Li, Y. X. (1995). Plasma etching for integrated silicon sensor applictions. Univ. Press.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Li, Yuan Xiong. Plasma Etching for Integrated Silicon Sensor Applictions. Delft: Univ. Press, 1995.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Li, Yuan Xiong. Plasma Etching for Integrated Silicon Sensor Applictions. Univ. Press, 1995.
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