(1995). Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile: Tagung München, 25. und 26. Oktober 1995. VDI-Verl.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Maskentechnik Für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile: Tagung München, 25. Und 26. Oktober 1995. Düsseldorf: VDI-Verl, 1995.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Maskentechnik Für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile: Tagung München, 25. Und 26. Oktober 1995. VDI-Verl, 1995.
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