Untersuchungen zur Kinetik elementarer Reaktionen in Silanreaktionssystemen basierend auf atom- und molekülspektroskopischen Messungen:
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| Format: | Buch |
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1995
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
UND
ZIELSETZUNG
6
2
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
10
2.1
STOSSWELLEN
.
10
2.2
KINETIK
HOMOGENER
GASREAKTIONEN
.
13
2.3
METHODEN
DER
DATENREDUKTION
.
15
3
BESCHREIBUNG
DER
VERSUCHSANLAGE
19
3.1
STOSSWELLENROHR
UND
GASMISCHAPPARATUR
.
19
3.2
OPTISCHE
MESSEINRICHTUNG
.
22
3.2.1
ATOM
RESONANZ
ABSORPTIONS
SPEKTROSKOPIE
(ARAS)
.
22
3.2.2
FARBSTOFF-RINGLASER
SPEKTROSKOPIE
.
31
4
DISSOZIATIONSREAKTIONEN
VON
SILANEN
37
4.1
REAKTIONSKOEFFIZIENTEN
IM
UEBERGANGSBEREICH
.
37
4.2
THERMISCHER
ZERFALL
VON
DISILAN
.
40
4.2.1
MESSUNGEN
VON
SI-ATOMEN
IN
SIAHE/AR-REAKTIONSSYSTEMEN
.
41
4.2.2
MESSUNGEN
VON
SIHA-RADIKALEN
IN
SIAHG/AR-REAKTIONSSYSTEMEN
.
.
43
4.2.3
MESSUNGEN
VON
SIH
2
-RADIKALEN
IN
SIAH
6
/SIH
4
/AR-REAKTIONSSYSTEMEN
50
4.3
THERMISCHER
ZERFALL
VON
SILAN
.
55
4.3.1
MESSUNGEN
VON
SI-ATOMEN
IN
SIH
4
/AR-REAKTIONSSYSTEMEN
.
56
4.3.2
MESSUNGEN
VON
H-ATOMEN
IN
SIH
4
/AR-REAKTIONSYSTEMEN
.
63
4.3.3
BESTIMMUNG
DER
DISSOZIATIONSENERGIE
VON
SILAN
.
65
5
REAKTIONEN
VON
SI-ATOMEN
MIT
ANDEREN
SPEZIES
69
5.1
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
REAKTION
SI+CO
.
69
5.1.1
MESSUNGEN
VON
SI-ATOMEN
IN
SIH
4
/CO/AR-REAKTIONSSYSTEMEN
.
70
5.1.2
MESSUNGEN
VON
C
UND
O-ATOMEN
IN
SIH
4
/CO/AR-REAKTIONSSYSTEMEN
74
1
2
INHALTSVERZEICHNIS
5.2
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
REAKTION
SI-F-CO
2
.
76
5.3
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
REAKTION
SI+NO
.
80
5.3.1
MESSUNGEN
VON
SI-ATOMEN
IN
SIH
4
/NO/AR-REAKTIONSSYSTEMEN
.
81
5.3.2
MESSUNGEN
VON
N-UND
O-ATOMEN
IN
SIH
4
/NO/AR-REAKTIONSSYSTEMEN
84
5.4
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
REAKTION
SI+N
2
O
.
89
5.4.1
MESSUNGEN
VON
SI-ATOMEN
IN
SIH
4
/N
2
0/AR-REAKTIONSSYSTEMEN
.
.
89
5.4.2
MESSUNGEN
VON
N-ATOMEN
IN
SIH
4
/N
2
0/AR-REAKTIONSSYSTEMEN
.
.
94
5.5
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
REAKTION
SI+O
2
.
97
5.5.1
MESSUNGEN
VON
SI-ATOMEN
IN
SIH
4
/O
2
/AR-REAKTIONSSYSTEMEN
.
98
5.5.2
MESSUNGEN
VON
O-ATOMEN
IN
SIH
4
/0
2
/AR-REAKTIONSSYSTEMEN
.
.
.
100
5.6
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
REAKTION
SI+H
2
.
107
5.6.1
MESSUNGEN
VON
SIH-RADIKALEN
IN
SIH
4
/H
2
/AR-REAKTIONSSYSTEMEN
.
108
5.6.2
MESSUNGEN
VON
SI-ATOMEN
IN
SIH
4
/H
2
/AR-REAKTIONSSYSTEMEN
.
.
.
112
5.7
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
REAKTION
SI+N
2
.
113
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
116
A
REAKTIONSMECHANISMUS
131
B
RRKM
MODELL
133 |
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