Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in situ Ellipsometriestudie: = Growth mechanisms during the plasma enhanced chemical vapor deposition of hydrocarbon films, investigated by in situ ellipsometry
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Garching bei München
Max-Planck-Inst. für Plasmaphysik
1996
|
| Schriftenreihe: | Max-Planck-Institut für Plasmaphysik <Garching, München>: [IPP-Bericht / 9]
110 |
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| Beschreibung: | Zugl.: Bayreuth, Univ., Diss., 1996 |
| Beschreibung: | 93 S. graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
GRUNDLAGEN
4
2.1
PLASMAGESTUETZTE
ABSCHEIDUNG
VON
C:H-FILMEN
.
4
2.2
EIGENSCHAFTEN
VON
C:H-FILMEN
UND
DEREN
BESTIMMUNG
.
.
.
6
2.3
SCHICHTDEPOSITION
.
8
2.3.1
OBERFLAECHENREAKTIONEN
NEUTRALER
MOLEKUELE
AUF
C:H-FILMEN
.
8
2.3.2
OBERFLAECHENREAKTIONEN
VON
IONEN
MIT
C:H-FILMEN
.
.
9
2.3.3
WACHSTUMSMODELLE
.
11
2.3.4
EROSION
VON
C:H-FILMEN
.
12
2.4
ELLIPSOMETRIE
.
14
2.5
OPTISCHE
MODELLE
FUER
C:H-SCHICHTEN
.
17
2.5.1
GRUNDLAGEN
.
17
2.5.2
MODELLIERUNG
EINER
IN
SITU
MESSUNG
.
18
2.5.3
MODELLIERUNG
EINER
SPEKTROSKOPISCHEN
MESSUNG
.
19
2.5.4
MODELLIERUNG
VON
OBERFLAECHENEFFEKTEN
.
19
3
EXPERIMENT
22
3.1
ECR-BESCHICHTUNGSPLASMA
.
22
3.2
ELLIPSOMETRISCHER
AUFBAU
.
25
3.2.1
ERZEUGUNG
MONOCHROMATISCHEN
LINEAR
POLARISIERTEN
LICHTS
.
25
3.2.2
DETEKTION
.
26
3.2.3
JUSTIERUNG
UND
KALIBRIERUNG
MESSAUFBAU
.
27
3.3
CHARAKTERISIERUNG
DER
SCHICHTDEPOSITION
.
29
3.3.1
TEILCHENFLUESSE
AUF
DAS
SUBSTRAT
.
29
3.3.2
OPTISCHE
GUETE
DER
SCHICHTOBERFLAECHEN
.
30
3.3.3
OPTISCHE
GUETE
DER
OBERFLAECHE
BEI
DER
EROSION
DURCH
EIN
OA-PLASMA
.
34
3.3.4
TEMPERATURMESSUNG
.
36
4
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
38
4.1
FRAGEN
ZUM
WACHSTUM
VON
C:H-FILMEN
.
38
4.2
EIGENSCHAFTEN
DER
DEPONIERTEN
FILME
.
41
4.3
DIE
KONKURRENZ
DEPOSITION-EROSION
.
42
4.3.1
VERGLEICH
ZWISCHEN
DEPOSITIONS
UND
EROSIONSRATEN
.
.
42
4.3.2
DIE
EROSION
VON
C:H-FILMEN
.
46
4.4
WECHSELWIRKUNG
VON
IONEN
MIT
POLYMERARTIGEN
SCHICHTEN
.
55
4.4.1
WECHSELWIRKUNG
POLYMERARTIGER
FILME
MIT
EINEM
WASSERSTOFFPLASMA
.
55
4.4.2
WECHSELWIRKUNG
POLYMERARTIGER
FILME
MIT
EINEM
METHANPLASMA
.
55
4.4.3
VERGLEICH
MIT
TRIM.SP-RECHNUNGEN
.
57
4.4.4
MODELLVORSTELLUNG
ZUR
WECHSELWIRKUNG
DER
IONEN
MIT
EINEM
POLYMER
ARTIGEN
FILM
.
58
4.4.5
WECHSELWIRKUNG
POLYMERARTIGER
FILME
MIT
EINEM
CD
4
-PLASMA
.
61
4.5
EINFLUSS
DER
IONEN
AUF
DAS
SCHICHTWACHSTUM
.
63
4.5.1
OPTISCHE
ANTWORT
EINER
C:H-FILM-OBERFLAECHE
WAEHREND
DER
DEPOSITION
63
4.5.2
TEST
DER
HYPOTHESE
EINER
MODIFIZIERTEN
OBERFLAECHE
.
67
4.5.3
ABHAENGIGKEIT
DER
OPTISCHEN
ANTWORT
DER
OBERFLAECHENSCHICHT
VON
DEN
BESCHICHTUNGSPARAMETERN
.
70
4.5.4
RELAXATION
DER
MODIFIZIERTEN
OBERFLAECHE
.
72
4.5.5
MODELLVORSTELLUNG
FUER
DIE
MODIFIZIERTE
OBERFLAECHE
.
73
4.5.6
AUSWIRKUNG
DER
MODIFIZIERTEN
OBERFLAECHE
AUF
DAS
WACHSTUM
.
78
4.6
WIE
WACHSEN
C:H-FILME
AUF?
.
.
.
.
83
5
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
86
LITERATURVERZEICHNIS
89 |
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