Anlagenentwicklung unter unsicheren Annahmen am Beispiel einer lasergestützten Präzisionsbearbeitungsstation:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1996
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 2]
370 Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen, Universität Hannover |
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| adam_text | Titel: Anlagenentwicklung unter unsicheren Annahmen am Beispiel einer lasergestützten Präzisionsbearbeitu
Autor: Heekenjann, Peter B
Jahr: 1996
Inhalt V Inhalt Formelzeichen, Einheiten und Abkürzungen VH 1. Einleitung 1 2. Stand der Technik 3 2.1 Das Unternehmen im Spannungsfeld einer sich ändernden Umwelt 3 2.2 Masken in der Photolithographie 6 2.2.1 Begriffsbestimmung und Herstellung 6 2.2.3 Anlagentechnik zur Maskenherstellung 9 2.2.4 Laserunterstützte Prozesse beim Maskenherstellungsprozeß 13 2.3 UV-Laserstrahlung 19 2.3.1 Führung und Formung kohärenter Strahlung 19 2.3.2 Fokussierung von Grundmodestrahlung 20 2.3.3 Frequenzkonversion 23 3. Stand des Wissens 26 3.1 Der Produktentstehungsprozeß 26 3.2 Modelle zur beschleunigten Produktentwicklung 29 4. Aufgabenstellung 34 5. Versuchstechnik 35 5.1 Vorgehenssystematik 35 5.2 Charakterisierung der Laserstrahlquelle 36 5.2.1 Grundmoderesonator 36 5.2.2 Der frequenzvervierfachte Nd: YAG-Laser 37 5.2.3 Resonatorkonfiguration mit Injection Seeding 40 5.3 Optische Komponenten und Filter 42 5.4 Versuchswerkstoffe 43 5.5 Meßtechnik 44 6. Modell zur Anlagenkonzeption 47
VI Inhalt 7. Anlagenentwurf 55 7.1 Subsysteme höherer Ordnung 55 7.1.1 Untersuchung und Optimierung des Lasergerätes 56 7.1.2 Strahlfuhrung und -formung 63 7.1.3 Voruntersuchungen 66 7.2 Subsysteme mittlerer Ordnung 69 7.2.1 Positioniersystem und Bearbeitungskammer 69 7.2.2 Autofokussierung 73 7.3 Subsysteme niedriger Ordnung 90 7.3.1 Prozeßbeobachtungssystem 91 7.3.2 Maschinengestell 94 8. Anlagenerprobung 99 8.1 Maskenreparatur 99 8.2 Lackstrukturierung 102 9. Folgerungen für die Praxis 106 10. Zusammenfassung 109 11. Literatur 111
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