Entwicklung von Meßsystemen zur Charakterisierung dünner magnetischer Schichten:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
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1995
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INHALTSVERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS
I
1
EINLEITUNG
1
2
AUFGABENSTELLUNG
5
2.1
GRUNDLAGEN
MAGNETISCHER
DATENSPEICHERUNG
.
5
2.2
HERSTELLUNG
MAGNETISCHER
DATENTRAEGER
.
7
2.3
ANFORDERUNGEN
AN
DAS
SENSORSYSTEM
.
8
3
STAND
DER
TECHNIK
11
3.1
KERR-MAGNETOMETER
.
11
3.2
TRANSFER
CURVE
MAGNETOMETER
.
12
3.3
VIBRATION
SAMPLE
MAGNETOMETER
.
13
3.4
BH-METER
.
15
3.5
VERGLEICHENDE
WERTUNG
.
16
4
NEUE
MESSTECHNIKEN
17
4.1
FLUX-GATE
SENSOREN
.
17
4.1.1
MESSPRINZIP
.
17
4.1.2
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
UND
ERGEBNISSE
.
19
4.1.3
DISKUSSION
.
24
4.2
INDUKTIVE
SENSOREN
.
24
4.2.1
MESSPRINZIP
.
24
4.2.2
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
UND
ERGEBNISSE
.
26
II
E
INLEITUNG
4.3
HALL-SENSOREN
.
28
4.4
MAGNETORESISTIVE
SENSOREN
.
29
4.4.1
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
UND
ERGEBNISSE
.
32
4.5
VERGLEICHENDE
WERTUNG
.
35
5
ANORDNUNG
VON
MAGNETKOPF
UND
MAGNETFELDSENSOR
37
5.1
ABSCHAETZUNG
DES
MESSSIGNALS
.
38
5.2
REMANENTES
FELD
DES
MAGNETKOPFES
.
39
5.3
MESSZYKLUS
MIT
RELATIVBEWEGUNG
VON
PROBE
UND
SENSORANORDNUNG
.
39
5.4
MESSZYKLUS
OHNE
RELATIVBEWEGUNG
VON
PROBE
UND
SENSORANORDNUNG
.
40
5.4.1
YYSANDWICH
"
ANORDNUNG
.
40
5.4.2
SENSOR
UND
MAGNETKOPF
AUF
GEGENUEBERLIEGENDEN
SEITEN
.
43
5.5
REALISIERUNG
EINER
ERSTEN
MESSANORDNUNG
MIT
RELATIVBEWEGUNG
.
45
5.5.1
EINFLUSS
DER
SENSORJUSTAGE
AUF
DIE
MESSERGEBNISSE
.
46
5.5.2
UNTERSUCHUNGEN
DER
REPRODUZIERBARKEIT
.
49
5.5.2.1
KURZZEITSTABILITAET
.
49
5.5.2.2
LANGZEITSTABILITAET
.
51
5.5.3
ZUSAMMENFASSUNG
.
52
6
AUSWERTUNG
DER
MESSDATEN
53
6.1
DER
GEOMETRIEEFFEKT
.
54
6.2
MATHEMATISCHE
BESCHREIBUNG
DER
MESSDATEN
.
57
7
REALISIERUNG
DES
MAGSEN
SYSTEMS
59
7.1
ANFORDERUNGEN
.
59
7.2
AUFBAU
DES
MESSSYSTEMS
.
60
7.2.1
MAGNETORESISTIVER
SENSOR
.
60
I
NHALTSVERZEICHNIS
III
7.2.2
DREHVERSTELLER
UND
PROBENHALTENING
.
62
7.2.3
LINEARVERSCHIEBETISCHE
.
63
7.2.4
ABSTANDSKONTROLLSYSTEM
.
64
7.2.4.1
ABSTANDSSENSOREN
.
64
7.2.4.2
PIEZOSTELLELEMENTE
.
65
7.2.4.3
REGELKREIS
.
65
7.2.5
MAGNETKOPF
.
66
7.2.6
MESSDATENERFASSUNG
.
66
7.2.7
MECHANISCHER
AUFBAU
.
66
7.2.8
STEUERUNG
DES
MESSABLAUFES
.
66
7.2.9
GESAMTAUFBAU
.
68
7.3
ERGEBNISSE
.
70
7.3.1
KORRELATIONSMESSUNGEN
.
70
7.3.2
LANGZEITMESSUNGEN
.
72
7.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
73
8
REALISIERUNG
DES
MAGSEN-E
SYSTEMS
75
8.1
OPTIMIERUNG
DES
MESSVERFAHRENS
.
75
8.1.1
AKTIVE
NULLFELDKOMPENSATION
.
75
8.1.1.1
ANALOGE
REGELUNG
MIT
EINEM
HALL-SENSOR
.
76
8.1.1.2
ANALOGE
REGELUNG
MIT
EINEM
MAGNETORESISTIVEN
SENSOR
.
77
8.1.1.3
SOFTWAREREGELUNG
MIT
EINEM
MAGNETORESISTIVEN
SENSOR
.
77
8.1.2
OPTIMIERUNG
DES
MAGNETKOPFES
.
78
8.1.3
MAGNETISCHE
ABSCHIRMUNG
DES
REMANENTEN
STREUFELDES
.
79
8.1.4
ENTMAGNETISIERUNG
DES
MAGNETKOPFES
.
81
IV
E
INLEITUNG
8.1.5
REMANENTES
FELD
MIT
ENTMAGNETISIERUNG
UND
ABSCHIRMUNG
.
81
8.1.6
DISKUSSION
.
83
8.1.7
ERSTE
MESSUNGEN
.
83
8.1.7.1
ERGEBNISSE
.
84
8.2
AUFBAU
DES
MESSSYSTEMS
.
86
8.2.1
PROBENZUFUEHRUNG
UND
PROBENHALTERUNG
.
88
8.2.2
JUSTAGE
VON
PROBE
UND
SENSOREN
ZUEINANDER
.
88
8.2.2.1
DIGITALE
ABSTANDSREGELUNG
.
89
8.2.3
MAGNETFELDSENSOR
.
90
8.2.4
MECHANISCHER
AUFBAU
.
90
8.2.5
STEUERUNG
DES
MESSZYKLUS
.
92
8.2.6
GESAMTAUFBAU
.
93
8.3
ERGEBNISSE
.
94
8.3.1
KORRELATIONSMESSUNGEN
.
95
8.3.2
REPRODUZIERBARKEITSMESSUNGEN
.
96
8.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
97
9
STAND
DER
ENTWICKLUNG
UND
AUSBLICK
99
10
LITERATURVERZEICHNIS
103 |
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