Aspekte der Laser-Festkörper-Wechselwirkung und deren Anwendung in der Massenspektrometrie:
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| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Aachen
Shaker
1996
|
| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Berichte aus der Halbleitertechnik
|
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| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1996 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
WISSENSCHAFTLICH-TECHNISCHER
KONTEXT
5
2.1
WECHSELWIRKUNG
VON
LASERSTRAHLUNG
MIT
MATERIE
.
5
2.1.1
ABSORPTION
DER
LASERSTRAHLUNG
.
5
2.1.2
ABSORPTION
IN
NICHTMETALLISCHEN
MATERIALIEN
.
7
2.1.3
ABSORPTION
IN
METALLEN
.
9
2.1.4
EMISSIONSPROZESSE
.
10
2.1.5
PHOTOIONISATION
.
17
2.2
MASSENSPEKTROMETRIE
.
19
2.2.1
LONENBASIERTE
ANALYSESYSTEME
.
19
2.2.2
LASERGESTUETZTE
MASSENANALYTIK
.
20
2.2.3
DAS
POTENTIAL
LASERGESTUETZTER
ANALYTIK
.
21
3
THEORETISCHE
UND
EXPERIMENTELLE
METHODEN
23
3.1
MODELLRECHNUNGEN
.
23
3.1.1
THERMISCHE
DESORPTION
.
23
3.1.2
NICHT-THERMISCHE
DESORPTION
.
25
3.2
DAS
PS-LDMS
SYSTEM
.
26
3.2.1
DAS
LASERSYSTEM
.
27
3.2.2
DER
OPTISCHE
AUFBAU
.
28
3.2.3
VERZOEGERUNG
DES
NACHIONISATIONSSTRAHLS
.
32
3.2.4
DIE
UHV-ANLAGEN
.
34
3.2.5
LONENSEPARATION
.
35
3.2.6
TEILCHENDETEKTION
.
38
3.2.7
SIGNALREGISTRIERUNG
UND
-VERARBEITUNG
.
40
3.3
QUANTIFIZIERUNG
.
43
3.3.1
LONISATIONSWAHRSCHEINLICHKEIT
.
44
3.3.2
NEUTRALTEILCHENVERTEILUNG
.
46
4
ERGEBNISSE
DER
UNTERSUCHUNGEN
51
4.1
OBERFLAECHENTEMPERATUR
.
51
4.1.1
WECHSELWIRKUNG
ZWISCHEN
DEN
DESORBATEN
.
51
4.1.2
NACHWEIS
VON
MOLEKUELEN
.
55
4.2
METALLE
.
57
4.3
HALBLEITER
.
63
4.3.1
GAAS
.
63
4.3.2
INP
.
67
4.3.3
SILIZIUM
.
69
4.4
MONTE
CARLO
SIMULATIONEN
UND
TIEFENAUFLOESUNG
.
72
4.5
DISKUSSION
.
80
5
ANWENDUNGEN
DER
PS-LDMS
89
5.1
SILIZIUMTECHNOLOGIE
.
89
5.2
VERSCHIEDENES
.
95
6
WEITERENTWICKLUNG
DER
PS-LDMS
103
6.1
ANFORDERUNGEN
AN
DAS
LASERSYSTEM
.
103
6.2
WEITERE
TECHNISCHE
ANFORDERUNGEN
.
105
7
ZUSAMMENFASSUNG
107
8
LITERATUR,
ANMERKUNGEN
111
ANHANG
A.L
MATERIALPARAMETER
.
117
A.2
WAERMELEITUNG
.
118
A.3
LISTE
VERWENDETER
SYMBOLE
.
120
A.4
LISTE
VERWENDETER
ABKUERZUNGEN
.
122
A.5
LISTE
VERWENDETER
ELEMENTSYMBOLE
.
123
A.6
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
.
124
A.7
TABELLENVERZEICHNIS
.
127 |
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