLUNG
.40
6.5.3 EXPERIMENTE MIT CHEMISCHER NACHBEHANDLUNG VON RTO-PROBEN.44
6.6 PHOTOLUMINESZENZ - MODELLVORSTELLUNGEN.47
6.7 ELEKTROLUMINESZENZ.55
7 EINFACHE LICHTEMITTIERENDE BAUELEMENTE. 63
7.1 HERSTELLUNGSPROZESS - VIS-TYP.63
7.2 ELEKTRISCHE EIGENSCHAFTEN.65
7.3 SPEKTROSKOPIE.66
7.4 DISKUSSION.67
7.5 ZUSAMMENFASSUNG.70
8 PN-STRUKTUREN - EFFIZIENZSTEIGERUNG.71
8.1 PN-STRUKTUREN DURCH IONENIMPLANTATION.72
8.1.1 HERSTELLUNGSPROZESS.72
8.1.2 PHOTOLUMINESZENZSPEKTREN DER VERGRABENEN SCHICHT.77
8.1.3 ELEKTROLUMINESZENZSPEKTREN.77
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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UE_ INHALTSVERZEICHNIS
8.1.4 KENNLINIEN
.
79
8.2 PN-STRUKTUREN DURCH POLYSILIZIUMSCHICHT.81
8.2.1 HERSTELLUNGSPROZESS
.
81
8.2.2 POROESES POLYSILIZIUM
.
83
8.2.3 EINFLUSS DER HERSTELLUNGSPARAMETER AUF DIE ELEKTRISCHEN UND
OPTISCHEN EIGENSCHAFTEN
.
87
8.3 WIRKUNGSGRADE.91
8.4 MODELL VORSTELLUNGEN.
94
9 UV-TYP MATERIAL - BLAUGRUENE ELEKTROLUMINESZENZ.96
9.1 HERSTELLUNGSPROZESS.96
9.2 ELEKTRISCHE UND OPTISCHE EIGENSCHAFTEN.97
10 METALLABSCHEIDUNG IN POROESES SILIZIUM - FARBTUNING.100
10. L
GALVANISCHE ABSCHEIDUNG VON METALLEN IN POROESES SILIZIUM.100
10.1.1 ELEKTROCHEMISCHE ABSCHEIDUNG
.
101
10.1.2 VARIATION DER ABSCHEIDEPARAMETER
.
103
10.1.3 EINFLUSS DER METALLABSCHEIDUNG AUF DIE U-I-KENNLINIEN
.
105
10.1.4 EINFLUSS AUF SPEKTRALE VERTEILUNG UND WIRKUNGSGRAD VON UV-TYP
SILIZIUM.
.
108
10.2
AUFDAMPFEN VON METALLMISCHUNGEN AUF POROESES SILIZIUM. .LIO
10.2.1 AUFDAMPFEXPERIMENTE
.
HO
10.2.2 EINFLUSS AUFU-L-KENNLINIE
.
HL
10.2.3 EINFLUSS AUF SPEKTRALE VERTEILUNG UND WIRKUNGSGRAD
.
113
10.2.4 LANGZEITVERHALTEN DER ELEKTROLUMINESZENZ
.
H4
10.3 MODELLE ZUR ELEKTROLUMINESZENZ MIT METALL IN POROESEM SILIZIUM.117
11 ANHANG.120
12 LITERATUR.121
13 VEROEFFENTLICHUNGEN.129
14 DANKSAGUNG
133 |
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