Einsatz von Methoden der Versuchsplanung am Beispiel der Herstellung von Niob-Dünnfilmen:
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Bremerhaven
Wirtschaftsverl. NW
1995
|
| Schriftenreihe: | Physikalisch-Technische Bundesanstalt <Braunschweig>: [PTB-Bericht / Elektronische Entwicklung]
7 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 44 S. graph. Darst., Ill. |
| ISBN: | 389429910X |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010641171 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 960229s1995 ad|| |||| 00||| gerod | ||
| 016 | 7 | |a 948778857 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 389429910X |9 3-89429-910-X | ||
| 035 | |a (OCoLC)75819499 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010641171 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-12 |a DE-634 | ||
| 100 | 1 | |a Knappe, Silvia |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Einsatz von Methoden der Versuchsplanung am Beispiel der Herstellung von Niob-Dünnfilmen |c von Silvia Knappe, Clemens Elster und Cornelia Aßmann |
| 264 | 1 | |a Bremerhaven |b Wirtschaftsverl. NW |c 1995 | |
| 300 | |a 44 S. |b graph. Darst., Ill. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Physikalisch-Technische Bundesanstalt <Braunschweig>: [PTB-Bericht / Elektronische Entwicklung] |v 7 | |
| 650 | 0 | 7 | |a Sputtern |0 (DE-588)4182614-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Methode |0 (DE-588)4038971-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Niob |0 (DE-588)4042362-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Herstellung |0 (DE-588)4159653-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Prozessoptimierung |0 (DE-588)4176074-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Versuchsplanung |0 (DE-588)4078859-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Niob |0 (DE-588)4042362-1 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Herstellung |0 (DE-588)4159653-5 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Methode |0 (DE-588)4038971-6 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Versuchsplanung |0 (DE-588)4078859-3 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Niob |0 (DE-588)4042362-1 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Sputtern |0 (DE-588)4182614-0 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a Prozessoptimierung |0 (DE-588)4176074-8 |D s |
| 689 | 1 | 4 | |a Versuchsplanung |0 (DE-588)4078859-3 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Elster, Clemens |e Verfasser |4 aut | |
| 700 | 1 | |a Aßmann, Cornelia |e Verfasser |4 aut | |
| 810 | 2 | |a Elektronische Entwicklung] |t Physikalisch-Technische Bundesanstalt <Braunschweig>: [PTB-Bericht |v 7 |w (DE-604)BV000002784 |9 7 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007099787&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007099787 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1808227900769435648 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
VORWORT
1
EINLEITUNG
2
1.1
VERSUCHSPLANUNG
2
1.2
HERSTELLUNG
VON
NIOB-DUENNFILMEN
5
2
MODELLBILDUNG
FUER
DIE
ZIELGROESSEN
MECHANISCHE
SPANNUNG
UND
RESTWIDERSTANDSVERHAELTNIS
IN
ABHAENGIGKEIT
VON
DEN
FAKTOREN
ARBEITSDRUCK,
TARGETSTROM
UND
ARBEITSHOEHE
8
3
BESTIMMUNG
WESENTLICHER
EINFLUSSGROESSEN
AUF
RESTWIDERSTANDSVERHAELTNIS
UND
MECHANISCHE
SPANNUNG
BEI
DER
HERSTELLUNG
VON
NIOB-DUENNFILMEN
15
4
UEBERTRAGUNG
DER
ERGEBNISSE
AUF
DIE
HERSTELLUNG
ANDERER
DUENNFILME
20
5
ZUSAMMENFASSUNG
21
ANHANG
1
VORUEBERLEGUNGEN
22
2
AUSSTATTUNG
DER
KATHODENZERSTAEUBUNGSANLAGE
23
3
BESCHREIBUNG
DER
UNTERSUCHTEN
ZIEL
UND
MESSGROESSEN
23
4
BESCHREIBUNG
DER
FAKTOREN
29
5
VERGLEICH
MIT
ERGEBNISSEN
ANDERER
GRUPPEN
42
6
FRAGEN,
DIE
WAEHREND
DER
PROZESSOPTIMIERUNG
AUFTRATEN
43
LITERATUR
44 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Knappe, Silvia Elster, Clemens Aßmann, Cornelia |
| author_facet | Knappe, Silvia Elster, Clemens Aßmann, Cornelia |
| author_role | aut aut aut |
| author_sort | Knappe, Silvia |
| author_variant | s k sk c e ce c a ca |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010641171 |
| ctrlnum | (OCoLC)75819499 (DE-599)BVBBV010641171 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV010641171</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">960229s1995 ad|| |||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">948778857</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">389429910X</subfield><subfield code="9">3-89429-910-X</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75819499</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010641171</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Knappe, Silvia</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Einsatz von Methoden der Versuchsplanung am Beispiel der Herstellung von Niob-Dünnfilmen</subfield><subfield code="c">von Silvia Knappe, Clemens Elster und Cornelia Aßmann</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Bremerhaven</subfield><subfield code="b">Wirtschaftsverl. NW</subfield><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">44 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst., Ill.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Physikalisch-Technische Bundesanstalt <Braunschweig>: [PTB-Bericht / Elektronische Entwicklung]</subfield><subfield code="v">7</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4182614-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Methode</subfield><subfield code="0">(DE-588)4038971-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Niob</subfield><subfield code="0">(DE-588)4042362-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Herstellung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4159653-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Prozessoptimierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4176074-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Versuchsplanung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4078859-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Niob</subfield><subfield code="0">(DE-588)4042362-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Herstellung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4159653-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Methode</subfield><subfield code="0">(DE-588)4038971-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Versuchsplanung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4078859-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Niob</subfield><subfield code="0">(DE-588)4042362-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Sputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4182614-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Prozessoptimierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4176074-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="4"><subfield code="a">Versuchsplanung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4078859-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Elster, Clemens</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Aßmann, Cornelia</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Elektronische Entwicklung]</subfield><subfield code="t">Physikalisch-Technische Bundesanstalt <Braunschweig>: [PTB-Bericht</subfield><subfield code="v">7</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000002784</subfield><subfield code="9">7</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007099787&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007099787</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV010641171 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-24T00:48:25Z |
| institution | BVB |
| isbn | 389429910X |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007099787 |
| oclc_num | 75819499 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-12 DE-634 |
| owner_facet | DE-12 DE-634 |
| physical | 44 S. graph. Darst., Ill. |
| publishDate | 1995 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| publisher | Wirtschaftsverl. NW |
| record_format | marc |
| series2 | Physikalisch-Technische Bundesanstalt <Braunschweig>: [PTB-Bericht / Elektronische Entwicklung] |
| spelling | Knappe, Silvia Verfasser aut Einsatz von Methoden der Versuchsplanung am Beispiel der Herstellung von Niob-Dünnfilmen von Silvia Knappe, Clemens Elster und Cornelia Aßmann Bremerhaven Wirtschaftsverl. NW 1995 44 S. graph. Darst., Ill. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Physikalisch-Technische Bundesanstalt <Braunschweig>: [PTB-Bericht / Elektronische Entwicklung] 7 Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd rswk-swf Methode (DE-588)4038971-6 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Niob (DE-588)4042362-1 gnd rswk-swf Herstellung (DE-588)4159653-5 gnd rswk-swf Prozessoptimierung (DE-588)4176074-8 gnd rswk-swf Versuchsplanung (DE-588)4078859-3 gnd rswk-swf Niob (DE-588)4042362-1 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Herstellung (DE-588)4159653-5 s Methode (DE-588)4038971-6 s Versuchsplanung (DE-588)4078859-3 s DE-604 Sputtern (DE-588)4182614-0 s Prozessoptimierung (DE-588)4176074-8 s Elster, Clemens Verfasser aut Aßmann, Cornelia Verfasser aut Elektronische Entwicklung] Physikalisch-Technische Bundesanstalt <Braunschweig>: [PTB-Bericht 7 (DE-604)BV000002784 7 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007099787&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Knappe, Silvia Elster, Clemens Aßmann, Cornelia Einsatz von Methoden der Versuchsplanung am Beispiel der Herstellung von Niob-Dünnfilmen Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd Methode (DE-588)4038971-6 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Niob (DE-588)4042362-1 gnd Herstellung (DE-588)4159653-5 gnd Prozessoptimierung (DE-588)4176074-8 gnd Versuchsplanung (DE-588)4078859-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4182614-0 (DE-588)4038971-6 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4042362-1 (DE-588)4159653-5 (DE-588)4176074-8 (DE-588)4078859-3 |
| title | Einsatz von Methoden der Versuchsplanung am Beispiel der Herstellung von Niob-Dünnfilmen |
| title_auth | Einsatz von Methoden der Versuchsplanung am Beispiel der Herstellung von Niob-Dünnfilmen |
| title_exact_search | Einsatz von Methoden der Versuchsplanung am Beispiel der Herstellung von Niob-Dünnfilmen |
| title_full | Einsatz von Methoden der Versuchsplanung am Beispiel der Herstellung von Niob-Dünnfilmen von Silvia Knappe, Clemens Elster und Cornelia Aßmann |
| title_fullStr | Einsatz von Methoden der Versuchsplanung am Beispiel der Herstellung von Niob-Dünnfilmen von Silvia Knappe, Clemens Elster und Cornelia Aßmann |
| title_full_unstemmed | Einsatz von Methoden der Versuchsplanung am Beispiel der Herstellung von Niob-Dünnfilmen von Silvia Knappe, Clemens Elster und Cornelia Aßmann |
| title_short | Einsatz von Methoden der Versuchsplanung am Beispiel der Herstellung von Niob-Dünnfilmen |
| title_sort | einsatz von methoden der versuchsplanung am beispiel der herstellung von niob dunnfilmen |
| topic | Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd Methode (DE-588)4038971-6 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Niob (DE-588)4042362-1 gnd Herstellung (DE-588)4159653-5 gnd Prozessoptimierung (DE-588)4176074-8 gnd Versuchsplanung (DE-588)4078859-3 gnd |
| topic_facet | Sputtern Methode Dünne Schicht Niob Herstellung Prozessoptimierung Versuchsplanung |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007099787&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV000002784 |
| work_keys_str_mv | AT knappesilvia einsatzvonmethodenderversuchsplanungambeispielderherstellungvonniobdunnfilmen AT elsterclemens einsatzvonmethodenderversuchsplanungambeispielderherstellungvonniobdunnfilmen AT aßmanncornelia einsatzvonmethodenderversuchsplanungambeispielderherstellungvonniobdunnfilmen |