Holdings: Elektron-Zyklotron-Resonanz Mikrowellen-Ionenquelle hoher Leistung zur Mikrostrukturierung

Elektron-Zyklotron-Resonanz Mikrowellen-Ionenquelle hoher Leistung zur Mikrostrukturierung: Schichtdeposition und Diagnostik

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Main Author:	Papenbreer, Rudolf L. (Author)
Format:	Book
Language:	German
Published:	1995
Subjects:	Ion Mikrowelle Integrierte Schaltung Hochfrequenzionenquelle Keramik Plasma Metall Ätzen Hochschulschrift
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