Ein anisotroper Plasmaätzprozess in Silizium für die Mikromechanik:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1995
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 174 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010663152 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19960704 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 960227s1995 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 946656576 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)64529295 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010663152 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-29T |a DE-706 |a DE-634 |a DE-83 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 084 | |a FER 792d |2 stub | ||
| 084 | |a ELT 285d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Hoffmann, Rainer |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Ein anisotroper Plasmaätzprozess in Silizium für die Mikromechanik |c von Rainer Hoffmann |
| 264 | 1 | |c 1995 | |
| 300 | |a 174 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Diss., 1995 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Plasmaätzen |0 (DE-588)4174821-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Siliciumbauelement |0 (DE-588)4181368-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Siliciumbauelement |0 (DE-588)4181368-6 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Plasmaätzen |0 (DE-588)4174821-9 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007117645&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007117645 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807502299755446272 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
L
EINLEITUNG
1
2.
ZIELSTELLUNGEN
3
2.1
STAND
DER
TECHNIK
.
3
2.2
ALTERNATIVE
VERFAHREN
.
6
3.
MSSMSKTZEN
10
3.1
ZUM
BEGRIFF
DES
PLASMAS
.
10
3.2
STOSSPROZESSE
.
13
3.2.1
ZUR
BEWEGLICHKEIT
DER
LADUNGSTRAEGER
.
13
3.2.2
WIRKUNGSQUERSCHNITT
UND
MITTLERE
FREIE
WEGLAENGE
.
14
3.2.3
ELASTISCHE
STOSSPROZESSE
.
15
3.2.4
REAKTIONSRATE
UND
ELEKTRONENENERGIE
-
VERTEILUNGSFUNKTION
.
.
16
3.2.5
INELASTISCHE
STOSSPROZESSE
.
18
3.3
ELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN
DES
HF-PLASMAS
.
25
3.3.1
POTENTIALE
.
25
3.3.2
ELEKTRISCHES
ERSATZSCHALTBILD
.
26
3.4
ENERGIEVERTEILUNG
DER
PROJEKTILE
IM
DUNKELRAUM
.
28
3.4.1
KOLLISIONSFREIER
HF-DUNKELRAUM
.
28
3.4.2
KOLLISIONSBESTIMMTER
HF-DUNKELRAUM
.
29
3.5
AETZMECHANISMEN
.
31
3.5.1
EINTEILUNG
DER
AETZVERFAHREN
.
32
3.5.2
BELADUNGSEFFEKT
.
36
3.5.3
ANISOTROPES
AETZEN
DURCH
SEITENWANDPASSIVIERUNG
.
38
3.6
DER
SF-CBRF
-PROZESS
.
38
O
3
3.6.1
WIRKUNGSWEISE
.
38
3.6.2
AUSWIRKUNGEN
DER
PARAMETER
.
41
3.7
SIMULATION
.
43
4.
PHOTOLITHOGRAPHIE
48
4.1
POSITIVPHOTOLACK
.
48
4.1.1
WIRKUNGSWEISE
.
48
4.1.2
VOR
UND
NACHBEHANDLUNG
.
49
4.1.3
AUSBILDUNG
VON
PHOTOLACKSTRUKTUREN
.
50
4.1.4
DREIEBENEN-PHOTOLACKTECHNIK
.
53
4.2
KONTAKTBELICHTUNG
.
54
5.
ANALYTISCHE
METHODEN
56
S.L
ELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
FUER
DIE
CHEMISCHE
ANALYSE
(ESCA)
.
56
5.1.1
GRUNDLAGEN
.
56
5.1.2
APPARATIVER
AUFBAU
.
58
5.1.2.1
STRAHLUNGSQUELLEN
.
58
S.1.2.2
ELEKTRONENSPEKTROMETER
.
59
5.2
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
(REM)
.
59
5.2.1
APPARATIVER
AUFBAU
.
60
S.2.2
WIRKUNGSWEISE
.
61
5.2.3
ERZEUGUNG
VON
KONTRAST
.
62
5.3
MECHANISCHE
SCHICHTDICKENMESSUNG
.
63
6.
PROZESSCHARAKTERISIERUNG
DES
SF-CBRF-PROZESSES
65
O
3
6.1
WIRKUNGSWEISE
.
65
6.1.1
EINFLUSS
DER
PROZESSPARAMETER
AUF
DAS
PROFIL
.
66
6.1.1.1
PARALLELPLATTENREAKTOR
.
66
6.1.1.1.1
AUFBAU
.
66
6.1.1.1.2
SPEZIFIKATIONEN
.
68
6.1.1.2
QUERSCHNITTUNTERSUCHUNGEN
.
68
6.1.1.3
PROBENPRAEPARATION
.
69
6.1.1.4
STRUKTUREIGENSCHAFTEN
.
70
6.1.2
SIMULATION
.
72
6.1.2.1
UEBERPRUEFUNG
DES
MODELLS
.
72
6.1.2.2
VORHERSAGENDER
CHARAKTER
.
73
6.1.2.3
EINFLUSS
DER
STRUKTURBREITE
.
74
6.1.3
ESCA-UNTERSUCHUNGEN
.
75
6.1.3.1
ESCA-ANLAGE
UND
PROBENPRAEPARATION
.
75
6.1.3.2
ZUSAMMENSETZUNG
DER
PASSIVIERENDEN
SCHICHTEN
.
76
6.2
PROZESSEIGENSCHAFTEN
.
77
6.2.1
AETZRATE
UND
SELEKTIVITAET
.
77
6.2.2
HOMOGENITAET
DER
AETZRATE
.
80
6.2.3
EINSTELLBARKEIT
DER
AETZTIEFE
.
81
6.2.4
RAUHIGKEITEN
.
82
6.3
PHOTOLITHOGRAPHIE
.
83
6.4
EIN
ALTERNATIVER
PLASMAAETZPROZESS
MIT
SF
FE
UND
O
2
.
85
7.
ANWENDUNGEN
86
7.1
GALVANISCHE
ABFORMUNG
EINER
SILIZIUMSTRUKTUR
.
86
7.1.1
GRUNDLAGEN
.
87
7.1.1.1
GALVANISCHE
NICKELABSCHEIDUNG
UND
STROMAUSBEUTE
.
87
7.1.1.2
MECHANISMUS
DER
KATHODISCHEN
METALLABSCHEIDUNG
UND
GRENZSTROMDICHTE
.
89
7.1.1.3
METALLABSCHEIDUNG
AUS
SULFAMATELEKTROLYTEN
.
91
7.1.1.4
IMPULS-GALVANISIERUNG
.
94
7.1.2
GALVANISCHE
ABSCHEIDUNG
AUF
SILIZIUM
.
94
7.1.3
ANISOTROPES
ABSCHEIDEVERFAHREN
.
95
7.1.4
PROZESSEIGENSCHAFTEN
.
96
7.2
LASER-FASER-KOPPLER
.
97
7.2.1
ANFORDERUNGEN
AN
DIE
GEOMETRIE
.
97
7.2.2
PROZESSABLAUF
.
99
7.2.2.1
AETZEN
DES
FASERGRABENS
.
100
7.2.2.2
FIXIERUNG
DER
FASER
.
100
7.2.2.3
AETZEN
DER
LASERFUEHRUNG
.
101
8.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
102
9.
ANHANG
105
AL
VERZEICHNIS
DER
VERWENDETEN
FORMELZEICHEN
.
105
A2
LITERATURVERZEICHNIS
.
109
A3
TABELLEN
.
113
A4
BILDER
.
122 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Hoffmann, Rainer |
| author_facet | Hoffmann, Rainer |
| author_role | aut |
| author_sort | Hoffmann, Rainer |
| author_variant | r h rh |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010663152 |
| classification_tum | FER 792d ELT 285d |
| ctrlnum | (OCoLC)64529295 (DE-599)BVBBV010663152 |
| discipline | Elektrotechnik Fertigungstechnik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV010663152</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19960704</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">960227s1995 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">946656576</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)64529295</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010663152</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 792d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 285d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Hoffmann, Rainer</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Ein anisotroper Plasmaätzprozess in Silizium für die Mikromechanik</subfield><subfield code="c">von Rainer Hoffmann</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">174 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Diss., 1995</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Plasmaätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174821-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumbauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4181368-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Siliciumbauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4181368-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Plasmaätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174821-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007117645&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007117645</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010663152 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-16T00:35:18Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007117645 |
| oclc_num | 64529295 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-706 DE-634 DE-83 DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-706 DE-634 DE-83 DE-11 DE-188 |
| physical | 174 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1995 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| record_format | marc |
| spelling | Hoffmann, Rainer Verfasser aut Ein anisotroper Plasmaätzprozess in Silizium für die Mikromechanik von Rainer Hoffmann 1995 174 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Diss., 1995 Plasmaätzen (DE-588)4174821-9 gnd rswk-swf Siliciumbauelement (DE-588)4181368-6 gnd rswk-swf Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Siliciumbauelement (DE-588)4181368-6 s Mikromechanik (DE-588)4205811-9 s Plasmaätzen (DE-588)4174821-9 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007117645&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Hoffmann, Rainer Ein anisotroper Plasmaätzprozess in Silizium für die Mikromechanik Plasmaätzen (DE-588)4174821-9 gnd Siliciumbauelement (DE-588)4181368-6 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4174821-9 (DE-588)4181368-6 (DE-588)4205811-9 (DE-588)4113937-9 |
| title | Ein anisotroper Plasmaätzprozess in Silizium für die Mikromechanik |
| title_auth | Ein anisotroper Plasmaätzprozess in Silizium für die Mikromechanik |
| title_exact_search | Ein anisotroper Plasmaätzprozess in Silizium für die Mikromechanik |
| title_full | Ein anisotroper Plasmaätzprozess in Silizium für die Mikromechanik von Rainer Hoffmann |
| title_fullStr | Ein anisotroper Plasmaätzprozess in Silizium für die Mikromechanik von Rainer Hoffmann |
| title_full_unstemmed | Ein anisotroper Plasmaätzprozess in Silizium für die Mikromechanik von Rainer Hoffmann |
| title_short | Ein anisotroper Plasmaätzprozess in Silizium für die Mikromechanik |
| title_sort | ein anisotroper plasmaatzprozess in silizium fur die mikromechanik |
| topic | Plasmaätzen (DE-588)4174821-9 gnd Siliciumbauelement (DE-588)4181368-6 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd |
| topic_facet | Plasmaätzen Siliciumbauelement Mikromechanik Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007117645&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT hoffmannrainer einanisotroperplasmaatzprozessinsiliziumfurdiemikromechanik |