Nachweisgrenze piezoelektrischer Sensoren:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
München
Utz, Wiss.
1996
|
| Schriftenreihe: | Sensorik
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INHALT
ZUSAMMENFASSUNG
.
XI
VERZEICHNIS
DER
WICHTIGSTEN
SYMBOLE
.
XV
1.
EINLEITUNG
.
1
1.1
GASANALYTIK
MIT
CHEMOSENSOREN
.
1
1.2
PIEZOELEKTRISCH
GRAVIMETRISCHE
GASSENSOREN
.
2
1.3
OLFAKTOMETRIE
.
3
1.4
ZIELRICHTUNG
DER
ARBEIT
.
4
2.
SCHWINGQUARZSENSOREN
.
5
2.1
SCHWINGQUARZE
ALS
MIKROWAAGE
.
5
2.2
GASSENSITIVE
BESCHICHTUNGEN
.
7
2.3
AKUSTISCHES
ERSATZSCHALTBILD
.
7
2.3.1
ELEKTRISCHE
ANALOGIEN
.
8
2.3.2
BESTIMMUNG
DER
ERSATZSCHALTBILDGROESSEN
.
11
2.4
ELEKTRISCHES
ERSATZSCHALTBILD
.
17
3.
OFW-SENSOREN
.
21
3.1
AUSBREITUNG
VON
RAYLEIGH-WELLEN
.
22
3.2
BESCHICHTETE
SUBSTRATOBERFLAECHE
.
29
3.2.1
MECHANISCHE
EINFLUESSE
DURCH
EINE
VERLUSTLOSE
BESCHICHTUNG
.
33
3.2.2
AUSWIRKUNG
VISKOSER
VERLUSTE
DER
BESCHICHTUNG
.
38
3.2.3
ELEKTRISCHE
EINFLUESSE
DER
BESCHICHTUNG
.
40
3.3
ERSATZSCHALTBILD
FUER
OFW-SENSOREN
.
42
4.
BESCHICHTUNGEN
.
45
4.1
BESCHICHTUNGEN
AUS
DER
GASCHROMATOGRAPHIE
.
45
4.2
SELEKTIVE
BIOLOGISCHE
SCHICHTEN
.
46
4.3
WIRT-GAST-SCHICHTEN
.
46
4.4
BESCHICHTUNGSTECHNOLOGIEN
.
47
4.4.1
SPIN-ON
.
47
4.4.2
DROP-ON
.
47
4.4.3
DIP-IN
.
48
4.4.4
AIRBRUSH-BESCHICHTUNG
.
49
4.4.5
ULTRASCHALL-ZERSTAEUBER
.
52
4.5
QUALITAET
DER
SCHICHTEN
.
54
4.6
WECHSELWIRKUNG
ZWISCHEN
BESCHICHTUNG
UND
GAS
.
55
4.6.1
ADSORPTION
.
56
4.6.2
ABSORPTION
.
57
4.7
DIMENSIONIERUNG
DER
BESCHICHTUNG
.
59
5.
GASMESSTECHNIK.
.
67
5.1
SCHWINGQUARZE
.
67
5.1.1
HERSTELLUNG
.
67
5.1.2
MASSEN
UND
GASEMPFINDLICHKEIT
.
69
5.2
OFW-SENSOREN
.
70
5.2.1
BAUELEMENTE
FUER
OFW-SENSOREN
.
70
5.2.2
MASSEN
UND
GASEMPFINDLICHKEIT
.
72
5.3
PHASENMESSUNG
ODER
MESSUNG
DER
RESONANZFREQUENZ
.
73
5.3.1
AUFBAU
MIT
KOMMERZIELLEN
KOMPONENTEN
.
73
5.3.2
EMPFINDLICHKEIT
DER
PHASENMESSUNG
.
75
5.3.3
ANDERE
WEGE
DER
PHASENMESSUNG
.
75
5.4
MESSUNG
MIT
OSZILLATORSCHALTUNG
.
78
5.4.1
GRUNDSAETZLICHE
UEBERLEGUNGEN
BEIM
ENTWURF
.
79
5.4.2
OSZILLATORSCHALTUNGEN
FUER
PIEZOELEKTRISCHE
GASSENSOREN
.80
5.4.3
ZWEIPOLOSZILLATOREN
.
81
5.4.4
VIERPOLOSZILLATOREN
.
85
5.5
FUNKFERNABFRAGBARE
OFW-GASSENSOREN
.
89
5.6
MODULATIONSTECHNIKEN
.
90
5.6.1
UMSCHALTEN
ZWISCHEN
TESTGAS
UND
SPUELGAS
.
91
5.6.2
VORGESCHALTETER
GASMODULATOR
.
92
5.6.3
ENTWURSREGELN
FUER
DIE
GASZUFUEHRUNG
.
93
5.6.4
VARIATION
DER
SENSORTEMPERATUR
.
94
5.7
VERWENDETER
MESSAUFBAU
.
95
6.
STOEREINFLUESSE
.
99
6.1
QUEREMPFINDLICHKEITEN
.
100
6.1.1
TEMPERATUREINFLUSS
.
100
6.1.2
STROEMUNGSEINFLUSS
.108
6.1.3
ELEKTRISCHE
QUEREMPFINDLICHKEITEN
.108
6.2
DRIFTEN
.
110
6.3
WARMLAUFPHASE
VON
OSZILLATOREN
.
112
6.4
RAUSCHEN
.
115
6.5
UEBERSPRECHEN
BEI
SENSORARRAYS
.118
6.6
ZUSAMMENFASSUNG
.
124
7.
OSZILLATORRAUSCHEN
.
125
7.1
BEGRIFFSKLAERUNGEN
.
125
7.2
BESCHREIBUNG
DES
OSZILLATORRAUSCHENS
NACH
KUROKAWA
.
126
7.3
BETRACHTUNG
DES
LEISTUNGSSPEKTRUMS
.
131
7.3.1
VERALLGEMEINERUNG
DER
BANDBREITE
VON
RUECKKOPPELNETZWERKEN
.137
7.3.2
RESONATOREN
.
138
7.3.3
LAUFZEITBAUELEMENTE
.
139
7.3.4
EINSEITENBANDRAUSCHABSTAND
.139
7.4
UMRECHNUNG
ZWISCHEN
RAUSCHBESCHREITUNG
IM
FREQUENZ
UND
ZEITBEREICH
.
140
7.4.1
LEISTUNGSDICHTE
DES
FREQUENZRAUSCHENS
.
141
7.4.2
ALLAN-VARIANZ
.
141
7.4.3
HERLEITUNG
DER
UMRECHNUNGSBEZIEHUNG
.142
7.5
VERGLEICH
DER
BESCHREIBUNGEN
NACH
KUROKAWA
UND
LEESON
.
144
8.
ENTWURFSREGELN
FUER
SENSORSYSTEME
MIT
PIEZOELEKTRISCHEN
SENSOREN
.145
8.1
OFW-SENSOR-BAUELEMENTE
FUER
OSZILLATOREN
.
145
8.2
BESTIMMUNG
DER
OPTIMALEN
LAENGE
EINER
OFW-VERZOEGERUNGSLEITUNG
.
146
8.3
VERGLEICH
RESONATOR
MIT
VERZOEGERUNGSLEITUNG
.150
8.4
OPTIMIERUNG
DER
SCHICHTHOEHE
.
152
8.4.1
OFW-SENSOREN
.
152
8.4.2
SCHWINGQUARZSENSOREN
.
154
9.
MESSUNGEN
.
157
9.1
MESSUNGEN
ZUR
OSZILLATORSTABILITAET
.
157
9.2
GRUNDBEGRIFFE
DER
MUSTERERKENNUNG
.158
9.3
GASMESSUNGEN
.
159
9.3.1
APPARATIVER
AUFBAUT
.
159
9.3.2
MESSUNG
VON
LOESUNGSMITTELDAEMPFEN
.
159
9.3.3
KOMPLEXE
GASGEMISCHE,
OLFAKTOMETRIE
.
160
9.3.4
ATEMGASANALYSE
.163
9.4
ENTWURF
VON
SENSORARRAYS
.
164
9.5
EINSATZ
THERMISCHER
GASMODULATOREN
.
167
10.
WERTUNG
UND
AUSBLICK
.
169
ANHANG
.
171
ANHANG
1:
LEISTUNGSFLUSS
BEI
OBERFLAECHENWELLEN
UND
ELEKTROMAGNETISCHEN
WELLEN
.
171
ANHANG
2:
UMRECHNUNG
ZWISCHEN
LEISTUNGSSPEKTRUM
UND
ALLAN-VARIANZ
.
175
ANHANG
3:
STROMLAEUFE
VERWENDETET
MESSAUFBAUTEN
.
179
ANHANG
3.1:
VERWENDETE
SCHALTUNG
BEI
QUARZOSZILLATOREN
.
179
ANHANG
3.2:
OSZILLATOR
FUER
OFW-VERZOEGERUNGSLEITUNGEN
.
180
ANHANG
3.3:
SCHALTUNG
FUER
OFW-EINTORRESONATOREN
.
181
ANHANG
3.4:
SCHALTUNG
FUER
OFW-ZWEITORRESONATOREN
.
182
ANHANG
4:
ATEMLUFTDIAGNOSE
MIT
PIEZOELEKTRISCHEN
GASSENSOREN.
183
ANHANG
5:
SENSOREMPFINDLICHKEITEN
UND
NACHWEISGRENZEN
FUER
OFW
UND
SCHWINGQUARZSENSOREN
.
197
LITERATURVERZEICHNIS
.
201 |
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