Chemisch-thermodynamische Untersuchung des Systems GaAs/B 2 O 3/Gasphase; ein Beitrag zur Prozeßchemie des LEC-Verfahrens:
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| Sprache: | German |
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Aachen
Shaker
1996
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Halbleitertechnik
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| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1996 |
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INHALTSVERZEICHNIS
SEITE
1.
EINLEITUNG
1
2.
REAKTIONEN
UND
CHEMISCHES
GLEICH
GEWICHT
IM
SYSTEM
GAAS-SCHMELZE/
B
2
0
3
-
SCHMELZE
3
3.
EXPERIMENTELLES
10
3.1
OFENANLAGE
10
3.2
ENERGIEVERSORGUNG
DES
OFENS
14
3.3
GASMISCHANLAGE
14
3.4
SUBSTANZEN
16
3.5
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
16
3.6
VORKEHRUNGEN
BEI
MESSUNGEN
AN
GAAS-SCHMELZEN
18
4.
CHEMISCHES
POTENTIAL
(AKTIVITAET)
DES
KOHLENSTOFFS
IN
DER
GALLIUMARSENIDSCHMELZE
21
4.1
GRUNDSAETZLICHES
ZUR
MESSMETHODE
23
4.2
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
23
4.3
ERGEBNISSE
30
4.4
ANWENDUNG
DER
ERGEBNISSE
32
4.5
LITERATUR
37
5.
UNTERSUCHUNGEN
IM
SYSTEM
B
2
O
3
-
SCHMELZE/GASPHASE
40
5.1
LOESLICHKEIT
VON
H
2
O
IN
DER
B
2
O
3
-SCHMELZE
40
5.1.1
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
41
5.1.2
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
43
5.1.3
CHEMISCHES
POTENTIAL
DES
SAUERSTOFFS
IM
SYSTEM
B
2
O
3
-SCHMELZE/WASSERDAMPF
52
5.2
VAKUUMENTWAESSERUNG
VON
B
2
O
3
-SCHMELZEN
58
5.2.1
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
58
5.2.2
ERGEBNISSE
58
5.3
LOESLICHKEIT
DER
KOHLENSTOFFOXIDE
IN
DER
B
2
O
3
-SCHMELZE
62
5.3.1
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
62
5.3.2
VERSUCHSERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
64
5.3.3
THERMOCHEMISCHE
AUSWERTUNG
DER
VERSUCHSERGEBNISSE
74
5.4
LITERATUR
77
6.
ANWENDUNG
DER
ERGEBNISSE
AUS
DEN
KAPITELN
4
UND
5:
ZUR
ENTKOHLUNG
EINER
C-HALTIGEN
ARSENIDSCHMELZE
80
7.
UNTERSUCHUNGEN
IM
SYSTEM
GA
2
O
3
-B
2
O
3
88
7.1
EXPERIMENTELLES
89
7.1.1
UNTERSUCHUNG
DER
GLEICHGEWICHTE
SCHMELZE/KRISTALL
89
7.1.2
UNTERSUCHUNG
DER
ENTMISCHUNG
DER
SCHMELZE
93
7.1.3
UNTERSUCHUNGEN
IM
FESTEN
ZUSTANDSBEREICH
94
7.2
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
96
7.3
LITERATUR
105
8.
UNTERSUCHUNGEN
DER
VERTEILUNGS
GLEICHGEWICHTE
IM
SYSTEM
GA-B
2
O
3
106
8.1
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
106
8.2
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
107
8.3
THERMOCHEMISCHE
AUSWERTUNG
DER
ERGEBNISSE
111
8.4
LITERATUR
114
9.
ENTKOHLUNG
VON
GAAS-SCHMELZEN
114
9.1
EXPERIMENTELLES
117
9.1.1
SUBSTANZEN
UND
PROBENPRAEPARATION
117
9.1.2
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
117
9.1.3
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
119
10.
ZUSAMMENFASSUNG
138
11.
ANHANG
140 |
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