Hochauflösende dreidimensionale Positionierungsbestimmung bei Rastersondenmikroskopen mittels kapazitiver Aufnehmer:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Braunschweig
Physikal.-Techn. Bundesanst.
1995
|
| Schriftenreihe: | Physikalisch-Technische Bundesanstalt <Braunschweig>: [PTB-Bericht / Abteilung Fertigungsmeßtechnik]
20 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1995 |
| Beschreibung: | III, 181 S. graph. Darst. |
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