Herstellung, Aufbau, Eigenschaften und Verschleissverhalten von magnetrongesputterten Viellagenschichten aus metallischen und kovalenten Hartstoffen:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
FZKA
1995
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte
5686 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
UND
AUFGABENSTELLUNG
1
2.
LITERATURUEBERSICHT
3
2.1
ANWENDUNGSGEBIETE
VON
BESCHICHTUNGEN
3
2.2
GRUNDBEGRIFFE
DER
TRIBOLOGIE
4
2.3
BESCHICHTUNGSVERFAHREN
7
2.4
SCHICHTMATERIALIEN
10
2.5
SCHICHTKONZEPTIONEN
17
2.6
EINFLUSS
DER
SPUTTERPROZESSPARAMETER
AUF
DEN
SCHICHTAUFBAU
20
3.
EXPERIMENTELLES
23
3.1
SCHICHTHERSTELLUNG
23
3.1.1
BESCHICHTUNGSANLAGEN
23
3.1.2
TARGETS
24
3.1.3
SUBSTRATVORBEREITUNG
25
3.1.4
PROZESSPARAMETER
25
3.2
UNTERSUCHUNGEN
ZU
SCHICHTAUFBAU
UND
-ZUSAMMENSETZUNG
26
3.2.1
ROENTGENDIFIRAKTOMETRIE
(XRD)
26
3.2.2
MIKROSONDENUNTERSUCHUNGEN
(EMPA)
27
3.2.3
AUGERELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
(AES)
27
3.2.4
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
(REM)
UND
ENERGIEDISPERSIVE
ROENTGENANALYSE
(EDX)
27
3.2.5
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
(TEM)
28
3.2.6
PHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
(XPS)
29
3.2.7
SCHICHTDICKE
29
3.3
UNTERSUCHUNG
DER
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
30
3.3.1
KRITISCHE
LAST
LC
DES
VERSAGENS
(SCRATCHTEST)
30
3.3.2
HAERTE
30
3.3.3
RISSBILDUNG
UND
-AUSBREITUNG
(ZAEHIGKEIT)
31
3.3.4
EIGENSPANNUNGEN
32
3.3.5
VERSCHLEISS
33
3.3.6
WAERMEBESTAENDIGKEIT
35
36
4.
ERGEBNISSE
4.1
EINLAGIGE
SCHICHTEN
(EINZELLAGENMATERIALIEN)
36
4.1.1
METALLISCHE
HARTSTOFFE
36
4.1.1.1
SCHICHTKONSTITUTION
36
4.1.1.2
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
49
4.1.1.3
VERSCHLEISSVERHALTEN
60
4.1.2
NICHTMETALLISCHE
HARTSTOFFE
66
4.1.2.1
SCHICHTKONSTITUTION
66
4.1.2.2
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
69
4.1.2.3
VERSCHLEISSVERHALTEN
72
4.2
VIELLAGENSCHICHTEN
73
4.2.1
SCHICHTEN
MIT
GERINGER
LAGENZAHL
73
4.2.1.1
SCHICHTKONSTITUTION
73
4.2.1.2
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
74
4.2.1.3
VERSCHLEISSVERHALTEN
79
4.2.2
SCHICHTEN
MIT
HOHER
LAGENZAHL
82
4.2.2.1
SCHICHTKONSTITUTION
83
4.2.2.2
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
85
4.2.2.3
VERSCHLEISSVERHALTEN
92
4.2.3
TIC-TIN-VIELLAGENSCHICHTEN
97
4.2.3.1
SCHICHTKONSTITUTION
98
4.2.3.2
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
102
4.2.3.3
VERSCHLEISSVERHALTEN
107
4.2.4
VIELLAGENSCHICHTEN
MIT
DUENNEN
ZWISCHENLAGEN
KOVALENTER
ODER
HETEROPOLARER
HARTSTOFFE
114
4.2.4.1
SCHICHTKONSTITUTION
115
4.2.4.2
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
123
4.2.4.3
VERSCHLEISSVERHALTEN
129
5.
ZUSAMMENFASSENDE
DISKUSSION
133
6.
AUSBLICK
145
7.
LITERATUR
146 |
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