Untersuchung der Kinetik von Widerstandsänderung und Gasdiffusion bei der Adsorption von Gasen auf dünnen Metallfilmen:
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I
NHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
.
1
2.
APPARATIVER
AUFBAU
.
4
2.1.
AUFBAU
DER
UHV-APPARATUR
.
4
2.2.
DIE
MESSZELLE
.
7
2.3.
MESSANORDNUNG
.
9
2.3.1.
WIDERSTANDSMESSVORRICHTUNG
.
10
2.3.2.
DIFLUSIONSMESSVORRICHTUNG
.
11
2.3.3.
PARTIALDRUCKANALYSE
.
11
2.4.
OPTIMIERUNG
DER
WIDERSTANDS
UND
GESAMTDRUCKMESSUNG
ZUR
DURCHFUEHRUNG
SCHNELLER,
ZEITAUFGELOESTER
EXPERIMENTE
.
12
2.4.1.
WIDERSTANDSMESSANORDNUNG
.
12
2.4.2.
GESAMTDRUCKMESSUNG
.
14
3.
EXPERIMENTELLE
GRUNDLAGEN
_
.
_
25
3.1.
DURCHFUEHRUNG
DER
EXPERIMENTE
.
25
3.1.1.
REAKTIONSGASABFULLUNG
.
25
3.1.2.
ERZEUGUNG
DES
ULTRAHOCHVAKUUMS
.
25
3.1.3.
PRAEPARATION
DER
METALLFILME
.
27
3.1.4.
ADSORPTIONSMESSUNGEN
.
30
3.2.
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
DRUCKABFALLSMESSUNG,
BERECHNUNGEN
UND
EXPERIMENTE
.
32
3.2.1.
ALLGEMEINES
.
32
3.2.2.
PUMPWIRKUNG
DER
LONISATIONSMANOMETER
.
33
3.2.3.
BERECHNUNG
DER
GESCHWINDIGKEITSKONSTANTE
.
37
3.2.4.
ANWENDUNG
AUF
EXPERIMENTELLE
BEDINGUNGEN
.
44
3.2.5.
VERGLEICH
MIT
MESSERGEBNISSEN
.
49
3.2.6.
BEURTEILUNG
DER
QUALITAET
DER
DIFFUSIONSMESSUNG
.
55
3.3.
AUSWERTUNG
DER
ADSORPTIONSMESSUNGEN
.
57
3.3.1.
BELEGUNGSBERECHNUNG
.
57
3.3.2.
AUSWERTUNG
DER
WIDERSTANDSMESSUNG
.
60
3.3.3.
AUSWERTUNG
DER
DRUCKABFALLKURVEN
.
65
4.
KINETIK
DER
WIDERSTANDSAENDERUNG
BEI
ADSORPTION
AN
EISENFILMEN
.
67
4.1.
EISEN
/
SAUERSTOFF
BEI
273
K
UND
77
K
.
68
4.2.
EISEN
/
WASSERSTOFF
BEI
273
K
.
72
4.3.
EISEN
/
KOHLENMONOXID
BEI
273
K
.
75
5.
KINETIK
DER
WIDERSTANDSAENDERUNG
UND
GASDIFFUSION
BEI
ADSORPTION
AN
NICKELFILMEN
.80
5.1.
NICKEL
/
SAUERSTOFF
BEI
273
K
.
81
5.2.
NICKEL
/
WASSERSTOFF
BEI
273
K
.
88
5.3.
NICKEL
/
KOHLENMONOXID
BEI
273
K
.
97
5.4.
DRUCKVERLAUF
IN
DER
MESSZELLE
.
106
6.
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
ZUM
WIDERSTANDSVERHALTEN
DUENNER
METALL
FILME
.
110
7.
DISKUSSION
DER
MESSERGEBNISSE
.
120
7.1.
BELEGUNGSABHAENGIGKEIT
DER
ABSOLUTEN
WIDERSTANDSAENDERUNG
.
120
7.2.
KINETIK
DER
WIDERSTANDSAENDERUNG
UND
DER
GASDIFFUSION
.
130
8.
ZUSAMMENFASSUNG
.
137
9.
MATHEMATISCHER
ANHANG
ZU
KAPITEL
3.2.3
.
140
10.
LITERATURVERZEICHNIS
_
.144 |
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