Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile: Tagung München, 25. und 26. Oktober 1995
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1995
|
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte
1243 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Beitr. teilw. in dt., teilw. in engl. Sprache |
| Beschreibung: | 165 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 318091243X |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010601213 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19960226 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 960207s1995 ad|| |||| 10||| gerod | ||
| 020 | |a 318091243X |9 3-18-091243-X | ||
| 035 | |a (OCoLC)246678359 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010601213 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-210 |a DE-92 |a DE-634 |a DE-83 |a DE-706 | ||
| 084 | |a ZN 4170 |0 (DE-625)157366: |2 rvk | ||
| 084 | |a ELT 285f |2 stub | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile |b Tagung München, 25. und 26. Oktober 1995 |c Verein Deutscher Ingenieure |
| 264 | 1 | |a Düsseldorf |b VDI-Verl. |c 1995 | |
| 300 | |a 165 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte |v 1243 | |
| 500 | |a Beitr. teilw. in dt., teilw. in engl. Sprache | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Maskentechnik |0 (DE-588)4125845-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Integrierte Schaltung |0 (DE-588)4027242-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)1071861417 |a Konferenzschrift |y 1995 |z München |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Integrierte Schaltung |0 (DE-588)4027242-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Maskentechnik |0 (DE-588)4125845-9 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte |v 1243 |w (DE-604)BV000016148 |9 1243 | |
| 856 | 4 | 2 | |m Digitalisierung TU Muenchen |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007070794&sequence=000002&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007070794 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804125073886412800 |
|---|---|
| adam_text | Inhalt
Seite
U. Behringer
und
0. Fortagne
R. Pforr, K. Ronse
und L. Mader
H. Hartmann,
E.
Eisenmann und
T.
Waas
S. Steuber, G.
Groß,
W.
Ziegler,
C. Kalus,
Ĺ
Taini,
K.
Juffermanns
und
P. Prewett
P. Hahmann
und
W.
Lelie
К.
Reimer,
В.
Wenk,
L.
Buchmann,
U.
Schnakenberg
und
H.
Eisner
¡.
W. Rangelow,
P.
Hudek,
F.
Shi,
1. Kostic,
R.
Kassing,
H.
Löschner,
A. Chalúpka, E.
Hammel,
G. Stengl, H. Vonach
M.
Schmidt,
W.
Ehrfeld und
H.
Lehr
Α.
Siebert
H.-J. Brück,
G. Falk,
J. Helbing
und L.
Walden
Lithographie der Zukunft
OAI, PSM and OPC -
A
review
of aerial image enhancing
19
techniques for optical projection lithography
Optische
Proximity
Korrekturmethoden in der Masken- 45
technik
zur Verbesserung der Abbildungseigenschaften
First
Experience with
Phase-Shift-Mask Technology 51
WePrint 200, der Übergang vom variablen Formstrahl 87
zur Minireticles-Projektion
Minireticle für die Elektronensrrahllithographie 97
Stencil
Masken für die lonen-Projektions- 113
Lithographie und für die maskierte lonenstrahl·
Lithographie
Röntgentiefenlirhographie - LIGA-Technik 119
Finite-Elemente Berechnungen zur Maskentechnik 133
Anwendungen
I
ichtoptischer Verfahren zur 151
Strukturbreiten- und Overlay-Messung
Referenten
167
|
| any_adam_object | 1 |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010601213 |
| classification_rvk | ZN 4170 |
| classification_tum | ELT 285f |
| ctrlnum | (OCoLC)246678359 (DE-599)BVBBV010601213 |
| discipline | Elektrotechnik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01676nam a2200385 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV010601213</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19960226 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">960207s1995 ad|| |||| 10||| gerod</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">318091243X</subfield><subfield code="9">3-18-091243-X</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)246678359</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010601213</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield><subfield code="a">DE-92</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4170</subfield><subfield code="0">(DE-625)157366:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 285f</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile</subfield><subfield code="b">Tagung München, 25. und 26. Oktober 1995</subfield><subfield code="c">Verein Deutscher Ingenieure</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Düsseldorf</subfield><subfield code="b">VDI-Verl.</subfield><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">165 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte</subfield><subfield code="v">1243</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Beitr. teilw. in dt., teilw. in engl. Sprache</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Maskentechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4125845-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Integrierte Schaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027242-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)1071861417</subfield><subfield code="a">Konferenzschrift</subfield><subfield code="y">1995</subfield><subfield code="z">München</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Integrierte Schaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027242-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Maskentechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4125845-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte</subfield><subfield code="v">1243</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000016148</subfield><subfield code="9">1243</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">Digitalisierung TU Muenchen</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007070794&sequence=000002&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007070794</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)1071861417 Konferenzschrift 1995 München gnd-content |
| genre_facet | Konferenzschrift 1995 München |
| id | DE-604.BV010601213 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:55:46Z |
| institution | BVB |
| isbn | 318091243X |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007070794 |
| oclc_num | 246678359 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-210 DE-92 DE-634 DE-83 DE-706 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-210 DE-92 DE-634 DE-83 DE-706 |
| physical | 165 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1995 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| publisher | VDI-Verl. |
| record_format | marc |
| series | Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte |
| series2 | Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte |
| spelling | Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile Tagung München, 25. und 26. Oktober 1995 Verein Deutscher Ingenieure Düsseldorf VDI-Verl. 1995 165 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte 1243 Beitr. teilw. in dt., teilw. in engl. Sprache Maskentechnik (DE-588)4125845-9 gnd rswk-swf Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 gnd rswk-swf (DE-588)1071861417 Konferenzschrift 1995 München gnd-content Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 s Maskentechnik (DE-588)4125845-9 s DE-604 Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte 1243 (DE-604)BV000016148 1243 Digitalisierung TU Muenchen application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007070794&sequence=000002&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile Tagung München, 25. und 26. Oktober 1995 Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte Maskentechnik (DE-588)4125845-9 gnd Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4125845-9 (DE-588)4027242-4 (DE-588)1071861417 |
| title | Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile Tagung München, 25. und 26. Oktober 1995 |
| title_auth | Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile Tagung München, 25. und 26. Oktober 1995 |
| title_exact_search | Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile Tagung München, 25. und 26. Oktober 1995 |
| title_full | Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile Tagung München, 25. und 26. Oktober 1995 Verein Deutscher Ingenieure |
| title_fullStr | Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile Tagung München, 25. und 26. Oktober 1995 Verein Deutscher Ingenieure |
| title_full_unstemmed | Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile Tagung München, 25. und 26. Oktober 1995 Verein Deutscher Ingenieure |
| title_short | Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile |
| title_sort | maskentechnik fur mikroelektronik mikrotechnik bauteile tagung munchen 25 und 26 oktober 1995 |
| title_sub | Tagung München, 25. und 26. Oktober 1995 |
| topic | Maskentechnik (DE-588)4125845-9 gnd Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 gnd |
| topic_facet | Maskentechnik Integrierte Schaltung Konferenzschrift 1995 München |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007070794&sequence=000002&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV000016148 |