Vergleichende Untersuchungen zur meßtechnischen Leistungsfähigkeit von Laserinterferometern und inkrementellen Maßstabmeßsystemen:
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Veröffentlicht: |
Braunschweig
PTB
1996
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Schriftenreihe: | Physikalisch-Technische Bundesanstalt <Braunschweig>: [PTB-Bericht / Abteilung Fertigungsmeßtechnik]
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Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Rheinisch-Westfälische Techn. Hochsch., Diss. |
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