Quantitative Mikro-Meßtechnik mit einem Lateral-Shearing-Interferometer:
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| Published: |
Berlin
Techn. Univ., Optisches Inst., AG Techn. Optik
1995
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31 |
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INHALT
1)
EINLEITUNG
1.1
MOTIVATION
UND
AUFGABENSTELLUNG
5
1.2
ZUR
GESCHICHTE
DER
SHEARING
INTERFEROMETRIE
10
1.2.0
EINLEITUNG
10
1.2.1
GERAETE
-
ENTWICKLUNG
11
1.2.2
AUSWERTEVERFAHREN
14
21
THEORIE
2.0
EINLEITUNG
18
2.1
ZWEISTRAHLINTERFEROMETRIE
18
2.1.1
LATERAL
SHEARING
INTERFEROMETRIE
21
2.2
ABBILDUNGSEIGENSCHAFTEN
OPTISCHER
SYSTEME
27
2.2.1
PUPILLENFUNKTION
UND
WELLENABERRATION
27
2.2.2
ZERNIKE
POLYNOME
31
2.2.3
ZERNIKE
POLYNOME
FUER
DIE
SHEARING
INTERFEROMETRIE
34
2.3
SHEAR
UNTER
45
37
2.3.1
DISKUSSION
ANDERER
VERFAHREN
40
2.3.2
NEUES
SHEARING
PRINZIP
41
3)
AUSWERTEVERFAHREN
3.0
EINLEITUNG
46
3.1
OPTIMIERUNG
47
3.2
OPTIMIERUNG
FUER
DIE
INTERFEROGRAMMAUSWERTUNG
56
3.2.1
DATENREDUKTION
UND
STUETZSTELLENAUSWAHL
57
3.2.2
STUETZSTELLEN
UND
KOEFFIZIENTEN
62
3.2.3
PROGRAMME
ZUR
AUSWERTUNG
65
3.3
TEST
DURCH
SIMULATION
66
3.3.1
BEWERTUNG
DES
AUSWERTEVERFAHRENS
74
3.4.DATENAUFBEREITUNG
75
3.4.1
NORMIERUNG
75
3.4.2
RAUSCHUNTERDRUECKUNG
79
3.5.
AUSWERTUNG
VON
MESSDATEN
87
3.5.1
GENAUIGKEIT
SSG
4)
MESSAUFBAU
UND
ERPROBUNG
4.0
EINLEITUNG
GI
4.1
BELEUCHTUNG
UND
TESTOBJEKT
91
4.2
PRUEFLINGSHALTERUNG
97
4.2.1
FUEHRUNGEN
IN
DER
BETEUCHTUNGS
/
PRUEFLINGSHALTERUNG
99
4.3
DAS
SHEARING
INTERFEROMETER
101
4.3.1
KOMPONENTEN
UND
FUNKTION
101
4.3.2
JUSTIEREN
DES
INTERFEROMETERS
109
4.4
DETEKTION
111
4.4.1
HILFSLINSE
111
4.4.2
CCD
KAMERA
112
4.4.3
SSILDVERARBEITUNG
113
4.5
DER
MESSVORGANG
115
4.5.1
JUTIEREN
DES
PRUEFLINGS
115
4.5.2
JUSTIERUNG
VON
PRUEFLING
UND
INTERFEROMETER
ZUEINANDER
118
4.5.3
AUFNAHME
VON
INTERFEROGRAMMEN
119
51
MESSUNGEN
UND
INTERPRETATION
5.0
EINLEITUNG
123
5.1
PRUEFLINGE
UND
MESSPROGRAMM
123
5.2
QUALITAETSKRITERIEN
125
5.3
PUNKTBILDER
149
5.4
SHEARING
-
UND
TWYMAN
-
GREEN
INTERFEROMETER
151
6)
ZUSAMMENFASSUNG
153
ANHANG
A1:
VERGLEICH
VON
SHEARING
INTERFEROGRAMMEN
FUER
SHEAR
UNTER
45
MIT
MICHELSON
/
FIZEAU
INTERFEROGRAMMEN
156
7)
LITERATUR
161
4 |
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