Untersuchungen zur selektiven, katalytischen Hydrodehalogenierung von Siliciumtetrachlorid zu Trichlorsilan:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1995
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 1995 |
| Beschreibung: | 119 S. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010791000 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 960530s1995 gw d||| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 947018115 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)258183251 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010791000 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-29T |a DE-91 |a DE-355 |a DE-11 | ||
| 100 | 1 | |a Walter, Holger |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Untersuchungen zur selektiven, katalytischen Hydrodehalogenierung von Siliciumtetrachlorid zu Trichlorsilan |c vorgelegt von Holger Walter |
| 264 | 1 | |c 1995 | |
| 300 | |a 119 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 1995 | ||
| 650 | 4 | |a Siliciumtetrachlorid - Hydrierung - Dehalogenierung - Heterogene Katalyse - Trichlorsilan - Chemische Synthese | |
| 650 | 0 | 7 | |a Hydrierung |0 (DE-588)4160891-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Chemische Synthese |0 (DE-588)4133806-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Trichlorsilan |0 (DE-588)4373528-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dehalogenierung |0 (DE-588)4152354-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Heterogene Katalyse |0 (DE-588)4123377-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Siliciumtetrachlorid |0 (DE-588)4351713-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Siliciumtetrachlorid |0 (DE-588)4351713-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Hydrierung |0 (DE-588)4160891-4 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Dehalogenierung |0 (DE-588)4152354-4 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Heterogene Katalyse |0 (DE-588)4123377-3 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Trichlorsilan |0 (DE-588)4373528-9 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Chemische Synthese |0 (DE-588)4133806-6 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007208235&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007208235 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1812453596751462400 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
SEITE
VORWORT
1. EINLEITUNG UND PROBLEMSTELLUNG 1
2. THEORETISCHER TEIL 3
2.1 HETEROGENE KATALYSE 3
2.2 HERSTELLUNG VON HALBLEITERSILICIUM UEBER CVD- PROZESSE 9
2.3 HYDRODEHALOGENIERUNG VON SILICIUMTETRACHLORID 13
2.3.1 DIE KONVERTIERUNG VON SILICIUMTETRACHLORID ZU TRICHLORSILAN 13
2.3 .
1.1
HOMOGENE HY DRODEHALOGENIERUNG 13
2.3.1.2 DIE HY DRODEHALOGENIERUNG VON SILICIUMTETRACHLORID IN GEGENWART
VON 14
ELEMENTAREM SILICIUM
2.3.1.3 KATALYTISCHE HYDRODEHALOGENIERUNG VON SILICIUMTETRACHLORID IN 15
GEGENWART VON ELEMENTAREM SILIOIUM
2.3.2 DIE KONVERTIERUNG VON SILICIUMTETRACHLORID ZU MONOSILAN 1S
2.4 REAKTIONEN UNTER BETEILIGUNG SUBVALENTER SILICIUMSPEZIES 17
3. ERGEBNISTEIL 20
3.1 KONZEPT EINER KATALYTISCHEN HYDRODEHALOGENIERUNG VON 20
SILICIUMTETRACHLORID ZU TRICHLORSILAN
3.2 GENERELLE VERSUCHSANLAGE FUER DIE FORMIERUNG DER KATALYSATOREN UND 22
DIE HYDRODEHALOGENIERUNG VON SILICIUMTETRACHLORID ZU TRICHLORSILAN
3.3 HAUPTSTUFEN DER HYDRODEHALOGENIERUNG VON SILICIUMTETRACHLORID ZU 24
TRICHLORSILAN
3.4 THERMODYNAMISCHE BERECHNUNGEN ZU DEN SYSTEMEN SICLP^, 26
SI/SICLJ/^ UND METALL/SICL
4
/H
2
3.5 KATALYSATORPRAEPARATION 32
3.6 UNTERSUCHUNGEN ZUM SUKZESSIVEN AUFBAU VON NICKELSILICIDEN 40
WAEHREND DER FORMIERUNGSPERIODE
3.7 UNTERSUCHUNGEN ZUR TOPOGRAPHIE DER SILICIDKATALYSATOREN 43
3.7.1 PARTIKELDURCHMESSER UND OBERFLAECHE 43
3.7.2 CHARAKTERISIERUNG DER FESTKOERPER MITTELS ELEKTRONENSTRAHLMIKRO- 45
ANALYSE
3.7.3 DUENNSCHICHTDIFFFAKTOMETRIE 48
3.8 HYDRODEHALOGENIERUNG VON SILICIUMTETRACHLORID ZU TRICHLORSILAN IM 52
TEMPERATURBEREICH UNTERHALB 700C
3.9 HYDRODEHALOGENIERUNG VON SILICIUMTETRACHLORID ZU TRICHLORSILAN IM 54
TEMPERATURBEREICH OBERHALB 700C
3.10 EINFLUSS DES MOLAREN VERHAELTNISSES H
2
: SICL
4
55
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/947018115
3 .11 VARIATION DES REAKTIONSVOLUMENSTROMES 58
3.12 REDOXREAKTIONEN UNTER BETEILIGUNG VON SPEZIES MIT NIEDERVALENTEM 61
SILICIUM
3.12.1 HINWEISE AUS DER UNTERSUCHUNG DER FESTEN PHASE 61
3.12.1.1 PHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE 61
3.12.2 HINWEISE AUS DER UNTERSUCHUNG DER GASPHASE 64
3.12.2.1 SILYLENABFANGEXPERIMENTE 64
3.12.2.2 KORRESPONDENZ ZWISCHEN GAS - UND FESTPHASEN 71
3.12.3 OXIDATIVE ADDITIONSREAKTIONEN VON CHLORWASSERSTOFF 76
3.12.3.1 REAKTION VON SILICIDEN MIT CHLORWASSERSTOFF 76
3.12.3.2 REAKTIONSSTART MIT EINEM CHLORWASSERSTOFFIMPULS 78
3.13 UNTERSUCHUNGEN ZUM MAGNETISCHEN VERHALTEN 81
3.13.1 FERROMAGNETISCHE RESONANZ 81
3.13.2 UNTERSUCHUNGEN MITTELS MAGNETWAAGE 83
3.14 EINSATZ ANDERER NEBENGRUPPENELEMENTSILICIDE 84
4. SCHLUSSFOLGERUNGEN UND DISKUSSION 89
5. UEBERTRAGUNG DER ERGEBNISSE DER HYDRODEHALOGENIERUNG VON 96
SILICIUMTETRACHLORID ZU TRICHLORSILAN AUF ANDERE REAKTIONEN - GENERELLE
BEDEUTUNG DES "SILYLEN - MECHANISMUS"
5.1 UEBERTRAGUNG AUF DIE HYDRODEHALOGENIERUNG VON ORGANOCHLORSILANEN 96
5.2 UEBERTRAGUNG DES MECHANISMUS AUF DIE MUELLER - ROCHOW - SYNTHESE 99
5.3 UEBERTRAGUNG DER ERGEBNISSE DER HYDRODEHALOGENIERUNG AUF DIE 105
CHLORFREIE ALKOXYSILANSYNTHESE
5 4 EINSATZ VON TRAEGERHALTIGEN KATALYSATOREN 108
6. ZUSAMMENFASSUNG 111
7. LITERATURVERZEICHNIS 115
8
. ANHANG |
| any_adam_object | 1 |
| author | Walter, Holger |
| author_facet | Walter, Holger |
| author_role | aut |
| author_sort | Walter, Holger |
| author_variant | h w hw |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010791000 |
| ctrlnum | (OCoLC)258183251 (DE-599)BVBBV010791000 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV010791000</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">960530s1995 gw d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">947018115</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)258183251</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010791000</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Walter, Holger</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Untersuchungen zur selektiven, katalytischen Hydrodehalogenierung von Siliciumtetrachlorid zu Trichlorsilan</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Holger Walter</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">119 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 1995</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Siliciumtetrachlorid - Hydrierung - Dehalogenierung - Heterogene Katalyse - Trichlorsilan - Chemische Synthese</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Hydrierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4160891-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Chemische Synthese</subfield><subfield code="0">(DE-588)4133806-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Trichlorsilan</subfield><subfield code="0">(DE-588)4373528-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dehalogenierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152354-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Heterogene Katalyse</subfield><subfield code="0">(DE-588)4123377-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumtetrachlorid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4351713-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Siliciumtetrachlorid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4351713-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Hydrierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4160891-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Dehalogenierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152354-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Heterogene Katalyse</subfield><subfield code="0">(DE-588)4123377-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Trichlorsilan</subfield><subfield code="0">(DE-588)4373528-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Chemische Synthese</subfield><subfield code="0">(DE-588)4133806-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007208235&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007208235</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010791000 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-10-09T16:14:03Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007208235 |
| oclc_num | 258183251 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29T DE-91 DE-BY-TUM DE-355 DE-BY-UBR DE-11 |
| owner_facet | DE-29T DE-91 DE-BY-TUM DE-355 DE-BY-UBR DE-11 |
| physical | 119 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1995 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| record_format | marc |
| spelling | Walter, Holger Verfasser aut Untersuchungen zur selektiven, katalytischen Hydrodehalogenierung von Siliciumtetrachlorid zu Trichlorsilan vorgelegt von Holger Walter 1995 119 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 1995 Siliciumtetrachlorid - Hydrierung - Dehalogenierung - Heterogene Katalyse - Trichlorsilan - Chemische Synthese Hydrierung (DE-588)4160891-4 gnd rswk-swf Chemische Synthese (DE-588)4133806-6 gnd rswk-swf Trichlorsilan (DE-588)4373528-9 gnd rswk-swf Dehalogenierung (DE-588)4152354-4 gnd rswk-swf Heterogene Katalyse (DE-588)4123377-3 gnd rswk-swf Siliciumtetrachlorid (DE-588)4351713-4 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Siliciumtetrachlorid (DE-588)4351713-4 s Hydrierung (DE-588)4160891-4 s Dehalogenierung (DE-588)4152354-4 s Heterogene Katalyse (DE-588)4123377-3 s Trichlorsilan (DE-588)4373528-9 s Chemische Synthese (DE-588)4133806-6 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007208235&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Walter, Holger Untersuchungen zur selektiven, katalytischen Hydrodehalogenierung von Siliciumtetrachlorid zu Trichlorsilan Siliciumtetrachlorid - Hydrierung - Dehalogenierung - Heterogene Katalyse - Trichlorsilan - Chemische Synthese Hydrierung (DE-588)4160891-4 gnd Chemische Synthese (DE-588)4133806-6 gnd Trichlorsilan (DE-588)4373528-9 gnd Dehalogenierung (DE-588)4152354-4 gnd Heterogene Katalyse (DE-588)4123377-3 gnd Siliciumtetrachlorid (DE-588)4351713-4 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4160891-4 (DE-588)4133806-6 (DE-588)4373528-9 (DE-588)4152354-4 (DE-588)4123377-3 (DE-588)4351713-4 (DE-588)4113937-9 |
| title | Untersuchungen zur selektiven, katalytischen Hydrodehalogenierung von Siliciumtetrachlorid zu Trichlorsilan |
| title_auth | Untersuchungen zur selektiven, katalytischen Hydrodehalogenierung von Siliciumtetrachlorid zu Trichlorsilan |
| title_exact_search | Untersuchungen zur selektiven, katalytischen Hydrodehalogenierung von Siliciumtetrachlorid zu Trichlorsilan |
| title_full | Untersuchungen zur selektiven, katalytischen Hydrodehalogenierung von Siliciumtetrachlorid zu Trichlorsilan vorgelegt von Holger Walter |
| title_fullStr | Untersuchungen zur selektiven, katalytischen Hydrodehalogenierung von Siliciumtetrachlorid zu Trichlorsilan vorgelegt von Holger Walter |
| title_full_unstemmed | Untersuchungen zur selektiven, katalytischen Hydrodehalogenierung von Siliciumtetrachlorid zu Trichlorsilan vorgelegt von Holger Walter |
| title_short | Untersuchungen zur selektiven, katalytischen Hydrodehalogenierung von Siliciumtetrachlorid zu Trichlorsilan |
| title_sort | untersuchungen zur selektiven katalytischen hydrodehalogenierung von siliciumtetrachlorid zu trichlorsilan |
| topic | Siliciumtetrachlorid - Hydrierung - Dehalogenierung - Heterogene Katalyse - Trichlorsilan - Chemische Synthese Hydrierung (DE-588)4160891-4 gnd Chemische Synthese (DE-588)4133806-6 gnd Trichlorsilan (DE-588)4373528-9 gnd Dehalogenierung (DE-588)4152354-4 gnd Heterogene Katalyse (DE-588)4123377-3 gnd Siliciumtetrachlorid (DE-588)4351713-4 gnd |
| topic_facet | Siliciumtetrachlorid - Hydrierung - Dehalogenierung - Heterogene Katalyse - Trichlorsilan - Chemische Synthese Hydrierung Chemische Synthese Trichlorsilan Dehalogenierung Heterogene Katalyse Siliciumtetrachlorid Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007208235&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT walterholger untersuchungenzurselektivenkatalytischenhydrodehalogenierungvonsiliciumtetrachloridzutrichlorsilan |