Realisierung von CMOS-Magnetfeldsensoren für den Einsatz auf dünnen Siliziummembranen in einem integrierten Drehmomentsensorsystem:
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| Format: | Microfilm Book |
| Language: | German |
| Published: |
Marburg
Tectum-Verl.
1996
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| Edition: | Mikrofiche-Ausg. |
| Series: | Edition Wissenschaft
Reihe Elektrotechnik ; 8 |
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