Quantitative Mikro-Meßtechnik mit einem Lateral-Shearing-Interferometer:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
Techn. Univ., Optisches Inst., AG Techn. Optik
1995
|
| Schriftenreihe: | Berichte der Technischen Optik
31 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 167 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3798316511 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010676708 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19961014 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 960322s1995 ad|| m||| 00||| gerod | ||
| 016 | 7 | |a 947219277 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3798316511 |9 3-7983-1651-1 | ||
| 035 | |a (OCoLC)75687827 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010676708 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-91G |a DE-29T |a DE-634 |a DE-83 |a DE-11 | ||
| 084 | |a ZQ 3850 |0 (DE-625)158084: |2 rvk | ||
| 084 | |a PHY 391d |2 stub | ||
| 084 | |a MSR 415d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Bäumer, Stefan |d 1963- |e Verfasser |0 (DE-588)114342830 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Quantitative Mikro-Meßtechnik mit einem Lateral-Shearing-Interferometer |c Stefan Bäumer |
| 264 | 1 | |a Berlin |b Techn. Univ., Optisches Inst., AG Techn. Optik |c 1995 | |
| 300 | |a 167 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Berichte der Technischen Optik |v 31 | |
| 502 | |a Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1995 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Shearing-Interferometrie |0 (DE-588)4294379-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Shearing-Interferometrie |0 (DE-588)4294379-6 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Berichte der Technischen Optik |v 31 |w (DE-604)BV010676695 |9 31 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007125279&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007125279 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807594350503264256 |
|---|---|
| adam_text |
INHALT
1)
EINLEITUNG
1.1
MOTIVATION
UND
AUFGABENSTELLUNG
5
1.2
ZUR
GESCHICHTE
DER
SHEARING
INTERFEROMETRIE
10
1.2.0
EINLEITUNG
10
1.2.1
GERAETE
-
ENTWICKLUNG
11
1.2.2
AUSWERTEVERFAHREN
14
21
THEORIE
2.0
EINLEITUNG
18
2.1
ZWEISTRAHLINTERFEROMETRIE
18
2.1.1
LATERAL
SHEARING
INTERFEROMETRIE
21
2.2
ABBILDUNGSEIGENSCHAFTEN
OPTISCHER
SYSTEME
27
2.2.1
PUPILLENFUNKTION
UND
WELLENABERRATION
27
2.2.2
ZERNIKE
POLYNOME
31
2.2.3
ZERNIKE
POLYNOME
FUER
DIE
SHEARING
INTERFEROMETRIE
34
2.3
SHEAR
UNTER
45
37
2.3.1
DISKUSSION
ANDERER
VERFAHREN
40
2.3.2
NEUES
SHEARING
PRINZIP
41
3)
AUSWERTEVERFAHREN
3.0
EINLEITUNG
46
3.1
OPTIMIERUNG
47
3.2
OPTIMIERUNG
FUER
DIE
INTERFEROGRAMMAUSWERTUNG
56
3.2.1
DATENREDUKTION
UND
STUETZSTELLENAUSWAHL
57
3.2.2
STUETZSTELLEN
UND
KOEFFIZIENTEN
62
3.2.3
PROGRAMME
ZUR
AUSWERTUNG
65
3.3
TEST
DURCH
SIMULATION
66
3.3.1
BEWERTUNG
DES
AUSWERTEVERFAHRENS
74
3.4.DATENAUFBEREITUNG
75
3.4.1
NORMIERUNG
75
3.4.2
RAUSCHUNTERDRUECKUNG
79
3.5.
AUSWERTUNG
VON
MESSDATEN
87
3.5.1
GENAUIGKEIT
SSG
4)
MESSAUFBAU
UND
ERPROBUNG
4.0
EINLEITUNG
GI
4.1
BELEUCHTUNG
UND
TESTOBJEKT
91
4.2
PRUEFLINGSHALTERUNG
97
4.2.1
FUEHRUNGEN
IN
DER
BETEUCHTUNGS
/
PRUEFLINGSHALTERUNG
99
4.3
DAS
SHEARING
INTERFEROMETER
101
4.3.1
KOMPONENTEN
UND
FUNKTION
101
4.3.2
JUSTIEREN
DES
INTERFEROMETERS
109
4.4
DETEKTION
111
4.4.1
HILFSLINSE
111
4.4.2
CCD
KAMERA
112
4.4.3
SSILDVERARBEITUNG
113
4.5
DER
MESSVORGANG
115
4.5.1
JUTIEREN
DES
PRUEFLINGS
115
4.5.2
JUSTIERUNG
VON
PRUEFLING
UND
INTERFEROMETER
ZUEINANDER
118
4.5.3
AUFNAHME
VON
INTERFEROGRAMMEN
119
51
MESSUNGEN
UND
INTERPRETATION
5.0
EINLEITUNG
123
5.1
PRUEFLINGE
UND
MESSPROGRAMM
123
5.2
QUALITAETSKRITERIEN
125
5.3
PUNKTBILDER
149
5.4
SHEARING
-
UND
TWYMAN
-
GREEN
INTERFEROMETER
151
6)
ZUSAMMENFASSUNG
153
ANHANG
A1:
VERGLEICH
VON
SHEARING
INTERFEROGRAMMEN
FUER
SHEAR
UNTER
45
MIT
MICHELSON
/
FIZEAU
INTERFEROGRAMMEN
156
7)
LITERATUR
161
4 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Bäumer, Stefan 1963- |
| author_GND | (DE-588)114342830 |
| author_facet | Bäumer, Stefan 1963- |
| author_role | aut |
| author_sort | Bäumer, Stefan 1963- |
| author_variant | s b sb |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010676708 |
| classification_rvk | ZQ 3850 |
| classification_tum | PHY 391d MSR 415d |
| ctrlnum | (OCoLC)75687827 (DE-599)BVBBV010676708 |
| discipline | Physik Mess-/Steuerungs-/Regelungs-/Automatisierungstechnik Mess-/Steuerungs-/Regelungs-/Automatisierungstechnik / Mechatronik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV010676708</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19961014</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">960322s1995 ad|| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">947219277</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3798316511</subfield><subfield code="9">3-7983-1651-1</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75687827</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010676708</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-91G</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZQ 3850</subfield><subfield code="0">(DE-625)158084:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 391d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">MSR 415d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Bäumer, Stefan</subfield><subfield code="d">1963-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)114342830</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Quantitative Mikro-Meßtechnik mit einem Lateral-Shearing-Interferometer</subfield><subfield code="c">Stefan Bäumer</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Berlin</subfield><subfield code="b">Techn. Univ., Optisches Inst., AG Techn. Optik</subfield><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">167 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Berichte der Technischen Optik</subfield><subfield code="v">31</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1995</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Shearing-Interferometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4294379-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Shearing-Interferometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4294379-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Berichte der Technischen Optik</subfield><subfield code="v">31</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV010676695</subfield><subfield code="9">31</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007125279&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007125279</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010676708 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-17T00:58:24Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3798316511 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007125279 |
| oclc_num | 75687827 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-91G DE-BY-TUM DE-29T DE-634 DE-83 DE-11 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-91G DE-BY-TUM DE-29T DE-634 DE-83 DE-11 |
| physical | 167 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1995 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| publisher | Techn. Univ., Optisches Inst., AG Techn. Optik |
| record_format | marc |
| series | Berichte der Technischen Optik |
| series2 | Berichte der Technischen Optik |
| spelling | Bäumer, Stefan 1963- Verfasser (DE-588)114342830 aut Quantitative Mikro-Meßtechnik mit einem Lateral-Shearing-Interferometer Stefan Bäumer Berlin Techn. Univ., Optisches Inst., AG Techn. Optik 1995 167 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte der Technischen Optik 31 Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1995 Shearing-Interferometrie (DE-588)4294379-6 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Shearing-Interferometrie (DE-588)4294379-6 s DE-604 Berichte der Technischen Optik 31 (DE-604)BV010676695 31 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007125279&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Bäumer, Stefan 1963- Quantitative Mikro-Meßtechnik mit einem Lateral-Shearing-Interferometer Berichte der Technischen Optik Shearing-Interferometrie (DE-588)4294379-6 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4294379-6 (DE-588)4113937-9 |
| title | Quantitative Mikro-Meßtechnik mit einem Lateral-Shearing-Interferometer |
| title_auth | Quantitative Mikro-Meßtechnik mit einem Lateral-Shearing-Interferometer |
| title_exact_search | Quantitative Mikro-Meßtechnik mit einem Lateral-Shearing-Interferometer |
| title_full | Quantitative Mikro-Meßtechnik mit einem Lateral-Shearing-Interferometer Stefan Bäumer |
| title_fullStr | Quantitative Mikro-Meßtechnik mit einem Lateral-Shearing-Interferometer Stefan Bäumer |
| title_full_unstemmed | Quantitative Mikro-Meßtechnik mit einem Lateral-Shearing-Interferometer Stefan Bäumer |
| title_short | Quantitative Mikro-Meßtechnik mit einem Lateral-Shearing-Interferometer |
| title_sort | quantitative mikro meßtechnik mit einem lateral shearing interferometer |
| topic | Shearing-Interferometrie (DE-588)4294379-6 gnd |
| topic_facet | Shearing-Interferometrie Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007125279&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV010676695 |
| work_keys_str_mv | AT baumerstefan quantitativemikromeßtechnikmiteinemlateralshearinginterferometer |