Abscheidung von Metallverbindungen und Germanium aus metallorganischen Precursoren:
Gespeichert in:
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|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1995
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | V, 147 S. Ill., graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
A.
EINLEITUNG
UND
PROBLEMSTELLUNG
.
1
A.1.
EINLEITUNG
.
1
A.2.
PROBLEMSTELLUNG
.
2
B.
GRUNDLAGEN
.
4
B.1.
GASPHASENABSCHEIDUNG
DUENNER
SCHICHTEN
.
4
B.1.1.
PVD-VERFAHREN
.
4
B.
1.1.1
AUFDAMPFEN
.
4
B.1.1.
2.
SPUTTERN
(KATHODENZERSTAEUBUNG)
.
5
B.1.1.
3.
LONENPLATTIEREN
.
5
B.1.1.
4.
ARC-PVD
.
6
B.1.2.
CVD-VERFAHREN
.
6
B.
1.2.1.
THERMISCHES
CVD
.
7
B.
1.2.2.
PLASMA-CVD
.
9
B.1.2.3.
PHOTOINDUZIERTES
CVD
.
9
B.
1.2.4.
METALORGANISCHES
CVD
.
10
C.
APPARATUR
.
11
C.1.
REAKTOR
.
11
C.2.
SUBSTRATHALTER
.
12
C.3.
VERDAMPFER
.
12
C.4.
HEIZVERSORGUNG
.
13
C.5.
GASVERSORGUNG
.
14
C.6.
VAKUUMPUMPSYSTEM
.
15
C.7.
DRUCKMESSGERAETE
.
15
D.
EXPERIMENTELLE
ARBEITEN
.
15
D.1.
LECK
UND
DESORPTIONSRATE
.
15
D.2.
ABSCHEIDERATE
.
16
D.3.
SUBSTANZFLUSS
.
17
D.4.
SUBSTRATVORBEREITUNG
.
19
D.5.
SCHICHTCHARAKTERISIERUNG
.
19
D.5.1.
ROENTGENPHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
(XPS)
.
19
D.5.2.
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
(XRD)
.
20
D.5.3.
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
(REM)
UND
ENERGIEDISPERSIVE
ROENTGENANALYSE
(EDX)
.
22
D.5.4.
WIDERSTANDMESSUNGEN
.
23
D.5.4.1.
ZWEIPUNKT-METHODE
.
23
D.
5.4.2.
VIERPUNKT-METHODE
.
24
D.6.
TEMPERATURKALIBRIERUNG
.
24
E.
ABSCHEIDUNG
VON
TITANNITRID
.
26
E.1.
MOTIVATION
DER
ABSCHEIDUNG
VON
TITANNITRID
.
26
E.2.
LITERATURUEBERSICHT
.
27
E.3.
PRECURSOREN
.
30
E.3.1
.
BIS[N,N'-BIS(TRIMETHYLSILYL)ETHYLENDIAMIDO]TITAN(IV).
32
E.3.2.
BIS[N,N'-BIS(TERT.-BUTYL)ETHYLENDIAMIDO]TITAN(IV).
33
E.3.3.
N,N'-BIS[BIS(TERT.-BUTYL)-1,4-DIAZADIEN-1,3]TITAN(IV).
33
E.4.
KINETISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
33
E.4.1.
ABSCHEIDUNG
AUS
BIS[N,N'-BIS(TRIMETHYLSILYL)ETHYLEN
DIAMIDO]TITAN(IV)("BIS")
.
33
E.4.1.
1.
REIN
THEMISCHE
ABSCHEIDUNG
.
33
E.4.1.
2.
DURCH
AMMONIAK
AKTIVIERTE
ABSCHEIDUNG.
35
E.4.1.
3.
ABSCHEIDUNG
MIT
AFTER-GLOW
.
37
E.4.2.
ABSCHEIDUNG
AUS
BIS[N,N'-BIS(TERT.-BUTYL)ETHYLEN
DIAMIDO]TITAN(IV)("TERT")
.
39
E.4.2.
1.
REIN
THEMISCHE
ABSCHEIDUNG
.
39
E.4.2.2.
ABSCHEIDUNG
MIT
AMMONIAK
.
42
E.4.3.
ABSCHEIDUNG
AUS
N,N'-BIS[BIS(TERT.-BUTYL)-1,4
DIAZADIEN-1,3]TITAN(IV)("NTB
"
)
.
43
E.4.3.
1.
REIN
THEMISCHE
ABSCHEIDUNG
.
43
E.4.3.2.
ABSCHEIDUNG
MIT
AMMONIAK
.
44
E.4.3.3.
ABSCHEIDUNG
MIT
AFTER-GLOW
.
45
E.5.
MECHANISTISCHE
UEBERLEGUNGEN
.
46
E.6.
ANALYSEN
.
48
E.6.1.
ROENTGENPHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
(XPS)
.
48
E.6.1
.1
.BIS[N,N'-BIS(TRIMETHYLSILYL)ETHYLENDIAMIDO]TITAN
.
48
E.6.1.2.BIS[N,N'-BIS(TERT.-BUTYL)ETHYLENDIAMIDO]TITAN
.
50
E.6.1.3.N,N'-BIS[BIS(TERT.-BUTYL)-1,4-DIAZADIEN-1,3JTITAN
.
53
E.6.2.
IR-SPEKTROSKOPIE
.
57
E.6.2.1.
BIS[N,N'-BIS(TRIMETHYLSILYL)ETHYLENDIAMIDO]TITAN
.
57
E.6.2.2.BIS[N,N'-BIS(TERT.-BUTYL)ETHYLENDIAMIDO]TITAN,
N,N'-BIS[BIS(TERT.-BUTYL)-1,4-DIAZADIEN-1,3]TITAN
.
58
E.6.3.
ELEKTRISCHE
LEITFAEHIGKEIT
.
59
E.6.3.1
.BIS[N,N'-BIS(TRIMETHYLSILYL)ETHYLENDIAMIDO]TITAN
.
59
E.6.3.2.
BIS[N,N'-BIS(TERT.-BUTYL)ETHYLENDIAMIDO]TITAN,
N,N'-BIS[BIS(TERT.-BUTYL)-1,4-DIAZADIEN-1
,3
JTITAN
.
60
E.6.4.
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
.
62
E.7.
FAZIT
DER
UNTERSUCHUNGEN
AM
TIN
.
63
F.
ABSCHEIDUNG
VON
COBALTSIUCIDEN
.
66
F.1
.
MOTIVATION
DER
ABSCHEIDUNG
VON
COBALTSLLIDDEN
.
66
F.2.
COSIJ-LITERATURUEBERSICHT
.
67
F.2.1.
HERSTELLUNG
.
67
F.2.2.
EIGENSCHAFTEN
.
68
F.3.
PRECURSOR
.
71
F.4.
EXPERIMENTELLES
.
71
F.5.
KINETISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
73
F.6.
ANALYSEN
.
75
F.6.1.
ABSCHEIDUNG
AUS
DEM
SYSTEM
CI
3
SICO(CO)
4
/AR/H
2
.
75
F.6.2.
ABSCHEIDUNG
AUS
DEM
SYSTEM
CI
3
SICO(CO)
4
/AR/SIH
4
.
87
F.6.2.1.
ABSCHEIDUNG
BEI
KONSTANTEM
SIH
4
:"SICO"-VERHAELTNIS
=
1,65
.
87
F.6.2.2.
DER
BEREICH
NIEDRIGER
SILANKONZENTRATIONEN
VON
SIH
4
:"SICO"
=
0,3
BIS
13
.
90
F.6.2.3.
DER
BEREICH
MITTLERER
SILANKONZENTRATIONEN
VON
SIH
4
:"SICO"
=
13
BIS
566
.
94
F.6.2.4.
DER
BEREICH
HOHER
SILANKONZENTRATIONEN
VON
SIH
4
:"SICO"
566
.
98
F.7.
FAZIT
DER
UNTERSUCHUNGEN
AN
COBALTSILICLDEN
.
102
F.7.1.
ABSCHEIDUNG
AUS
DEM
SYSTEM
"SICO7ARGON/WASSERSTOFF.
102
F.7.2.
ABSCHEIDUNG
AUS
DEM
SYSTEM
"SICO'/ARGON/SILAN
.
102
G.
ABSCHEIDUNG
VON
GERMANIUM
.
104
G.1.
MOTIVATION
DER
ABSCHEIDUNG
VON
GERMANIUM
.
104
G.2.
LITERATURUEBERSICHT
.
105
G.3.
PRECURSOR.
.
107
G.4.
KINETISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
109
G.4.1.
THERMISCHE
ABSCHEIDUNG
MIT
TRAEGERGAS
.
109
G.4.2.
ABSCHEIDUNG
UNTER
"AFTER-GLOW"
BEDINGUNGEN
.
111
G.4.3.
MORPHOLOGIE
DER
SCHICHTEN
.
113
G.4.4
EINFLUSS
DES
SUBSTRATS
.
114
G.4.4.1.
ABSCHEIDUNG
AUF
SI-SIO
2
.
114
G.4.4.2.
ABSCHEIDUNG
AUF
H-PASIVIERTER
OBERFLAECHE
.
115
G.4.4.3.
ABSCHEIDUNG
AUF
ANDEREN
SUBSTRATEN
.
124
G.5.
CHARAKTERISIERUNG
.
127
G.5.1.
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
.
127
G.5.2.
ROENTGENPHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
(XPS)
.
128
G.5.3.
IR-SPEKTROSKOPIE
.
129
G.5.4.
ELEKTRONISCHE
UND
OPTOELEKTRONISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
131
G.
5.4.1.
DUNKELLEITFAEHIGKEIT
.
131
G.5.4.2.
BESTIMMUNG
DES
HPT-PRODUKTS
.
133
G.6.
SELEKTIVE
ABSCHEIDUNG
AUF
SI:H/SIO
2
-STRUKTURIENEN
SUBSTRATEN
.
135
G.7.
FAZIT
DER
UNTERSUCHUNGEN
AM
GERMANIUM
.
.137
H.
ZUSAMMENFASSUNG
.
139
I,
LITERATURVERZEICHNIS
.
142 |
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