Systemeigenschaften von Silicium-Planar-Pellistoren:
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Format: | Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
München
Utz
1996
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Schriftenreihe: | Sensorik
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Beschreibung: | Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 1996 |
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INHALTSVERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS
ZUSAMMENFASSUNG
XI
EINLEITUNG
1
1
DETEKTION
BRENNBARER
GASE
MIT
PELLISTOREN
3
1.1
SENSORPRINZIP
3
1.2
BESONDERHEITEN
DES
SI-PLANAR-PELLISTORS
5
1.3
ENTWICKLUNGSSCHRITTE
DES
SI-PLANAR-PELLISTORS
6
1.3.1
STREIFEN-SI-PLANAR-PELLISTOR
6
1.3.2
SPIRALEN-SI-PLANAR-PELLISTOR
7
1.3.3
DOPPELSTRUKTUR-MULTILAYER-SI-PLANAR-PELLISTOR
8
2
REAKTIONSKINETIK
UND STOFFTRANSPORT
11
2.1
PRINZIP
DER
HETEROGENEN
KATALYSE
11
2.2
REAKTIONSGESCHWINDIGKEIT
12
2.3
ADSORPTION
UND
DESORPTION
13
2.4
REAKTIONSMECHANISMEN
UND
REAKTIONSORDNUNGEN
15
2.4.1
LANGMUIR-HINSHELWOOD-MECHANISMUS
15
2.4.2
ELEY-RIDEAL-MECHANISMUS
15
2.4.3
REAKTIONSORDNUNG
16
2.5
STOFFTRANSPORT
17
2.5.1
DIFFUSION
17
2.5.2
DIFFUSION
UND
REAKTION
19
2.5.3
TEMPERATURABHAENGIGKEIT
VON
REAKTION
UND
DIFFUSION
20
2.5.4
BESCHREIBUNG
DURCH
EINEN
STOFFUEBERGANGSKOEFFIZIENTEN
22
3
CHARAKTERISIERUNG
DER
THERMISCHEN
EIGENSCHAFTEN
23
3.1
THERMISCHE
VERLUSTE
23
3.1.1
WAERME
VERLUSTE
AN
DAS
UMGEBENDE
MEDIUM
23
3.1.2
WAERMELEITUNG
DER
MEMBRAN
29
3.1.3
WAERMELEITUNG
DER
ZUFUEHRUNGEN
30
3.1.4
STRAHLUNGSVERLUSTE
30
3.1.5
MESSUNG
UND
VERGLEICH
DER
VERLUSTANTEILE
31
3.2
THERMISCHE
KAPAZITAET
DES
AKTIVEN
BEREICHS
32
3.3
ERSATZSCHALTBILD
FUER
DAS
THERMISCHE
VERHALTEN
35
3.4
MESSUNG
DES
DYNAMISCHEN
VERHALTENS
35
3.5
THERMISCHES
VERHALTEN
DES
SUBSTRATS
37
4
CHARAKTERISIERUNG
DES
ELEKTRISCHEN
VERHALTENS
39
4.1
TEMPERATURKOEFFIZIENTEN
DER
HEIZERWIDERSTAENDE
39
4.1.1
MESSUNG
DER
TEMPERATURKOEFFIZIENTEN
40
4.1.2
BERUECKSICHTIGUNG
DER
ZULEITUNGSWIDERSTAENDE
41
4.2
BETRIEBSARTEN
FUER
PELLISTOREN
43
4.2.1
BETRIEB
BEI
KONSTANTSPANNUNG
46
4.2.2
BETRIEB
BEI
KONSTANTSTROM
46
4.2.3
BETRIEB
BEI
KONSTANTER
ELEKTRISCHER
LEISTUNG
47
4.2.4
BETRIEB
IN
BRUECKENSCHALTUNG
MIT
KOMPENSATIONSELEMENT
47
4.2.5
BETRIEB
BEI
KONSTANTEM
WIDERSTAND
-
ISOTHERMER
BETRIEB
48
4.2.6
TYPISCHE
WERTE
FUER
SPIRALEN-SI-PLANAR-PELLISTOREN
49
4.2.7
VERGLEICH
DER
BETRIEBSARTEN
50
4.3
WECHSELSTROM-KLEINSIGNALVERHALTEN
IM
ARBEITSPUNKT
51
4.3.1
KLEINSIGNALIMPEDANZ
51
4.3.2
ELEKTRISCHES
ERSATZSCHALTBILD
53
5
CHARAKTERISIERUNG
DER
CHEMISCHEN
EIGENSCHAFTEN
55
5.1
GASSPEZIFISCHE
EIGENSCHAFTEN
55
5.2
GAS
UND
KATALYSATORSPEZIFISCHE
EIGENSCHAFTEN
56
5.3
DARSTELLUNG
ALS
ARRHENIUSDIAGRAMM
57
5.4
MESSUNG
UND
EMPIRISCHE
BESCHREIBUNG
57
5.4.1
MESSUNG
VON
LOESUNGSMITTELDAEMPFEN
58
5.4.2
MESSUNG
VON
KURZKETTIGEN
ALKANEN
59
5.4.3
PARAMETER
FUER
EMPIRISCHE
BESCHREIBUNG
60
6
TEMPERATURVERTEILUNG
IM
AKTIVEN
BEREICH
61
6.1
ZUSAMMENHANG
ZWISCHEN
TEMPERATURHOMOGENITAET
UND
HEIZERLEBENSDAUER
61
6.2
URSACHEN
FUER
LOKALE
UEBERHITZUNG
63
6.3
EINFLUSS
AUF
SIGNALENTSTEHUNG
UND
EMPFINDLICHKEIT
66
6.4
MESSUNG
DER
OBERFLAECHENTEMPERATUR
MIT
HOHER
ORTSAUFLOESUNG
71
7
DIMENSIONIERUNGSRICHTLINIEN
75
7.1
SKALIERUNG
DES
SENSORELEMENTS
75
7.2
DICKE DER
STRUKTUR
77
7.2.1
DICKE
DER
HEIZERMETALLISIERUNG
77
7.2.2
DICKE
DES
KATALYSATORS
78
7.2.3
DICKE
DER
TRAEGERMEMBRAN
79
7.3
HEIZERSTRUKTUR
79
7.4
MATERIALAUSWAHL
81
7.4.1
MATERIAL
DER
HEIZERMETALLISIERUNG
81
7.4.2
TRAEGERSTRUKTUR
82
VIII
INHALTSVERZEICHNIS
8
TECHNOLOGISCHE
REALISIERUNG
VON
SI-PLANAR-PELLISTOREN
83
8.1
SCHICHTAUFBAU
VON
SI-PLANAR-PELLISTOREN
83
8.1.1
VERGLEICH
TECHNOLOGIEBEDINGTER
KENNDATEN
85
8.2
VERFAHREN
ZUR
HERSTELLUNG
VON
POROESEN
KATALYSATORSCHICHTEN
85
8.2.1
PLATIN
UND
PALLADIUMPASTEN
85
8.2.2
IMPRAEGNIEREN
VON
POROESEM
ALUMINIUMOXID
MIT
PLATIN
86
8.2.3
ELEKTROCHEMISCHE
ABSCHEIDUNG
VON
PLATINSCHWARZ
87
8.3
TECHNOLOGIEABLAUF
FUER
DEN
MULTILAYER-SI-PLANAR-PELLISTOR
87
8.3.1
AUSGANGSMATERIAL
88
8.3.2
REINIGUNG
DER
WAFER
88
8.3.3
PHOTOLITHOGRAPHIE
89
8.3.4
FREIAETZEN
DER
SILICIUMNITRIDMEMBRANEN
91
8.3.5
HEIZERMETALLISIERUNG
92
8.3.6
ISOLIERSCHICHT
93
8.3.7
FUEHLERMETALLISIERUNG
94
8.3.8
ANSCHLUSSPADS
UND
PASSIVIERUNG
95
8.3.9
MONTAGE
96
8.3.10
AUFBRINGEN
DER
KATALYSATORBESCHICHTUNG
96
8.3.11
ANALYSE
DER
AUSBEUTE
97
9
STOEREINFLUESSE
99
9.1
QUEREMPFINDLICHKEITEN
99
9.1.1
TEMPERATUREINFLUSS
101
9.1.2
STROEMUNGSEINFLUSS
101
9.1.3
WAERMELEITFAEHIGKEITSEINFLUSS
103
9.1.4
VERGLEICH
DER
WICHTIGSTEN
QUEREMPFINDLICHKEITEN
103
9.2
DRIFTEFFEKTE
104
9.2.1
WIDERSTANDSDRIFT
104
9.3
KOMPENSATION
105
9.4
RAUSCH
VERHALTEN
VON
SI-PLANAR-PELLISTOREN
108
9.4.1
CHEMISCHES
RAUSCHEN
DER
KATALYTISCHEN
REAKTION
108
9.4.2
ELEKTRONISCHES
RAUSCHEN
DES
HEIZERWIDERSTANDS
109
9.4.3
RAUSCHEN
DER
BETRIEBS-UND
AUSWERTESCHALTUNG
112
9.4.4
RAUSCHEN
DURCH
GASSTROEMUNG
UND
FLUKTUATIONEN
114
9.4.5
WIDERSTANDSRAUSCHEN
BEI
MULTILAYER-SI-PLANAR-PELLISTOREN
116
9.4.6
VERGLEICH
DER
NEC-WERTE
117
10
ALTERUNG
UND
LEBENSDAUER
119
10.1
LEBENSDAUER
DER
HEIZERMETALLISIERUNG
119
10.2
LEBENSDAUER
IM
GEPULSTEN
BETRIEB
121
10.3
WIDERSTANDSDRIFT
122
10.4
ALTERUNG
DER
KATALYSATORBESCHICHTUNG
123
10.4.1
HEMMSTOFFE
UND
KATALYSATORGIFTE
123
10.4.2
PRAKTISCHE
ERFAHRUNGEN
123
11
MODULIERTER
BETRIEB
VON
SI-PLANAR-PELLISTOREN
125
11.1
PRINZIP
DER
SINUSFOERMIGEN
TEMPERATURMODULATION
126
11.2
QUASISTATISCHE
BESCHREIBUNG
DER
OBERWELLENSIGNALE
127
11.2.1
BETRACHTUNG
IM
ARBEITSPUNKT
128
11.2.2
OPTIMALE
MODULATIONSAMPLITUDE
130
11.2.3
NULLPUNKTSDRIFT
IN
STATISCHER
UND
MODULIERTER
BETRIEBSART
132
11.3
ERWEITERUNG
AUF
DYNAMISCHE
VORGAENGE
133
11.3.1
PHASENVERZERRUNG
DER
OBERWELLENSIGNALE
133
11.3.2
BESCHREIBUNG
DER
DYNAMISCHEN
STOFFTRANSPORTVORGAENGE
136
12
REALISIERUNG
DER
MESSTECHNIK
141
12.1
PRINZIP
DER
DIGITALEN
MODULATIONSSCHALTUNG
141
12.2
MODULIERTE
BETRIEBSART
MIT
KOMPENSATIONSELEMENT
143
12.3
KALIBRATIONSVORGANG
ZUR
REDUKTION
VON
RESTOBERWELLEN
144
12.4
NETZUNABHAENGIGES
MINIATURMESSSYSTEM
144
12.5
BETRIEBSSCHALTUNG
FUER
MULTILAYER-SI-PLANAR-PELLISTOREN
147
12.6
GETAKTETER
BETRIEB
VON
SI-PLANAR-PELLISTOREN
MIT
STROMLOSER
MESSUNG
148
13
MUSTERERKENNUNG
149
13.1
DIMENSIONSREDUKTION
150
13.1.1
MATHEMATISCHE
BETRACHTUNG
150
13.1.2
MINDESTZAHL
DER
MESSUNGEN
153
13.2
NORMIERUNG
154
13.3
KLASSIFIKATION
157
13.3.1
MAHALANOBIS-KLASSIFIKATOR
157
13.4
KONZENTRATIONSBESTIMMUNG
158
13.5
MESSDATEN
VOM
GAS-MINI-MESSSYSTEM:
MUSTERERKENNUNG
159
13.5.1
INFORMATIONSGEHALT
DER
OBERWELLENSIGNALE
160
13.5.2
ARBEITSPUNKTANZAHL
UND
IDENTIFIKATIONSSICHERHEIT
161
13.6
ERGEBNISSE
162
14
WERTUNG
UND
AUSBLICK
163
VERZEICHNIS
DER
WICHTIGSTEN
SYMBOLE
167
LITERATURVERZEICHNIS
175
ANHANG
179 |
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