Zur Bedeutung des atomaren Wasserstoffs in der Niederdruck-Diamantsynthese:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Jülich
Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibl.
1995
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| Schriftenreihe: | Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich
3154 |
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I
INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
.
1
2.
DIAMANTABSCHEIDUNG
MIT
DEM
HEISSDRAHTVERFAHREN
.
5
2.1
APPARATUR
ZUR
DIAMANTABSCHEIDUNG
.
5
2.2
PROZESSSTEUERUNG
.
7
2.3
QUALITAET
DER
ABGESCHIEDENEN
DIAMANTSCHICHTEN
.
10
2.3.1
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
.
.
.
.
.
11
2.3.2
RAMANSPEKTROSKOPIE
.
22
2.3.3
ZUSAMMENFASSUNG
DER
DIAMANTABSCHEIDUNG
.
26
2.4
WASSERSTOFF
IN
DEN
DEPONIERTEN
DIAMANTSCHICHTEN
.
26
2.4.1
BESTIMMUNG
DES
WASSERSTOFFGEHALTS
.
27
2.4.2
TIEFENPROFIL
DES
WASSERSTOFFS
.
27
2.4.3
RAEUMLICHE
VERTEILUNG
DES
WASSERSTOFFS
.
28
3.
DER
ATOMARE
WASSERSTOFF
IN
DER
GASPHASE
.
35
3.1
MODELLIERUNG
DER
GEOMETRIE
VON
FILAMENT
UND
SUBSTRAT
.
36
3.2
EINFLUSS
DER
FILAMENTTEMPERATUR
AUF
DIE
GASPHASE
.
39
3.3
TRANSPORTPHAENOMENE
DER
GASPHASE
.
41
3.3.1
LEISTUNGSBILANZ
DES
FILAMENTS
.
42
3.3.2
WAERMETRANSPORT
ZUM
SUBSTRAT
.
43
3.3.3
AKTIVIERUNG
VON
KOHLENWASSERSTOFFEN
.
.
45
4.
MOLEKULARSTRAHLEXPERIMENTE
MIT
ATOMAREM
WASSERSTOFF
.
47
4.1
VERSUCHSAUFBAU
DES
MOLEKULARSTRAHLEXPERIMENTS
.
48
4.2
AES-ANALYSE
DER
GRAPHITISIERUNG
.
50
4.2.1
AUGERELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
AN
KOHLENSTOFF
.
50
4.2.2
ANALYSE
UNTERSCHIEDLICHER
KOHLENSTOFFINATERIALIEN
.
53
4.2.3
ANALYSE
DER
GRAPHITISIERTEN
DIAMANTSCHICHTEN
.
56
N
4.3
RAMANSPEKTROSKOPIE
DER
GRAPHITISIERUNG
.
59
4.3.1
ANALYSE
DER
SPEKTREN
UNTERSCHIEDLICHER
KOHLENSTOFFINATERIALIEN
.
60
4.3.2
CHARAKTERISIERUNG
DES
GRAPHITISCHEN
MATERIALS
.
62
4.3.3
QUANTIFIZIERUNG
DER
GRAPHITISIERUNG
.
64
4.3.4
ERGEBNISSE
DER
RAMANSPEKTROSKOPIE
.
66
4.4
MIKROSKOPIE
DER
GRAPHITISIERUNG
.
66
4.4.1
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
67
4.4.2
HOCHAUFLOESENDE
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
.
71
4.5
AETZWIRKUNG
VON
ATOMAREM
WASSERSTOFF
.
.
74
4.6
ATOMISTIK
DER
GRAPHITISIERUNG
.
77
4.6.1
TEMPERATURVERHALTEN
DER
GRAPHITISIERUNG
.
77
4.6.2
ABHAENGIGKEIT
DER
GRAPHITISIERUNG
VON
DER
WASSERSTOFFFLUSSDICHTE
.
80
4.6.3
MODELL
EINES
REAKTIONSMECHANISMUS
ZUR
GRAPHITISIERUNG
.
.
81
5.
GRAPHITISIERUNG
VON
DIAMANT
UNTER
CVD-BEDINGUNGEN
.
87
6.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
91 |
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