Abscheidung von Metallverbindungen und Germanium aus metallorganischen Precursoren:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
1995
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | V, 147 S. Ill., graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010653496 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 960313s1995 ad|| m||| 00||| gerod | ||
| 016 | 7 | |a 946963215 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)75667988 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010653496 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-29T |a DE-12 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 100 | 1 | |a Prokop, Jiří |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Abscheidung von Metallverbindungen und Germanium aus metallorganischen Precursoren |c Jiří Prokop |
| 264 | 1 | |c 1995 | |
| 300 | |a V, 147 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a München, Techn. Univ., Diss., 1995 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Germanium |0 (DE-588)4135644-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ausgangsmaterial |0 (DE-588)4143518-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a MOCVD-Verfahren |0 (DE-588)4314628-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Cobaltsilicide |0 (DE-588)4326866-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Metallorganische Verbindungen |0 (DE-588)4038906-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Titannitrid |0 (DE-588)4185564-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Titannitrid |0 (DE-588)4185564-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a MOCVD-Verfahren |0 (DE-588)4314628-4 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Metallorganische Verbindungen |0 (DE-588)4038906-6 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Ausgangsmaterial |0 (DE-588)4143518-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Cobaltsilicide |0 (DE-588)4326866-3 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a MOCVD-Verfahren |0 (DE-588)4314628-4 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a Metallorganische Verbindungen |0 (DE-588)4038906-6 |D s |
| 689 | 1 | 4 | |a Ausgangsmaterial |0 (DE-588)4143518-7 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 689 | 2 | 0 | |a Germanium |0 (DE-588)4135644-5 |D s |
| 689 | 2 | 1 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 2 | 2 | |a MOCVD-Verfahren |0 (DE-588)4314628-4 |D s |
| 689 | 2 | 3 | |a Metallorganische Verbindungen |0 (DE-588)4038906-6 |D s |
| 689 | 2 | 4 | |a Ausgangsmaterial |0 (DE-588)4143518-7 |D s |
| 689 | 2 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007110403&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007110403 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1807320685240909824 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
A.
EINLEITUNG
UND
PROBLEMSTELLUNG
.
1
A.1.
EINLEITUNG
.
1
A.2.
PROBLEMSTELLUNG
.
2
B.
GRUNDLAGEN
.
4
B.1.
GASPHASENABSCHEIDUNG
DUENNER
SCHICHTEN
.
4
B.1.1.
PVD-VERFAHREN
.
4
B.
1.1.1
AUFDAMPFEN
.
4
B.1.1.
2.
SPUTTERN
(KATHODENZERSTAEUBUNG)
.
5
B.1.1.
3.
LONENPLATTIEREN
.
5
B.1.1.
4.
ARC-PVD
.
6
B.1.2.
CVD-VERFAHREN
.
6
B.
1.2.1.
THERMISCHES
CVD
.
7
B.
1.2.2.
PLASMA-CVD
.
9
B.1.2.3.
PHOTOINDUZIERTES
CVD
.
9
B.
1.2.4.
METALORGANISCHES
CVD
.
10
C.
APPARATUR
.
11
C.1.
REAKTOR
.
11
C.2.
SUBSTRATHALTER
.
12
C.3.
VERDAMPFER
.
12
C.4.
HEIZVERSORGUNG
.
13
C.5.
GASVERSORGUNG
.
14
C.6.
VAKUUMPUMPSYSTEM
.
15
C.7.
DRUCKMESSGERAETE
.
15
D.
EXPERIMENTELLE
ARBEITEN
.
15
D.1.
LECK
UND
DESORPTIONSRATE
.
15
D.2.
ABSCHEIDERATE
.
16
D.3.
SUBSTANZFLUSS
.
17
D.4.
SUBSTRATVORBEREITUNG
.
19
D.5.
SCHICHTCHARAKTERISIERUNG
.
19
D.5.1.
ROENTGENPHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
(XPS)
.
19
D.5.2.
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
(XRD)
.
20
D.5.3.
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
(REM)
UND
ENERGIEDISPERSIVE
ROENTGENANALYSE
(EDX)
.
22
D.5.4.
WIDERSTANDMESSUNGEN
.
23
D.5.4.1.
ZWEIPUNKT-METHODE
.
23
D.
5.4.2.
VIERPUNKT-METHODE
.
24
D.6.
TEMPERATURKALIBRIERUNG
.
24
E.
ABSCHEIDUNG
VON
TITANNITRID
.
26
E.1.
MOTIVATION
DER
ABSCHEIDUNG
VON
TITANNITRID
.
26
E.2.
LITERATURUEBERSICHT
.
27
E.3.
PRECURSOREN
.
30
E.3.1
.
BIS[N,N'-BIS(TRIMETHYLSILYL)ETHYLENDIAMIDO]TITAN(IV).
32
E.3.2.
BIS[N,N'-BIS(TERT.-BUTYL)ETHYLENDIAMIDO]TITAN(IV).
33
E.3.3.
N,N'-BIS[BIS(TERT.-BUTYL)-1,4-DIAZADIEN-1,3]TITAN(IV).
33
E.4.
KINETISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
33
E.4.1.
ABSCHEIDUNG
AUS
BIS[N,N'-BIS(TRIMETHYLSILYL)ETHYLEN
DIAMIDO]TITAN(IV)("BIS")
.
33
E.4.1.
1.
REIN
THEMISCHE
ABSCHEIDUNG
.
33
E.4.1.
2.
DURCH
AMMONIAK
AKTIVIERTE
ABSCHEIDUNG.
35
E.4.1.
3.
ABSCHEIDUNG
MIT
AFTER-GLOW
.
37
E.4.2.
ABSCHEIDUNG
AUS
BIS[N,N'-BIS(TERT.-BUTYL)ETHYLEN
DIAMIDO]TITAN(IV)("TERT")
.
39
E.4.2.
1.
REIN
THEMISCHE
ABSCHEIDUNG
.
39
E.4.2.2.
ABSCHEIDUNG
MIT
AMMONIAK
.
42
E.4.3.
ABSCHEIDUNG
AUS
N,N'-BIS[BIS(TERT.-BUTYL)-1,4
DIAZADIEN-1,3]TITAN(IV)("NTB
"
)
.
43
E.4.3.
1.
REIN
THEMISCHE
ABSCHEIDUNG
.
43
E.4.3.2.
ABSCHEIDUNG
MIT
AMMONIAK
.
44
E.4.3.3.
ABSCHEIDUNG
MIT
AFTER-GLOW
.
45
E.5.
MECHANISTISCHE
UEBERLEGUNGEN
.
46
E.6.
ANALYSEN
.
48
E.6.1.
ROENTGENPHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
(XPS)
.
48
E.6.1
.1
.BIS[N,N'-BIS(TRIMETHYLSILYL)ETHYLENDIAMIDO]TITAN
.
48
E.6.1.2.BIS[N,N'-BIS(TERT.-BUTYL)ETHYLENDIAMIDO]TITAN
.
50
E.6.1.3.N,N'-BIS[BIS(TERT.-BUTYL)-1,4-DIAZADIEN-1,3JTITAN
.
53
E.6.2.
IR-SPEKTROSKOPIE
.
57
E.6.2.1.
BIS[N,N'-BIS(TRIMETHYLSILYL)ETHYLENDIAMIDO]TITAN
.
57
E.6.2.2.BIS[N,N'-BIS(TERT.-BUTYL)ETHYLENDIAMIDO]TITAN,
N,N'-BIS[BIS(TERT.-BUTYL)-1,4-DIAZADIEN-1,3]TITAN
.
58
E.6.3.
ELEKTRISCHE
LEITFAEHIGKEIT
.
59
E.6.3.1
.BIS[N,N'-BIS(TRIMETHYLSILYL)ETHYLENDIAMIDO]TITAN
.
59
E.6.3.2.
BIS[N,N'-BIS(TERT.-BUTYL)ETHYLENDIAMIDO]TITAN,
N,N'-BIS[BIS(TERT.-BUTYL)-1,4-DIAZADIEN-1
,3
JTITAN
.
60
E.6.4.
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
.
62
E.7.
FAZIT
DER
UNTERSUCHUNGEN
AM
TIN
.
63
F.
ABSCHEIDUNG
VON
COBALTSIUCIDEN
.
66
F.1
.
MOTIVATION
DER
ABSCHEIDUNG
VON
COBALTSLLIDDEN
.
66
F.2.
COSIJ-LITERATURUEBERSICHT
.
67
F.2.1.
HERSTELLUNG
.
67
F.2.2.
EIGENSCHAFTEN
.
68
F.3.
PRECURSOR
.
71
F.4.
EXPERIMENTELLES
.
71
F.5.
KINETISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
73
F.6.
ANALYSEN
.
75
F.6.1.
ABSCHEIDUNG
AUS
DEM
SYSTEM
CI
3
SICO(CO)
4
/AR/H
2
.
75
F.6.2.
ABSCHEIDUNG
AUS
DEM
SYSTEM
CI
3
SICO(CO)
4
/AR/SIH
4
.
87
F.6.2.1.
ABSCHEIDUNG
BEI
KONSTANTEM
SIH
4
:"SICO"-VERHAELTNIS
=
1,65
.
87
F.6.2.2.
DER
BEREICH
NIEDRIGER
SILANKONZENTRATIONEN
VON
SIH
4
:"SICO"
=
0,3
BIS
13
.
90
F.6.2.3.
DER
BEREICH
MITTLERER
SILANKONZENTRATIONEN
VON
SIH
4
:"SICO"
=
13
BIS
566
.
94
F.6.2.4.
DER
BEREICH
HOHER
SILANKONZENTRATIONEN
VON
SIH
4
:"SICO"
566
.
98
F.7.
FAZIT
DER
UNTERSUCHUNGEN
AN
COBALTSILICLDEN
.
102
F.7.1.
ABSCHEIDUNG
AUS
DEM
SYSTEM
"SICO7ARGON/WASSERSTOFF.
102
F.7.2.
ABSCHEIDUNG
AUS
DEM
SYSTEM
"SICO'/ARGON/SILAN
.
102
G.
ABSCHEIDUNG
VON
GERMANIUM
.
104
G.1.
MOTIVATION
DER
ABSCHEIDUNG
VON
GERMANIUM
.
104
G.2.
LITERATURUEBERSICHT
.
105
G.3.
PRECURSOR.
.
107
G.4.
KINETISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
109
G.4.1.
THERMISCHE
ABSCHEIDUNG
MIT
TRAEGERGAS
.
109
G.4.2.
ABSCHEIDUNG
UNTER
"AFTER-GLOW"
BEDINGUNGEN
.
111
G.4.3.
MORPHOLOGIE
DER
SCHICHTEN
.
113
G.4.4
EINFLUSS
DES
SUBSTRATS
.
114
G.4.4.1.
ABSCHEIDUNG
AUF
SI-SIO
2
.
114
G.4.4.2.
ABSCHEIDUNG
AUF
H-PASIVIERTER
OBERFLAECHE
.
115
G.4.4.3.
ABSCHEIDUNG
AUF
ANDEREN
SUBSTRATEN
.
124
G.5.
CHARAKTERISIERUNG
.
127
G.5.1.
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
.
127
G.5.2.
ROENTGENPHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
(XPS)
.
128
G.5.3.
IR-SPEKTROSKOPIE
.
129
G.5.4.
ELEKTRONISCHE
UND
OPTOELEKTRONISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
131
G.
5.4.1.
DUNKELLEITFAEHIGKEIT
.
131
G.5.4.2.
BESTIMMUNG
DES
HPT-PRODUKTS
.
133
G.6.
SELEKTIVE
ABSCHEIDUNG
AUF
SI:H/SIO
2
-STRUKTURIENEN
SUBSTRATEN
.
135
G.7.
FAZIT
DER
UNTERSUCHUNGEN
AM
GERMANIUM
.
.137
H.
ZUSAMMENFASSUNG
.
139
I,
LITERATURVERZEICHNIS
.
142 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Prokop, Jiří |
| author_facet | Prokop, Jiří |
| author_role | aut |
| author_sort | Prokop, Jiří |
| author_variant | j p jp |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010653496 |
| ctrlnum | (OCoLC)75667988 (DE-599)BVBBV010653496 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV010653496</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">960313s1995 ad|| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">946963215</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75667988</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010653496</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Prokop, Jiří</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Abscheidung von Metallverbindungen und Germanium aus metallorganischen Precursoren</subfield><subfield code="c">Jiří Prokop</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">V, 147 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">München, Techn. Univ., Diss., 1995</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Germanium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4135644-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ausgangsmaterial</subfield><subfield code="0">(DE-588)4143518-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">MOCVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4314628-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Cobaltsilicide</subfield><subfield code="0">(DE-588)4326866-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Metallorganische Verbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4038906-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Titannitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185564-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Titannitrid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185564-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">MOCVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4314628-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Metallorganische Verbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4038906-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Ausgangsmaterial</subfield><subfield code="0">(DE-588)4143518-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Cobaltsilicide</subfield><subfield code="0">(DE-588)4326866-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">MOCVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4314628-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Metallorganische Verbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4038906-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="4"><subfield code="a">Ausgangsmaterial</subfield><subfield code="0">(DE-588)4143518-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="0"><subfield code="a">Germanium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4135644-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="1"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="2"><subfield code="a">MOCVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4314628-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="3"><subfield code="a">Metallorganische Verbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4038906-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="4"><subfield code="a">Ausgangsmaterial</subfield><subfield code="0">(DE-588)4143518-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007110403&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007110403</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010653496 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-14T00:28:37Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007110403 |
| oclc_num | 75667988 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-12 DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-12 DE-11 DE-188 |
| physical | V, 147 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1995 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| record_format | marc |
| spelling | Prokop, Jiří Verfasser aut Abscheidung von Metallverbindungen und Germanium aus metallorganischen Precursoren Jiří Prokop 1995 V, 147 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier München, Techn. Univ., Diss., 1995 Germanium (DE-588)4135644-5 gnd rswk-swf Ausgangsmaterial (DE-588)4143518-7 gnd rswk-swf MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Cobaltsilicide (DE-588)4326866-3 gnd rswk-swf Metallorganische Verbindungen (DE-588)4038906-6 gnd rswk-swf Titannitrid (DE-588)4185564-4 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Titannitrid (DE-588)4185564-4 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 s Metallorganische Verbindungen (DE-588)4038906-6 s Ausgangsmaterial (DE-588)4143518-7 s DE-604 Cobaltsilicide (DE-588)4326866-3 s Germanium (DE-588)4135644-5 s DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007110403&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Prokop, Jiří Abscheidung von Metallverbindungen und Germanium aus metallorganischen Precursoren Germanium (DE-588)4135644-5 gnd Ausgangsmaterial (DE-588)4143518-7 gnd MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Cobaltsilicide (DE-588)4326866-3 gnd Metallorganische Verbindungen (DE-588)4038906-6 gnd Titannitrid (DE-588)4185564-4 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4135644-5 (DE-588)4143518-7 (DE-588)4314628-4 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4326866-3 (DE-588)4038906-6 (DE-588)4185564-4 (DE-588)4113937-9 |
| title | Abscheidung von Metallverbindungen und Germanium aus metallorganischen Precursoren |
| title_auth | Abscheidung von Metallverbindungen und Germanium aus metallorganischen Precursoren |
| title_exact_search | Abscheidung von Metallverbindungen und Germanium aus metallorganischen Precursoren |
| title_full | Abscheidung von Metallverbindungen und Germanium aus metallorganischen Precursoren Jiří Prokop |
| title_fullStr | Abscheidung von Metallverbindungen und Germanium aus metallorganischen Precursoren Jiří Prokop |
| title_full_unstemmed | Abscheidung von Metallverbindungen und Germanium aus metallorganischen Precursoren Jiří Prokop |
| title_short | Abscheidung von Metallverbindungen und Germanium aus metallorganischen Precursoren |
| title_sort | abscheidung von metallverbindungen und germanium aus metallorganischen precursoren |
| topic | Germanium (DE-588)4135644-5 gnd Ausgangsmaterial (DE-588)4143518-7 gnd MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Cobaltsilicide (DE-588)4326866-3 gnd Metallorganische Verbindungen (DE-588)4038906-6 gnd Titannitrid (DE-588)4185564-4 gnd |
| topic_facet | Germanium Ausgangsmaterial MOCVD-Verfahren Dünne Schicht Cobaltsilicide Metallorganische Verbindungen Titannitrid Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007110403&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT prokopjiri abscheidungvonmetallverbindungenundgermaniumausmetallorganischenprecursoren |