Realisierung von CMOS-Magnetfeldsensoren für den Einsatz auf dünnen Siliziummembranen in einem integrierten Drehmomentsensorsystem:
Gespeichert in:
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| Format: | Mikrofilm Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Marburg
Tectum-Verl.
1996
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| Ausgabe: | Mikrofiche-Ausg. |
| Schriftenreihe: | Edition Wissenschaft
Reihe Elektrotechnik ; 8 |
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| Beschreibung: | 1 Mikrofiche. - Manuskript: 97 S. |
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