Verfügbarkeit: Elektron-Zyklotron-Resonanz Mikrowellen-Ionenquelle hoher Leistung zur Mikrostrukturierung

Elektron-Zyklotron-Resonanz Mikrowellen-Ionenquelle hoher Leistung zur Mikrostrukturierung: Schichtdeposition und Diagnostik

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Papenbreer, Rudolf L. (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	1995
Schlagworte:	Ion Mikrowelle Integrierte Schaltung Hochfrequenzionenquelle Keramik Plasma Metall Ätzen Hochschulschrift
Beschreibung:	Wuppertal, Univ.-Gesamthochsch., Diss., 1995
Beschreibung:	XIV, 132 S. Ill., graph. Darst.

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