Untersuchung und Herstellung eines spektral-abstimmbaren Infrarot-Sensors in Silizium-Mikromechanik-Technologie für Anwendungen bei Zimmertemperatur:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
München
Utz
1996
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| Schriftenreihe: | Sensorik
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