Ein neuer methodischer Ansatz zur Untersuchung des Wachstums metallischer Filme: Kombination von Austrittsarbeitsmessungen und Rastertunnelmikroskopie
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1995
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INHALTSVERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
.
1
2
DER
AUFBAU
DER
VAKUUMAPPARATUR
.
3
2.1
GRUNDGEDANKEN
ZUR
KONZEPTION
.
3
2.1.1
KOMBINATION
VON
KELVINSONDE
UND
STM
.
3
2.1.2
AES,
TDS,
A I
UND
STM:
PROBENTRANSFER
UND
TEMPERATURKONTROLLE
.
5
2.1.3
DIE
NOTWENDIGKEIT
EINER
WIRKUNGSVOLLEN
SCHWINGUNGSDAEMPFUNG
.
7
2.2
MECHANISCHER
AUFBAU
DER
GESAMT-UHV-APPARATUR
.
8
3 DAS
RASTERTUNNELMIKROSKOP
.
15
3.1
FUNKTIONSPRINZIP
.
15
3.2
MECHANISCHER
AUFBAU
DES
STM
.
19
3.2.1
DIE
TUNNELEINHEIT
.
19
3.2.2
DER
PROBENHALTER
.
24
3.3
ELEKTRONISCHER
AUFBAU
DES
STM
.
27
3.3.1
BLOCKSCHALTBILD
.
27
3.3.2
DIE
VERTIKAL-STEUERUNG
DER
SPITZE
.
29
3.4
DIE
REGELUNG
.
31
3.5
DIE
STM-SOFTWARE
.
37
3.5.1
BILDAUFNAHME
UND
STM-STEUERUNG
.
37
3.5.2
BILDVERARBEITUNG
.
43
3.6
TESTMESSUNGEN
AN
LUFT
UND
ZUSAMMENFASSENDE
SPEZIFIKATION
DES
STM
.
45
3.6.1
HOPG
.
46
3.6.2
GOLDSCHICHTEN
AUF
GLAS
.
48
3.6.3
ZUSAMMENFASSENDE
SPEZIFIKATION
DES
MIKROSKOPS
.
52
4
DIE
KELVINSONDE
.
53
4.1
DEFINITION
DER
AUSTRITTSARBEIT
.
53
4.1.1
AUSTRITTSARBEIT
UND
OBERFLAECHENSTRUKTUR
.
57
4.1.2
ADSORBATINDUZIERTE
AUSTRITTSARBEITSAENDERUNGEN
.
58
4.2
MESSUNG
DER
AUSTRITTSARBEIT
MIT
EINER
KELVINSONDE
.
60
4.2.1
FUNKTIONSPRINZIP
.
60
4.2.2
VERTIKAL
UND
LATERAL
SCHWINGENDE
KELVINSONDE
.
63
4.3
MECHANISCHER
AUFBAU
DER
KELVINSONDE
.
68
4.3.1
DAS
KONZEPT
DER
NEUEN
SONDE
.
68
INHALTSVERZEICHNIS
4.3.2
HOMOGENITAET
DES
WACHSENDEN
FILMS
.
71
4.4
AUFBAU
DER
KELVINELEKTRONIK
.
78
4.4.1
BLOCKSCHALTBILD
DER
ELEKTRONIK
.
78
4.4.2
SELBSTSTABILISIERENDER
ANTRIEB
.
79
4.4.3
AUTOMATISCHE
DETEKTION
DER
AUSTRITTSARBEITSAENDERUNG
.
80
4.5
TESTMESSUNGEN
UND
VERGLEICH
MIT
FRUEHEREN
RESULTATEN
.
83
4.6
ZUSAMMENFASSENDE
SPEZIFIKATION
DER
NEUEN
KELVINSONDE
.
86
5
ZUM
WACHSTUM
DUENNER
FILME
.
87
5.1
THERMODYNAMIK
.
87
5.2
KINETIK
.
'
.
90
5.2.1
HOMOGENE
KEIMBILDUNG
.
91
5.2.2
HETEROGENE
KEIMBILDUNG
.
93
5.2.3
SPEZIELLE
KINETIK
.
94
5.3
REKONSTRUKTION,
VERSETZUNGSNETZWERK
UND
OBERFLAECHENLEGIERUNG
.
98
5.4
WARUM
UNTERSUCHUNGEN
AM
SYSTEM
CU/PT(L
11)?
.
101
6
UNTERSUCHUNGEN
ZUM
WACHSTUM
VON
CU
AUF
EINER
PT(LLL)-OBERFLAECHE
.
104
6.1
PROBENPRAEPARATION
.
104
6.2
VORAUSGEGANGENE
UNTERSUCHUNGEN
ZU
CU/PT(L
11)
.
106
6.3
DAS
WACHSTUM
VON
CUAUFPT(LLL)FUER0
CU
1ML
.
109
6.4
DAS
WACHSTUM
VON
CU
AUF
PT(L
11)
FUER
1ML
G
CU
2ML
.
117
6.5
DAS
WACHSTUM
VON
CU
AUF
PT(L
11)
FUER
0
CU
2ML
.
128
6.6GETEMPERTECU-FILMEAUFPT(LLL)
.
140
7
ZUSAMMENFASSUNG
.
149
LITERATURVERZEICHNIS
.
152
ANHANG
.
I
1
BENUTZERSCHNITTSTELLE
DER
STM-SOFTWARE
.
I
2
DETAILS
ZUR
STM-SOFTWARE
.
XV |
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