Grundlagen und Modelle zur Entwicklung und Optimierung von Silizium-Mikrorelais:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
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1996
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INHALTSVERZEICHNIS
0
SYMBOLE
UND
INDIZES
.
IX
1
EINLEITUNG
.
1
2
GRUNDLAGEN
UND
STAND
DER
TECHNIK
.
3
2.1
AUFBAU
UND
FUNKTION
EINES
RELAIS
.
3
2.2
SCHALTVERHALTEN
EINES
MONOSTABILEN
SCHLIESSER-RELAIS
.
6
2.3
FEDERSATZ
EINES
SCHLIESSERRELAIS
.
8
2.4
FERTIGUNGSVERFAHREN
DER
SILIZIUM-MIKROMECHANIK
.
10
2.4.1
SILIZIUM-MIKROMECHANIK
.
10
2.4.2
GESTALTUNG
MIKROMECHANISCHER
BAUELEMENTE
.
14
2.4.3
SKALIERUNGSVERHALTEN
PHYSIKALISCHER
GROESSEN
.
18
2.5
STAND
DER
MIKRORELAIS-TECHNIK
.
19
2.6
ANFORDERUNGEN
AN
EIN
MIKRORELAIS
.
23
3
ELEKTRISCHE
KONTAKTE
BEI
KLEINSTEN
KRAEFTEN
UND
ABSTAENDEN
.
27
3.1
KONTAKTMODELLE
.
27
3.2
MIKROKONTAKTPRUEFGERAET
.
29
3.3
SCHALTREINIGUNGSVERFAHREN
.
33
3.4
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN
AN
SCHALTKONTAKTEN
.
35
3.4.1
KONTAKTKRAFT
UND
KONTAKTWIDERSTAND
.
35
3.4.2
HAFTKRAFT
.
39
3.4.3
KONTAKTABSTAND
UND
DURCHSCHLAGSPANNUNG
.
40
3.4.4
STROMBELASTBARKEIT
.
43
3.5
ANFORDERUNGEN
AN
EINEN
MIKRORELAISANTRIEB
.
45
4
SYSTEMATIK
DER
MIKRORELAISANTRIEBE
.
47
4.1
ENERGIEWANDLUNGSEFFEKTE
.
47
4.2
ELEKTROSTATISCHE
ANTRIEBE
.
51
4.2.1
AUFBAU
UND
FUNKTIONSPRINZIP
.
51
4.2.2
SCHALTKENNLINIEN
UND
SCHALTVERHALTEN
.
53
4.2.3
ANSPRECH
UND
DURCHZUGSBEDINGUNG
.
56
4.2.4
ZUSAETZLICHE
ANFORDERUNGEN
AN
EINEN
MIKRORELAISANTRIEB
.
58
4.2.5
PLATTENKONDENSATORANTRIEB
.
59
4.3
ELEKTROMAGNETISCHE
ANTRIEBE
.
63
4.3.1
AUFBAU
UND
FUNKTIONSPRINZIP
.
63
4.3.2
EIGENERWAERMUNG
.
65
4.3.3
SKALIERUNGSVERHALTEN
EINES
DUENNSCHICHTMAGNETKREISES
.
66
4.3.4
ISOMORPHIE
ZUM
ELEKTROSTATISCHEN
ANTRIEB
.
70
4.4
DEHNUNGSANTRIEBE
.
75
4.4.1
DEHNUNGSEFFEKTE
.
75
4.4.2
BIEGEWANDLER
.
79
4.4.3
OPTIMIERUNG
VON
BIEGEWANDLEM
.
83
4.4.4
DIMENSIONIERUNG
ALS
MIKRORELAISANTRIEB
.
86
4.5
VERGLEICH
UND
BEWERTUNG
DER
MIKRORELAISANTRIEBE
.
90
5
BAUFORMEN
ELEKTROSTATISCHER
ANTRIEBE
.
94
5.1
FEDERN
AUS
DUENNEN
SCHICHTEN
.
94
5.2
DISKRETE
UND
INTEGRIERTE
ELEKTROSTATISCHE
ANTRIEBE
.
96
5.3.
KONDENSATOREN
AUS
DUENNEN
SCHICHTEN
.
97
5.4
SPEZIELLE
ELEKTROSTATISCHE
ANTRIEBE
.
99
5.4.1
ABROLLANTRIEB
.
99
5.4.2
WANDERKEILANTRIEB
.
101
6
SCHALTVERHALTEN
UND
OPTIMIERUNG
DES
WANDERKEILANTRIEBS
.
104
6.1
MODELL
DES
WANDERKEILANTRIEBS
.
104
6.2
IMPLEMENTIERUNG
ALS
SIMULATIONSPROGRAMM
MIRES
.
106
6.3
SCHALTVERHALTEN
.
109
6.3.1
GRUNDBAUFORMEN
.
109
6.3.2
EINFLUSS
DER
KONSTRUKTIVEN
FREIHEITSGRADE
.
112
6.4
DIMENSIONIERUNG
UND
OPTIMIERUNG
.
115
6.5
BEANSPRUCHUNG
VON
ANKER-UND
KONTAKTFEDER
.
119
7
FERTIGUNG
UND
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNG
EINES
WANDEIKEILANTRIEBS.
121
7.1
AUFBAU
UND
FERTIGUNG
DES
WANDERKEILANTRIEBS
.
121
7.2
LABORMUSTER
DES
WANDERKEILANTRIEBS
.
125
7.2.1
GEOMETRIE
DER
SILIZIUMBLATTFEDER
.
126
7.2.2
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNG
DES
SCHALTVERHALTENS
.
127
7.3
POTENTIELLE
LEISTUNGSDATEN
EINES
MIKRORELAIS
.
130
8
KONZEPT
DES
HYBRIDANTRIEBS
.
134
8.1
FUNKTIONSPRINZIP
.
134
8.2
BAUFORMEN
UND
FERTIGUNG
.
135
8.3
SCHALTVERHALTEN
.
138
9
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
142
ANHANG
.
145
A
LITERATURVERZEICHNIS
.
145
B
THEORIE
DER
BALKENBIEGUNG
.
152
C
BEMASSTER
WANDERKEILANTRIEB
.
159
D
VERZEICHNIS
DER
PATENTE
UND
PATENTANMELDUNGEN
.
160 |
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