Grundlagen und Anwendungen von Strukturierungstechniken im Bereich der Hochtemperatursupraleiter:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1996
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 21]
194 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | VII, 126 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 318319421X |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010652234 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20190130 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 960308s1996 ad|| ma|| 00||| gerod | ||
| 020 | |a 318319421X |9 3-18-319421-X | ||
| 035 | |a (OCoLC)45654325 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010652234 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-29T |a DE-634 |a DE-83 |a DE-11 | ||
| 084 | |a UP 2200 |0 (DE-625)146356: |2 rvk | ||
| 084 | |a ZN 5240 |0 (DE-625)157441: |2 rvk | ||
| 084 | |a ELT 372d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Barth, Roland |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Grundlagen und Anwendungen von Strukturierungstechniken im Bereich der Hochtemperatursupraleiter |c Roland Barth |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Düsseldorf |b VDI-Verl. |c 1996 | |
| 300 | |a VII, 126 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 21] |v 194 | |
| 502 | |a Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1995 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Cuprate |0 (DE-588)4148399-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Yttriumverbindungen |0 (DE-588)4298749-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Bariumverbindungen |0 (DE-588)4254994-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Supraleitendes elektronisches Bauelement |0 (DE-588)4184139-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ionenstrahlätzen |0 (DE-588)4162299-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Hochtemperatursupraleiter |0 (DE-588)4220922-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Yttriumverbindungen |0 (DE-588)4298749-0 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Bariumverbindungen |0 (DE-588)4254994-2 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Cuprate |0 (DE-588)4148399-6 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Hochtemperatursupraleiter |0 (DE-588)4220922-5 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Ionenstrahlätzen |0 (DE-588)4162299-6 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Supraleitendes elektronisches Bauelement |0 (DE-588)4184139-6 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 810 | 2 | |a 21] |t Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI |v 194 |w (DE-604)BV001897864 |9 194 | |
| 856 | 4 | 2 | |m HBZ Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007109319&sequence=000002&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007109319 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804125130018783232 |
|---|---|
| adam_text | Titel: Grundlagen und Anwendungen von Strukturierungstechniken im Bereich der Hochtemperatursupraleiter
Autor: Barth, Roland
Jahr: 1996
v Inhaltsverzeichnis 1. Einleitung und Zielsetzung 1 2. Grundlagen 5 2.1. YBa 2 Cu 30 7 . 5 , eine hochtemperatursupraleitende-Keramik 5 2.2. Technologische Grundlagen zur Strukturierung von HTSL im 8 sub-pm-Bereich 2.2.1 Lithographieverfahren für den sub-pm Bereich 8 2.2.2. Strukturierungsverfahren für HTSL 13 2.2.3. Maskierungstechniken für die Strukturierung von HTSL-Dünn- 19 filmen im sub-pm Bereich 21 2.2.4. Supraleitung in YBa 2 Cu 307 - c j sub-pm Strukturen 29 2.3. Infrarot-Detektoren 31 2.3.1. Optische und thermische Strahlungsdetektoren 31 2.3.2. Grundlagen von Bolometern 34 2.3.3. Anwendungspotential für HTSL-Bolometer 39 2.3.4 Publizierte HTSL-Bolometerkonzepte 41 3. Ergebnisse 42 3.1. Optimierung der Technologie zur Herstellung von 43 HTSL-sub-pm Strukturen 3.1.1. Modifizierung der Probenkühlung 43 3.1.2. Probenerwärmung durch lonenbeschuß 45 3.1.3. Methoden zur Endpunktkontrolle 48 3.1.4. Weiterentwicklung der Maskierungstechnik 52 3.1.5. Maskierungsverhalten der Resisttechniken an Oberflächen- 56 defekten in HTSL-Dünnfilmen 3.1.6. Plasmaoxidation, ein Verfahren zur Steigerung der Sprung- 59 temperatur in YBa 2 Cu 3 07_ 8 sub-pm Strukturen 3.1.7. Reduzierung der Prozeßtemperatur zur Stabilisierung der supra- 64 leitenden Eigenschaften in YBa 2 Cu 3 07_5 sub-pm Strukturen 3.2. Technologietransfer auf andere Materialsysteme 69 3.3. Bi-Kristall Josephson-Kontakte und DC-Squids im sub-pm Bereich 73 3.4. Vergleich zum internationalen Stand der Technologie 75
VI 3.5. Realisierung schneller empfindlicher HTSL-Bolometer 77 3.5.1. Optimiertes HTSL-Bolometerkonzept 77 3.5.2. Berechnungen und Simulationen zum freitragenden Bolometer- 80 konzept 3.5.3. Technologie zur Herstellung freitragender Bolometer 84 3.5.4. Charakterisierung der Mikrobolometer 89 3.5.5. Langzeitstabilität freitragender Mikrobolometer 101 3.5.6. Vergleich mit dem internationalen Stand der Technik 103 4. Ausblick 105 5. Zusammenfassung 108 6. Anhang 111 Anhang A Induktive Bestimmung der Sprungtemperatur — 111 Anhang B Elektrische Charakterisierung von sub-pm Strukturen 112 Anhänge Ohmsche Kontakte auf HTSL-Schichten 113 Anhang D Meßaufbauten zur Charakterisierung von Mikrobolometern 114 7. Literaturverzeichnis 117
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Barth, Roland |
| author_facet | Barth, Roland |
| author_role | aut |
| author_sort | Barth, Roland |
| author_variant | r b rb |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010652234 |
| classification_rvk | UP 2200 ZN 5240 |
| classification_tum | ELT 372d |
| ctrlnum | (OCoLC)45654325 (DE-599)BVBBV010652234 |
| discipline | Physik Elektrotechnik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02322nam a2200517 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV010652234</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20190130 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">960308s1996 ad|| ma|| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">318319421X</subfield><subfield code="9">3-18-319421-X</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)45654325</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010652234</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 2200</subfield><subfield code="0">(DE-625)146356:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 5240</subfield><subfield code="0">(DE-625)157441:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 372d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Barth, Roland</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Grundlagen und Anwendungen von Strukturierungstechniken im Bereich der Hochtemperatursupraleiter</subfield><subfield code="c">Roland Barth</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Düsseldorf</subfield><subfield code="b">VDI-Verl.</subfield><subfield code="c">1996</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VII, 126 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 21]</subfield><subfield code="v">194</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1995</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Cuprate</subfield><subfield code="0">(DE-588)4148399-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Yttriumverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4298749-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Bariumverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4254994-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Supraleitendes elektronisches Bauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4184139-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ionenstrahlätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4162299-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Hochtemperatursupraleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4220922-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Yttriumverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4298749-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Bariumverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4254994-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Cuprate</subfield><subfield code="0">(DE-588)4148399-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Hochtemperatursupraleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4220922-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Ionenstrahlätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4162299-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Supraleitendes elektronisches Bauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4184139-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">21]</subfield><subfield code="t">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI</subfield><subfield code="v">194</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV001897864</subfield><subfield code="9">194</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">HBZ Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007109319&sequence=000002&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007109319</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010652234 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:56:40Z |
| institution | BVB |
| isbn | 318319421X |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007109319 |
| oclc_num | 45654325 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-634 DE-83 DE-11 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-634 DE-83 DE-11 |
| physical | VII, 126 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1996 |
| publishDateSearch | 1996 |
| publishDateSort | 1996 |
| publisher | VDI-Verl. |
| record_format | marc |
| series2 | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 21] |
| spelling | Barth, Roland Verfasser aut Grundlagen und Anwendungen von Strukturierungstechniken im Bereich der Hochtemperatursupraleiter Roland Barth Als Ms. gedr. Düsseldorf VDI-Verl. 1996 VII, 126 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 21] 194 Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1995 Cuprate (DE-588)4148399-6 gnd rswk-swf Yttriumverbindungen (DE-588)4298749-0 gnd rswk-swf Bariumverbindungen (DE-588)4254994-2 gnd rswk-swf Supraleitendes elektronisches Bauelement (DE-588)4184139-6 gnd rswk-swf Ionenstrahlätzen (DE-588)4162299-6 gnd rswk-swf Hochtemperatursupraleiter (DE-588)4220922-5 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Yttriumverbindungen (DE-588)4298749-0 s Bariumverbindungen (DE-588)4254994-2 s Cuprate (DE-588)4148399-6 s Hochtemperatursupraleiter (DE-588)4220922-5 s Ionenstrahlätzen (DE-588)4162299-6 s Supraleitendes elektronisches Bauelement (DE-588)4184139-6 s DE-604 21] Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI 194 (DE-604)BV001897864 194 HBZ Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007109319&sequence=000002&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Barth, Roland Grundlagen und Anwendungen von Strukturierungstechniken im Bereich der Hochtemperatursupraleiter Cuprate (DE-588)4148399-6 gnd Yttriumverbindungen (DE-588)4298749-0 gnd Bariumverbindungen (DE-588)4254994-2 gnd Supraleitendes elektronisches Bauelement (DE-588)4184139-6 gnd Ionenstrahlätzen (DE-588)4162299-6 gnd Hochtemperatursupraleiter (DE-588)4220922-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4148399-6 (DE-588)4298749-0 (DE-588)4254994-2 (DE-588)4184139-6 (DE-588)4162299-6 (DE-588)4220922-5 (DE-588)4113937-9 |
| title | Grundlagen und Anwendungen von Strukturierungstechniken im Bereich der Hochtemperatursupraleiter |
| title_auth | Grundlagen und Anwendungen von Strukturierungstechniken im Bereich der Hochtemperatursupraleiter |
| title_exact_search | Grundlagen und Anwendungen von Strukturierungstechniken im Bereich der Hochtemperatursupraleiter |
| title_full | Grundlagen und Anwendungen von Strukturierungstechniken im Bereich der Hochtemperatursupraleiter Roland Barth |
| title_fullStr | Grundlagen und Anwendungen von Strukturierungstechniken im Bereich der Hochtemperatursupraleiter Roland Barth |
| title_full_unstemmed | Grundlagen und Anwendungen von Strukturierungstechniken im Bereich der Hochtemperatursupraleiter Roland Barth |
| title_short | Grundlagen und Anwendungen von Strukturierungstechniken im Bereich der Hochtemperatursupraleiter |
| title_sort | grundlagen und anwendungen von strukturierungstechniken im bereich der hochtemperatursupraleiter |
| topic | Cuprate (DE-588)4148399-6 gnd Yttriumverbindungen (DE-588)4298749-0 gnd Bariumverbindungen (DE-588)4254994-2 gnd Supraleitendes elektronisches Bauelement (DE-588)4184139-6 gnd Ionenstrahlätzen (DE-588)4162299-6 gnd Hochtemperatursupraleiter (DE-588)4220922-5 gnd |
| topic_facet | Cuprate Yttriumverbindungen Bariumverbindungen Supraleitendes elektronisches Bauelement Ionenstrahlätzen Hochtemperatursupraleiter Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007109319&sequence=000002&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV001897864 |
| work_keys_str_mv | AT barthroland grundlagenundanwendungenvonstrukturierungstechnikenimbereichderhochtemperatursupraleiter |