Rasterwärmemikroskopie mit thermoelektrischen Mikrosonden:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
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1996
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INHALTSVERZEICHNIS
EINLEITUNG
V
1
GRUNDLAGEN
DER
RASTERSONDENMIKROSKOPIE
1
1.1
RASTERTUNNELMIKROSKOPIE
.
3
1.2
RASTERKRAFTMIKROSKOPIE
.
5
2
METHODEN
DER
RASTERWAERMEMIKROSKOPIE
7
2.1
METHODE
DIESER
ARBEIT
.
8
2.2
WEITERE
METHODEN
.
10
2.2.1
THERMISCHE
SONDEN
IN
FORM
TUNNELMIKROSKOPISCHER
SPITZEN
.
10
2.2.2
KOMBINATION
VON
RASTERWAERME
UND
RASTERKRAFTMIKROSKOPIE
.
12
3
THERMISCHER
CANTILEVER
AUF
BASIS
DER
MIKROSYSTEMTECHNIK
16
3.1
MESSPRINZIP
UND
SONDENENTWURF
.
18
3.2
BERECHNUNG
DES
MESSEFFEKTES
.
20
3.3
HERSTELLUNGSPROZESS
.
22
4
THERMOELEKTRISCHE
GOLD/KONSTANTAN-MIKROSONDEN
24
4.1
THERMOELEKTRISCHES
MESSPRINZIP
.
25
4.2
TECHNOLOGIE
DER
MIKROSONDE
.
27
4.2.1
PRAEPARATION
DER
KONSTANTANSPITZE
.
28
4.2.2
ISOLIERUNG
MIT
PHOTOLACK
.
30
4.2.3
DEPOSITION
DER
GOLDSCHICHT
.
33
4.3
CHARAKTERISIERUNG
DER
MIKROSONDE
.
33
II
INHALTSVERZEICHNIS
4.3.1
ELEKTRISCHE
WIDERSTAENDE
VON
SPITZE
UND
ISOLATIONSSCHICHT
.
33
4.3.2
THERMOKRAFT
.
35
4.3.3
THERMISCHE
ZEITKONSTANTE
.
37
5
DAS
RASTERWAERMEMIKROSKOP
41
5.1
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
.
41
5.1.1
AUFBAU
DES
WAERMEMIKROSKOPS
.
42
5.1.2
TUNNELMIKROSKOPIE-AUFBAU
.
45
5.1.3
STEUERELEKTRONIK
.
46
5.2
THERMOELEKTRISCHER
SPANNUNGSKREIS
.
46
5.2.1
THERMOSPANNUNGSMESSUNG
.
46
5.2.2
THEORETISCHE
MESSEMPFINDLICHKEIT
.
48
5.3
CHARAKTERISIERUNG
DES
AUFBAUS
.
49
6
WAERMETRANSPORT-MECHANISMEN
53
6.1
KLASSISCHE
WAERMETRANSPORT-MECHAUISMEN
.
54
6.1.1
WAERMELEITUNG
.
54
6.1.2
WAERMESTRAHLUNG
.
59
6.2
THERMISCHE
NAHFELDMECHANISMEN
.
62
6.2.1
EVANESZENTE
WAERMESTRAHLUNG
.
62
6.2.2
WAERMETRANSPORT
DURCH
TUNNELNDE
ELEKTRONEN
.
64
6.3
ZUSAMMENFASSUNG
.
65
7
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
MIT
STATISCHER
SONDENHEIZUNG
67
7.1
TEMPERATUR-ABSTANDS-VERHALTEN
.
70
7.1.1
THERMISCHER
FERNFELDBEREICH
.
71
7.1.2
THERMISCHER
NAHFELDBEREICH
.
73
7.2
THERMISCHE
ABBILDUNG
.
77
7.2.1
EINFLUSS
DER
TUNNELPARAMETER
.
81
7.2.2
VARIATION
DER
RASTERGESCHWINDIGKEIT
.
83
7.2.3
VARIATION
DER
HEIZLEISTUNG
.
86
7.3
ZUSAMMENFASSUNG
.
89
INHALTSVERZEICHNIS
III
8
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
MIT
DYNAMISCHER
SONDENHEIZUNG
91
8.1
ABBILDUNG
EINER
SILIZIUMSTRUKTUR
.
93
8.2
ABBILDUNG
VON
DIAMANTSCHICHTEN
.
95
8.2.1
ABBILDUNG
EINER
HFCVD-DIAMANTSCHICHT
.
95
8.2.2
ABBILDUNG
EINER
MWCVD-DIAMANTSCHICHT
.
101
8.3
ZUSAMMENFASSUNG
.
102
9
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
104
ANHANG
108
A
WAERMELEITUNG:
KONZEPT
DES
FORMFAKTORS
108
B
WAERMESTRAHLUNG:
STRAHLUNGSAUSTAUSCH
ZWISCHEN
OBERFLAECHEN
111
B.L
DER
FORMFAKTOR
.
111
B.2
STRAHLUNGSAUSTAUSCH
ZWISCHEN
OBERFLAECHEN
.
112
LITERATURVERZEICHNIS
115
LISTE
BEREITS
VEROEFFENTLICHTER
TEILE
DER
DISSERTATION
121
DANKSAGUNG
124
LEBENSLAUF
125
ERKLAERUNG
126 |
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