Thermodynamische Modellierung der Systeme Al-C-N-Si, Al-N-O-Zn und C-O-Si-Zn und PVD-Herstellung piezoelektrischer Schichten aus dem System Al-N-O-Zn:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
FZKA
1995
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte
5625 |
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9
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
UND
PROBLEMSTELLUNG
.
11
2
LITERATURUEBERSICHT
.
15
2.1
KINETISCHE
UND
THERMODYNAMISCHE
MODELLIERUNG
.
15
2.1.1
KINETIK
DES
ABSCHEIDEVORGANGS
.
15
2.1.2
THERMODYNAMIK
DER
STOFFSYSTEME
.
17
2.1.3
ABSCHEIDEDIAGRAMME
.
18
2.1.4
UEBERNOMMENE
THERMODYNAMISCHE
MODELLIERUNGEN
.
20
2.2
MATERIALIEN
MIT
PIEZOELEKTRISCHEM
EFFEKT
.
25
2.2.1
FERROELEKTRIKA
UND
PIEZOELEKTRIKA
.
26
2.2.2
AIN,
SIC
UND
ZNO
ALS
KOMPAKTMATERIALIEN
.
28
2.2.3
AIN,
SIC
UND
ZNO
ALS
DUENNE
SCHICHTEN
.
34
3
METHODEN
.
39
3.1
THERMODYNAMISCHE
MODELLIERUNG
DER
STOFFSYSTEME
.
39
3.1.1
GRUNDZUEGE
DER
MATHEMATISCHEN
BESCHREIBUNG
.
40
3.1.2
VERWENDETE
MODELLE
.
41
3.1.3
ERMITTLUNG
DER
DATENSAETZE
.
42
3.2
SCHICHTHERSTELLUNG
.
44
3.2.1
PVD-BESCHICHTUNGSANLAGE
.
44
3.2.2
AENDERUNGEN
AN
DER
ANLAGE
.
44
3.2.3
SUBSTRATE
UND
PROBENAUFBAU
.
48
3.3
SCHICHTCHARAKTERISIERUNG
.
51
3.3.1
STOECHIOMETRIE
.
51
3.3.2
SCHICHTSTRUKTUR
.
52
3.3.3
ELEKTRISCHER
WIDERSTAND
.
54
3.3.4
PIEZOELEKTRISCHE
LADUNGSKONSTANTE
.
54
3.3.5
HAERTE
UND
ELASTIZITAETSMODUL
.
59
4
ERGEBNISSE
.
61
4.1
THERMODYNAMISCHE
MODELLIERUNG
DER
STOFFSYSTEME
.
61
4.1.1
BINAERE
SYSTEME
MIT
AIN,
SIC
UND
ZNO
.
66
4.1.2
SYSTEME
FUER
DEN
SCHNITT
AIN-SIC
.
70
4.1.3
SYSTEME
FUER
DEN
SCHNITT
AIN-ZNO
.
77
4.1.4
SYSTEME
FUER
DEN
SCHNITT
SIC-ZNO
.
85
10
4.1.5
FOLGERUNGEN
FUER
DIE
SCHICHTHERSTELLUNG
.
92
4.2
PVD-BESCHICHTUNGEN
.
95
4.2.1
ABSCHEIDEPARAMETER
.
95
4.2.2
STOECHIOMETRIE
.
103
4.2.3
SCHICHTSTRUKTUR
.
104
4.2.4
ELEKTRISCHER
WIDERSTAND
.
113
4.2.5
PIEZOELEKTRISCHE
LADUNGSKONSTANTE
.
114
4.2.6
HAERTE
UND
ELASTIZITAETSMODUL
.
116
5
DISKUSSION
UND
AUSBLICK
.
119
6
ZUSAMMENFASSUNG
.
129
A
ANHANG
.
133
A.1
DATENSATZ
DER
THERMODYNAMISCHEN
MODELLIERUNG
.
133
A.2
VERZEICHNISSE
.
149
A.2.1
LITERATUR
.
149
A.2.2
ABKUERZUNGEN
.
170
A.2.3
FORMELZEICHEN
.
171 |
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