Mikroskopische Aspekte beim Wachstum dünner Metallfilme:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1995
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1.
EINLEITUNG
.
1
2.
EXPERIMENTELLES
.
5
2.1
DAS
KONZEPT
DER
VAKUUMAPPARATUR
.
7
2.1.1
KOMBINATION
MIT
SPEKTROSKOPISCHEN
METHODEN
.
7
2.1.2
KOMBINATION
MIT
BEUGENDEN
METHODEN
.
9
2.1.3
"ONLINE-FILM"-ANORDNUNGEN
.
10
2.1.4
TIEFTEMPERATURFAEHIGKEIT
DES
STM
UND
STAENDIGE
TEMPERATURKONTROLLE
.
11
2.1.5
ZUSAMMENFASSUNG
I
-
KONZEPT
UND
ANFORDERUNGEN
AN
DAS
MESSSYSTEM
.
12
2.2
REALISIERUNG
DER
UHV-APPARATUR
UNTER
BERUECKSICHTIGUNG
DER
SPEZIELLEN
ANFORDERUNGEN
.
13
2.2.1
DER
KAMMERGRUNDRISS
.
13
2.2.2
DIE
SPEKTROSKOPIE
UND
LEED/RHEED-EBENE
.
16
2.2.3
STM-POSITION
UND
OPTIONALE
SCHLEUSE
.
19
2.3
DER
AUFBAU
DES
MANIPULATORS
.
24
2.4
DIE
KUEHLUNG
.
30
2.4.1
DER
AUFBAU
DES
KUEHLSYSTEMS
.
31
2.4.1.1
DIE
BESCHREIBUNG
DER
KOMPONENTEN
.
31
2.4.1.2
GEOMETRISCHE
ABMESSUNGEN
DES
KUEHLSYSTEMS
.
33
2.4.1.3
THERMISCHE
EIGENSCHAFTEN
DER
BAUTEILE
.
34
2.4.2
DIE
LEISTUNGSAUFNAHME
DER
KUEHLUNG
.
35
2.4.2.1
EXPERIMENTELL
BESTIMMTE
EIGENSCHAFTEN
DER
KUEHLUNG
.
36
2.4.2.2
DIE
WAEHREND
DER
ANLAUFZEIT
ERFORDERLICHE
KUEHLLEISTUNG
.
36
2.4.2.3
CHARAKTERISTISCHE
ABKUEHLZEIT
VON
PROBE
UND
PROBENHALTER
.
37
2.4.2.4
DER
ENERGIEVERBRAUCH
IM
STATIONAEREN
BETRIEB
.
37
2.4.2.5
DER
THERMISCHE
WIDERSTAND
DER
BEFESTIGUNGSROEHRCHEN
.
38
2.4.2.OE
STRAHLUNGSEINTRAG
AUF
KUEHLLITZE,
TRAGEPLATTE
UND
PROBENHALTER
.
40
2.4.2.7
STRAHLUNGSEINTRAG
AUF
DAS
KUEHLROHR
.
40
2.4.2.8
LEITUNGSVERLUSTE
AM
KUEHLROHR
.
41
2.4.2.9
STRAHLUNGSEINTRAG
AUF
DIE
KAPILLARE
.
42
2.4.2.10
LEITUNGSVERLUSTE
AN
DER
KAPILLARE
.
42
2.4.2.11
STRAHLUNGSEINTRAG
AUF
DEN
WAERMETAUSCHER
.
42
2.4.2.12
LEITUNGSVERLUST
AM
WAERMETAUSCHER
.
42
2.4.2.13
KONVEKTIVER
VERLUST
AN
DER
AUSSENSEITE
DER
DURCHFUEHRUNG
DER
KUEHLROHRE.
43
2.4.2.14
ZUSAMMENFASSUNG
II
-
DIE
LEISTUNGSAUFNAHME
DER
KUEHLUNG
.
44
2.4.3
DIE
FUER
DIE
KUEHLUNG
ZUR
VERFUEGUNG
STEHENDE
LEISTUNG
.
46
2.4.3.1
DAS
KUEHLVERMOEGEN
DER
GASE
HELIUM
UND
STICKSTOFF
.
46
2.4.3.2
DIE
AUSWIRKUNGEN
AUF
DAS
DESIGN
EINES
KUEHLSYSTEMS
.
48
2.4.4
DIE
FRAGE
NACH
DER
ART
DER
GASSTROEMUNG
IM
KUEHLROHRSYSTEM
.
50
2.4.4.1
DIE
ART
DER
STROEMUNG
IM
KUEHLSYSTEM
.
50
2.4.4.2
MECHANISCHE
STOERUNGEN
DES
TUNNELKONTAKTS
BEIM
KUEHLBETRIEB
.
52
2.4.5
DER
WAERMEUEBERGANG
-
DIE
TATSAECHLICH
UEBERTRAGBARE
LEISTUNG
.
54
2.4.5.1
DIE
WAERMEUEBERGANGSKOEFFIZIENDEN
UND
DER
WAERMEUEBERTRAG
.
54
2.4.5.2
DIE
WAEHREND
DER
ANLAUFPHASE
ZUR
VERFUEGUNG
STEHENDE
KUEHLLEISTUNG
.
57
2.4.5.3
DIE
MOEGLICHKEIT,
IM
DAUERBETRIEB
MIT
KALTEM
GAS
ZU
KUEHLEN
.
57
2.4.6
DER
DRUCKABFALL
IM
ROHRSYSTEM
DER
KUEHLUNG
.
59
2.4.6.1
DER
DRUCKABFALL
BEI
TURBULENTER
UND
LAMINARER
STROEMUNG
.
59
2.4.6.2
AUSWIRKUNGEN
AUF
DIE
STABILITAET
DES
TUNNELKONTAKTS
WAEHREND
DES
KUEHLBETRIEBS
.
65
2.4.7
ZUSAMMENFASSUNG
III
-
WAERMEUEBERTRAG,
STROEMUNG
UND
DRUCKABFALL
.
67
2.5
DAS
RASTERTUNNELMIKROSKOP
.
69
2.5.1
DER
AUFBAU
DES
TUNNELMIKROSKOPS
.
70
2.5.2
THERMISCH
GEEIGNETE
PROBENHALTERUNG
.
74
2.5.3
DIE
MECHANISCHEN
EIGENMODEN
DES
RASTERTUNNELMIKROSKOPS
.
76
2.5.4
DIE
THERMISCHEN
EIGENSCHAFTEN
DES
RASTERTUNNELMIKROSKOPS
.
85
2.5.5
ZUSAMMENFASSUNG
IV
-
DAS
RASTERTUNNELMIKROSKOP
.
96
2.6
REFERENZEN
.
97
3.
DIE
QUASIHEXAGONALE
"-(5X20)"
REKONSTRUKTION
DER
AU(100)
OBERFIAECHE
.
99
3.1
UEBER
DIE
TENDENZ
VON
GOLD,
OBERFLAECHENREKONSTRUKTIONEN
AUSZUBILDEN
.
100
3.2
DIE
MORPHOLOGIE
DER
EINHEITSZELLE
DER
REKONSTRUIERTEN
AU(100)
OBERFLAECHE
.
103
3.2.1
LITERATURUEBERSICHT
.
103
3.2.2
(5X20)-MODELL
UND
NOTATION
.
108
3.2.3
BESTIMMUNG
DER
''~(5X20)
"
-EINHEITSZELLE
DER
REKONSTRUKTION:
VERGLEICH
VON
MODELLEN
UND
STM-AUFNAHMEN
.
114
3.2.4
ZUSAMMENFASSUNG
1
.
125
3.3
DIE
ANISOTROPIE
DER
REKONSTRUIERTEN
AU(100)-0BERFLAECHE
.
126
3.3.1
INSELBILDUNG
UND
-FORM
BEI
DER
HOMOEPITAXIE
AUF
AU(100)
OBERFLAECHE
-
ENERGETISCHE
BETRACHTUNG
DER
REKONSTRUKTION
.
126
3.3.2
MAGISCHE
VIZINALE
FLAECHEN
1
.
129
3.3.3
90
-ROTATIONSDOMAENEN
UND
TERRASSENSTRUKTUR
.
134
3.3.4
ZUSAMMENFASSUNG
II
.
144
3.4
DIE
WECHSELWIRKUNG
DER
HEXAGONALEN
REKONSTRUKTION
AN
PHASENGRENZEN
.
145
3.4.1
DIE
GRENZFLAECHE
ZWISCHEN
DER
OBERSTEN
HEXAGONALEN
SCHICHT
UND
DER
QUADRATISCHEN
UNTERLAGE
.
146
3.4.2
MOEGLICHE
VERZERRUNGEN
DER
HEXAGONALEN
OBERSTEN
LAGE
.
150
3.4.3
AUFTRETEN
LOKALER
VERZERRUNGEN
AN
STUFENKANTEN
VON
INSELN
.
153
3.4.4
PHASENGRENZE
ZWISCHEN
REKONSTRUIERTEN
-
UND
NICHT
REKONSTRUIERTEN
GEBIETEN
.
157
3.4.5
MAGISCHE
VIZINALE
FLAECHEN
II
.
171
3.4.6
SZENARIO
DES
AUFTRETENS
AUSGERICHTETER
UND
VERDREHTER
DOMAENEN
DER
REKONSTRUKTION
.
175
3.4.7
ZUSAMMENFASSUNG
III
UND
AUFLISTUNG
DER
GESAMTEN
ERGEBNISSE
.
179
3.5
REFERENZEN
.
183
4.
QUANTITATIVE
AUSWERTUNG
ZUR
KEIMBILDUNG
UND
WACHSTUM
AM
BEISPIEL
DER
HOMOEPITAXIE
AUF
AU(100)
.
187
4.1
LITERATURUEBERSICHT,
VERSCHIEDENE
THEORIEN
ZUM
KRISTALLWACHSTUM
.
189
4
2.
HOMOGENE
KEIMBILDUNG,
ALLGEMEIN
HEURISTISCHE
EINFUEHRUNG
.
193
4.2.1
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
.
193
4.2.2
PRINZIPIELLE
VORGAENGE
AUF
DER
OBERFLAECHE
.
195
4
2.3
ANALYSE
DER
DATEN
.
199
4.3
SKALENVERHALTEN
NACH
TRADITIONELLEN
RATENGLEICHUNGEN
.200
4.4
VERALLGEMEINERUNG
AUF
ANISOTROPE
DIFFUSION
.
207
4.5
DIE
AUSWERTUNG
DER
ABSOLUTEN
INSELDICHTE
.
211
4.5.1
AUSWERTUNG
DER
FORMELN
FUER
ISOTROPE
UND
ANISOTROPE
DIFFUSION
.
211
4.5.2
VERGLEICH
DER
INSELDICHTE
BEI
1-DIM
-
UND
2-DIM
DIFFUSION
.
218
4.6
DIE
AUSWERTUNG
DER
EXPERIMENTELLEN
DATEN
ZUR
HOMOEPITAXIE
AUF
AU(LOO)
.
221
4
7
ZUSAMMENFASSUNG
.
242
4.8
REFERENZEN
.
244
5.
DIE
ROLLE
DER
(LX2)-"MISSING-ROW"-REKONSTRUKTION
BEI
DER
TIEFTEMPERATUR-HOMOEPITAXIE
VON
AU(110)
.
247
5.1
LITERATURUEBERSICHT,
ODER
"WARUM
IST
DIE
AU(110)-OBERFLAECHE
INTERESSANT?"
.
249
5.2
DIE
STRUKTUR
DER
REKONSTRUIERTEN
AU(110)-OBERFLAECHE
BEI
RAUMTEMPERATUR
UND
IHRE
ABBILDUNG
MIT
DEM
STM
.
257
5.2.1
HARTKUGELMODELLE
DER
REKONSTRUIERTEN
OBERFLAECHE
IM
VERGLEICH
MIT
TUNNELMIKROSKOPISCHEN
ABBILDUNGEN
.
257
5.2.2
ZUSAMMENFASSUNG
1
.
266
5.3
ORDNUNGSPROZESSE
WAEHREND
DES
AUFDAMPFENS:
TIEFTEMPERATURDEPOSITION
AUF
DER
(IX2)-AU(L
10)-OBERFLAECHE
.
267
5.3.1
ZU
ERWARTENDE
KINETISCHE
GROESSEN
AUF
DER
AU(UO)-OBERFLAECHE
.
268
5.3.2
DIE
STRUKTUR
DER
AU(L
10)-OBERFLAECHE
NACH
AUFDAMPFEN
KLEINER
MENGEN
GOLD
BEI
~
130
K
.
272
5.3.3
PLATZWECHSELRATEN
UND
HOPPINGBARRIEREN
.
275
5.3.4
DIE
"CLUSTERVERTEILUNG"
INNERHALB
DER
"MISSING-ROW"-GRAEBEN
NACH
AUFDAMPFEN
VON
0.2
ML
GOLD
BEI
125
K
.286
5.3.5
DIE
STRUKTUR
DER
AU(L
10)-OBERFLAECHE
NACH
AUFDAMPFEN
KLEINER
MENGEN
GOLD
BEI
~
190
K
.
292
5.3.6
VORSCHLAG
FUER
EINEN
MEHRTEILCHENPROZESS,
DER
DIE
[LI0]-REIHEN
DER
REKONSTRUKTION
AUFREISSEN
LAESST
.
295
5.3.7
ZUSAMMENFASSUNG
II
.
303
5.4
ORDNUNGSPROZESSE
NACH
DEM
AUFDAMPFEN:
DIE
RUECKKEHR
DER
OBERFLAECHE
IN
DEN
REKONSTRUIERTEN
ZUSTAND
NACH
AUFDAMPFEN
VON
GOLD
BEI
TIEFEN
TEMPERATUREN
.
305
5.4.1
STRUKTURELLE
GESICHTSPUNKTE
DES
"PHASENWECHSELS"
(1X1)
=
(1X2)
.
306
5.4.2
STM-MESSUNGEN
ZUM
ORDNUNGSVERHALTEN
NACH
DEPOSITION
VON
GOLD
BEI
~
190
K
.
308
5.4.2.1
0.4
ML
.
308
5.4.2.2
0.9
ML
.
317
5.4.2.3
1.5
ML
.
323
5.4.3
LEED-MESSUNGEN
ZUM
ORDNUNGSVERHALTEN
DER
AU(L
10)-FLAECHE
NACH
DEPOSITION
VON
GOLD
BEI
185
K UND
127
K
.
328
5.4.3.1
EXPERIMENTELLES
.
328
5.4.3.2
DEPOSITION
VON
0.5
ML
UND
1.0
ML
GOLD
BEI
185
K
.
332
5.4.3.3
DEPOSITION
VON
0.5
ML
UND
1.0
ML
GOLD
BEI
127
K,
VERGLEICH
MIT
DEN
ERGEBNISSEN
AUS
DER
HELIUM-STREUUNG
.
333
5.4.4
ZUSAMMENFASSUNG
III
UND
AUFLISTUNG
DER
GESAMTEN
ERGEBNISSE
.
339
5.5
REFERENZEN
.
345
6.
RESUEMEE
.347
7.
ANHANG
7.1
ANHANG
KAPITEL
2
A:
DIE
EIGENFREQUENZEN
DES
TUNNELMIKROSKOPS
.
353
7.2
ANHANG
KAPITEL
2
B:
BESTIMMUNG
DER
ENDTEMPERATUR
DES
MIKROSKOPKOPFS
SOWIE
DER
EINSTELLZEIT
R
.365
7.3
ANHANG
KAPITEL
3:
MOIRTE-EFFEKT
BEI
DER
"-5X20
"-REKONSTRUKTION
DER
AU(100)-OBERFLAECHE
.
377
7.4
ANHANG
KAPITEL
4:
BERECHNUNG
DER
ABSOLUTEN
INSELDICHTE
MITTELS
RATENGLEICHUNGEN
IN
DER
ERWEITERUNG
FUER
ANISOTROPE
DIFFUSION
.
383
7.5
ANHANG
KAPITEL
5:
SIMULATION
ZUR
BELEGUNG
DER
"
-MISSING-ROW
"
-REIHEN
MIT
ADATOMEN
UND
DIE
AUSWIRKUNG
DER
MOBILITAET
AUF
DIE
VERTEILUNG
DER
ENTSTEHENDEN
CLUSTER
.389
7.6
ANHANG:
VERWENDETE
BEGRIFFE
UND
ABKUERZUNGEN
.
397 |
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