Niederdruckplasma-Synthese dünner B-C-N-Schichten und deren Charakterisierung:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Stuttgart
Univ.
1995
|
| Schriftenreihe: | Pulvermetallurgisches Laboratorium <Stuttgart>: Bericht
5 |
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1
INHALTSVERZEICHNIS
1.
ZUSAMMENFASSUNG
.
1
2.
EINLEITUNG
.
4
3.
LITERATURUEBERSICHT
.
7
3.1.
DAS
TERNAERE
SYSTEM
B-C-N
.
7
3.1.1.
DAS
ELEMENT
KOHLENSTOFF:
DIE
KOHLENSTOFFMODIFIKATIONEN
.
7
3.1.1.1
GRAPHIT
.
7
3.1.1.2
TURBOSTRATISCHER
KOHLENSTOFF
.
9
3.1.1.3
DIAMANT
.
10
3.1.2.
BOMITRID:
DIE
BOMITRID-MODIFIKATIONEN
.
14
3.1.2.1
HEXAGONALES
BOMITRID:
H-BN
.
15
3.1.2.2
TURBOSTRATISCHES
BOMITRID
.
16
3.1.2.3
KUBISCHES
BOMITRID:
C-BN
.
16
3.1.3.
DIE
BORCARBIDNITRIDE
.
18
3.2.
HERSTELLUNGSMETHODEN
VON
DUENNEN
SCHICHTEN
.
20
3.3.
DUENNE
SCHICHTEN
MITTELS
PACVD
IM
TERNAEREN
B-C-N
SYSTEM
.
22
3.3.1.
KOHLENSTOFFSCHICHTEN
.
22
3.3.1.1
DIAMANTSCHICHTEN
.
22
3.3.1.2
DIAMANTAEHNLICHE
SCHICHTEN
.
26
3.3.2.
BOMITRIDSCHICHTEN
.
29
3.3.3.
BCN-SCHICHTEN
.
32
4.
EXPERIMENTELLE
DURCHFUEHRUNG
.
35
4.1.
HERSTELLUNG
DER
SCHICHTEN
.
35
4.1.1.
DAS
PRINZIP
.
35
4.1.2.
DIE
APPARATUR
.
35
4.1.3.
DIE
AUSGANGSSUBSTANZ
.
38
4.2.
PLASMAERZEUGUNG
.
39
4.3.
CHARAKTERISIERUNG
DES
PLASMAS
MITTELS
DER
EMISSIONSSPEKTROSKOPIE
.
41
4.4.
INFRAROTSPEKTROSKOPIE
.
42
4.5.
RAMANSPEKTROSKOPIE
.
43
4.6.
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
43
4.6.1.
KONVENTIONELLE
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
(CTEM)
.
44
4.6.2.
ANALYTISCHE
ELEKTRONENMIKROSKOPIE
(ATEM)
.
45
4.6.2.1.
ELEKTRONEN-ENERGIE-VERLUST-SPEKTROSKOPIE
(EELS)
.
45
-
II
-
4.6.2.2.
ELEMENTVERTEILUNGSANALYSE
DURCH
ELEKTRONEN-
SPEKTROSKOPISCHE
ABBILDUNG
(ESI)
.
48
4.6.3.
HOCHAUFLOESUNGS-TRANSMISSIONS-ELEKTRONENMIKROSKOPIE
(HRTEM).48
4.7.
PHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
(ESCA)
.
48
4.8.
AUGERSPEKTROSKOPIE
.
49
4.9.
BESTIMMUNG
DER
HAERTE
.
50
5.
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
51
5.1.
EINFLUSS DER
SUBSTRATTEMPERATUR
AUF
DIE
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
.
51
5.1.1.
EINFLUSS
AUF
DIE
ELEMENTZUSAMMENSETZUNG
DER
SCHICHT
.
52
5.1.2.
EINFLUSS
AUF
DIE PHASENZUSAMMENSETZUNG
.
54
5.1.2.1.
INFRAROT-SPEKTROSKOPIE
.
54
5.1.2.2.
RAMAN-SPEKTROSKOPIE.
59
5.1.2.3.
TEM-UNTERSUCHUNGEN
.
64
5.1.2.3.1.
CHARAKTERISIERUNG
DURCH
HELLFELDAUFNAHMEN
UND
ELEKTRONENBEUGUNG
.
64
5.1.2.3.2.
CHARAKTERISIERUNG
DURCH
ELEMENTVERTEILUNGS
ANALYSE
(ESI)
.
67
5.1.2.3.3.
CHARAKTERISIERUNG
DURCH
HRTEM
.
71
5.1.2.3.4.
CHARAKTERISIERUNG
DURCH
EELS
.
74
5.1.2.3.5.
RESUEMEE
DER
TEM-UNTERSUCHUNGEN
.
82
5.1.3.
EINFLUSS
AUF
DIE
BINDUNGSENERGIEN
.
83
5.1.4.
EINFLUSS
AUF
DIE
HAERTE
DER
SCHICHTEN
.
89
5.1.5.
EINFLUSS
AUF
DIE
ABSCHEIDERATE
.
90
5.1.6.
RESUEMEE
UEBER
DEN
EINFLUSS
DER
SUBSTRATTEMPERATUR
.
91
5.2.
EINFLUSS
DER
WASSERSTOFFKONZENTRATION
IM
TRAEGERGAS
AUF
DIE
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
.
95
5.2.1.
EINFLUSS
AUF
DIE
ELEMENTZUSAMMENSETZUNG
.
95
5.2.2.
EINFLUSS
AUF
DIE
PHASENZUSAMMENSETZUNG
.
97
5.2.2.I.
INFRAROT-SPEKTROSKOPIE
.
97
5.2.2.2.
RAMAN-SPEKTROSKOPIE
.
100
5.2.2.3
TEM-UNTERSUCHUNGEN
.
102
5.2.2.3.I.
CHARAKTERISIERUNG
DURCH
HELLFELDAUFNAHMEN.
102
S.2.2.3.2.
CHARAKTERISIERUNG
DURCH
EELS
.
104
5.2.2.3.3.
CHARAKTERISIERUNG
DURCH
HRTEM
.
110
5.2.2.3.4.
RESUEMEE
DER
TEM-UNTERSUCHUNGEN
.
111
5.2.3.
EINFLUSS
AUF
DIE
ABSCHEIDERATE
.
112
5.2.4.
EINFLUSS
AUF
DIE
HAERTE
.
113
-
III
-
5.2.5.
EINFLUSS
DER
^-KONZENTRATION
IM
TRAEGERGAS
AUF
DIE
PLASMAZUSAMMENSETZUNG
.
114
5.2.5.I.
REFERENZSPEKTREN
(OHNE
DMAB)
.
114
5.2.5.2.
SPEKTREN
BEI
ANWESENHEIT
VON
DMAB
.
117
5.2.5.3.
RESUEMEE
DER
EMISSIONSSPEKTROSKOPISCHEN-
UNTERSUCHUNGEN
.
122
5.2.6.
RESUEMEE
UEBER
DEN
EINFLUSS
DER
WASSERSTOFFKONZENTRATION
IM
TRAEGERGAS
AUF
DIE
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
.
124
5.3.
EINFLUSS
DER
ABSCHEIDEZEIT
.
126
6.
LITERATURVERZEICHNIS
.
128
7.
ANHANG
.
135
7.1.
ABBILDUNGSVERZEICHNISS
.
135
7.2.
TABELLENVERZEICHNISS
.
138
7.3.
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
.
139 |
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