Vergleichende Untersuchungen der Grenzflächen und der Gas-Sensor-Eigenschaften von SnO 2-Sputterschichten mittels ARXPS und Leitfähigkeitsmessungen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Forschungszentrum Karlsruhe
1995
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte
5648 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. - Zsfassung in engl. Sprache |
| Beschreibung: | 134 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010700647 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20060317 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 960404s1995 ad|| m||| 00||| gerod | ||
| 035 | |a (OCoLC)164915341 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010700647 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-12 |a DE-91 | ||
| 084 | |a PHY 700d |2 stub | ||
| 084 | |a CHE 221d |2 stub | ||
| 084 | |a ELT 279d |2 stub | ||
| 088 | |a FZKA 5648 | ||
| 100 | 1 | |a Michel, Hans-Jürgen |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Vergleichende Untersuchungen der Grenzflächen und der Gas-Sensor-Eigenschaften von SnO 2-Sputterschichten mittels ARXPS und Leitfähigkeitsmessungen |c Hans-Jürgen Michel |
| 246 | 1 | 3 | |a FZKA 5648 |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Karlsruhe |b Forschungszentrum Karlsruhe |c 1995 | |
| 300 | |a 134 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |v 5648 | |
| 500 | |a Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. - Zsfassung in engl. Sprache | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Magnetronsputtern |0 (DE-588)4208514-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Elektrische Leitfähigkeit |0 (DE-588)4014200-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Zinndioxid |0 (DE-588)4190891-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Gassensor |0 (DE-588)4156050-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Gassensor |0 (DE-588)4156050-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Zinndioxid |0 (DE-588)4190891-0 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Magnetronsputtern |0 (DE-588)4208514-7 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Elektrische Leitfähigkeit |0 (DE-588)4014200-0 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |v 5648 |w (DE-604)BV010181833 |9 5648 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007142323 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804125177764642816 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Michel, Hans-Jürgen |
| author_facet | Michel, Hans-Jürgen |
| author_role | aut |
| author_sort | Michel, Hans-Jürgen |
| author_variant | h j m hjm |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010700647 |
| classification_tum | PHY 700d CHE 221d ELT 279d |
| ctrlnum | (OCoLC)164915341 (DE-599)BVBBV010700647 |
| discipline | Physik Chemie Elektrotechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01939nam a2200493 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV010700647</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20060317 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">960404s1995 ad|| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)164915341</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010700647</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 700d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">CHE 221d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 279d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="088" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FZKA 5648</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Michel, Hans-Jürgen</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Vergleichende Untersuchungen der Grenzflächen und der Gas-Sensor-Eigenschaften von SnO 2-Sputterschichten mittels ARXPS und Leitfähigkeitsmessungen</subfield><subfield code="c">Hans-Jürgen Michel</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">FZKA 5648</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Karlsruhe</subfield><subfield code="b">Forschungszentrum Karlsruhe</subfield><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">134 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte</subfield><subfield code="v">5648</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. - Zsfassung in engl. Sprache</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Magnetronsputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4208514-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Elektrische Leitfähigkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4014200-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Zinndioxid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4190891-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Gassensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4156050-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Gassensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4156050-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Zinndioxid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4190891-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Magnetronsputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4208514-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Elektrische Leitfähigkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4014200-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte</subfield><subfield code="v">5648</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV010181833</subfield><subfield code="9">5648</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007142323</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010700647 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:57:25Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007142323 |
| oclc_num | 164915341 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | 134 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1995 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| publisher | Forschungszentrum Karlsruhe |
| record_format | marc |
| series | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |
| series2 | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |
| spelling | Michel, Hans-Jürgen Verfasser aut Vergleichende Untersuchungen der Grenzflächen und der Gas-Sensor-Eigenschaften von SnO 2-Sputterschichten mittels ARXPS und Leitfähigkeitsmessungen Hans-Jürgen Michel FZKA 5648 Als Ms. gedr. Karlsruhe Forschungszentrum Karlsruhe 1995 134 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte 5648 Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. - Zsfassung in engl. Sprache Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd rswk-swf Elektrische Leitfähigkeit (DE-588)4014200-0 gnd rswk-swf Zinndioxid (DE-588)4190891-0 gnd rswk-swf Gassensor (DE-588)4156050-4 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Gassensor (DE-588)4156050-4 s Zinndioxid (DE-588)4190891-0 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 s Elektrische Leitfähigkeit (DE-588)4014200-0 s DE-604 Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte 5648 (DE-604)BV010181833 5648 |
| spellingShingle | Michel, Hans-Jürgen Vergleichende Untersuchungen der Grenzflächen und der Gas-Sensor-Eigenschaften von SnO 2-Sputterschichten mittels ARXPS und Leitfähigkeitsmessungen Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd Elektrische Leitfähigkeit (DE-588)4014200-0 gnd Zinndioxid (DE-588)4190891-0 gnd Gassensor (DE-588)4156050-4 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4208514-7 (DE-588)4014200-0 (DE-588)4190891-0 (DE-588)4156050-4 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4113937-9 |
| title | Vergleichende Untersuchungen der Grenzflächen und der Gas-Sensor-Eigenschaften von SnO 2-Sputterschichten mittels ARXPS und Leitfähigkeitsmessungen |
| title_alt | FZKA 5648 |
| title_auth | Vergleichende Untersuchungen der Grenzflächen und der Gas-Sensor-Eigenschaften von SnO 2-Sputterschichten mittels ARXPS und Leitfähigkeitsmessungen |
| title_exact_search | Vergleichende Untersuchungen der Grenzflächen und der Gas-Sensor-Eigenschaften von SnO 2-Sputterschichten mittels ARXPS und Leitfähigkeitsmessungen |
| title_full | Vergleichende Untersuchungen der Grenzflächen und der Gas-Sensor-Eigenschaften von SnO 2-Sputterschichten mittels ARXPS und Leitfähigkeitsmessungen Hans-Jürgen Michel |
| title_fullStr | Vergleichende Untersuchungen der Grenzflächen und der Gas-Sensor-Eigenschaften von SnO 2-Sputterschichten mittels ARXPS und Leitfähigkeitsmessungen Hans-Jürgen Michel |
| title_full_unstemmed | Vergleichende Untersuchungen der Grenzflächen und der Gas-Sensor-Eigenschaften von SnO 2-Sputterschichten mittels ARXPS und Leitfähigkeitsmessungen Hans-Jürgen Michel |
| title_short | Vergleichende Untersuchungen der Grenzflächen und der Gas-Sensor-Eigenschaften von SnO 2-Sputterschichten mittels ARXPS und Leitfähigkeitsmessungen |
| title_sort | vergleichende untersuchungen der grenzflachen und der gas sensor eigenschaften von sno 2 sputterschichten mittels arxps und leitfahigkeitsmessungen |
| topic | Magnetronsputtern (DE-588)4208514-7 gnd Elektrische Leitfähigkeit (DE-588)4014200-0 gnd Zinndioxid (DE-588)4190891-0 gnd Gassensor (DE-588)4156050-4 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd |
| topic_facet | Magnetronsputtern Elektrische Leitfähigkeit Zinndioxid Gassensor Dünne Schicht Hochschulschrift |
| volume_link | (DE-604)BV010181833 |
| work_keys_str_mv | AT michelhansjurgen vergleichendeuntersuchungendergrenzflachenunddergassensoreigenschaftenvonsno2sputterschichtenmittelsarxpsundleitfahigkeitsmessungen AT michelhansjurgen fzka5648 |